Tepelný regulátor hmotnostného prietoku plynu (MFC)
Thermriasymzadokfnízkameter(MFM) isakindofaaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressiste, netrebathecompensationoftemperaturčiteandpressure.
Model | SQC-100 |
Rozsahy prietoku (N2) | 0~5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Presnosť | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Typ pohonu ventilov | Normálne zatvorené |
Linearita | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Opakovateľnosť | ±0,2%FS |
Doba odozvy | ≤ 1 sek |
Vstupný/výstupný signál | 0-5 V |
Elektrický kĺb | DB15 kolík (ihla) |
Operation Tem. | 5-45 ℃ |
Diferenciál Pre. | 0,05 ~ 0,5 MPa (MFC)) 0,03 ~ 3,0 MPa (MFM) |
Miera úniku | 1×10-8SCCS (He) |
Max.Tlak | 3 MPa |
Stredný materiál | 316L SS a tesniaci materiál |
Tesniaci materiál | Viton, silikónová guma, NBR, teflón, kovové tesnenie. |
Veľkosť kĺbu | Videorekordér 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6mm |
Zdroj | +15V,50mA;-15V,200mA |
Model | SQC-200 |
Rozsahy prietoku (N2) | MFC:0~20,30,50,100,150, 200SLM |
MFM: 0~20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM | |
Presnosť | ±2%FS |
Typ pohonu ventilov | Normálne zatvorené |
Linearita | ±2%FS |
Opakovateľnosť | ±0,2%FS |
Doba odozvy | ≤ 5 s |
Vstupný/výstupný signál | 1~5V;4~20mA |
Elektrický kĺb | DB15 kolík (ihla) |
Operation Tem. | 5-45 ℃ |
Diferenciál Pre. | 0,1–0,3 MPa(MFC))) 0,05~3,0MPa(MFM) |
Miera úniku | 1×10-8SCCS (He) |
Max.Tlak | 3 MPa |
Stredný materiál | 316L SS a tesniaci materiál |
Tesniaci materiál | Viton, silikónová guma, NBR, ERP, teflón |
Veľkosť kĺbu | Swagelok 3/8” 、1/2”; φ8, φ10, φ12 mm |
Zdroj | 24V, 0,5A |
Tu napíšte svoju správu a pošlite nám ju