Vakuumski merilnik kvarčnega oscilatorja EVDL-10A

1. Pregled izdelka

Kvarčni merilnik vakuuma EVDL-10A je merilnik vakuuma s kvarčnim kristalnim oscilatorjem kot senzorjem.Ima širok razpon in visoko natančnost.Merilnik vakuuma je sestavljen iz regulacijske in krmilne enote, digitalna cev krmilne enote pa prikazuje vrednost tlaka.

2. Tehnične specifikacije

1. Merilno območje: 5×10-1-105Pa

2. Napajanje: AC 220V, 50Hz

3. MOČ: 7 W

4. Dimenzije šasije: 180 mm × 80 mm × 200 mm（D*Š*G）

5. Dolžina kabla 2m

3. Delovni princip

Kvarčni merilnik vakuuma EVDL-10A je merilnik vakuuma, narejen z uporabo značilnosti resonančne impedance kvarčnega kristalnega oscilatorja in tlaka plina.Kvarčni kristalni oscilator v kvarčnem vakuumskem merilniku EVDL-10A ni le sestavni del oscilatorja, ampak tudi senzor za merjenje tlaka plina.Kvarčni kristalni oscilator je nameščen v aluminijastem ohišju za izdelavo merilne cevi s premerom 15,5 mm, ki jo lahko vstavite v sistem preko vmesnika.Merilno vezje resonančne impedance je prikazano na sliki 1:

Slika 1 Merilno vezje resonančne impedance

Resonančna impedanca Z= V AB

V_ABje napetost na kristalu

I je tok, ki teče skozi kristal

Tok I teče skozi upor R zaporedno s kristalom, napetost na uporu pa je VBD

∴ I = V BD

Z=V AB R

V_ABje približno enaka napetosti V₀čez AC je VBD približno enaka napetosti V₁čez enosmerni tok, impedanco pa je mogoče izračunati iz izmerjenega V₀, V₁in vrednosti upora.Mikroračunalnik z enim čipom pretvori impedanco v tlak, digitalna cev pa prikaže vrednost tlaka.

4. Značilnosti kvarčnega vakuumskega merilnika

Za kvarčni merilnik vakuuma je značilna majhna prostornina senzorja.Velikost kristalnih vibracij kvarčnega vakuumskega merilnika EVDL-10A je 3,2 mm × 1,5 mm × 0,8 mm.Na ta način poleg merjenja tlaka plina kot drugi merilniki vakuuma lahko merilnik vakuuma meri tlak plina majhne prostornine, kot je zaprta naprava velikosti 1 cm3, in zazna stanje zadrževanja vakuuma.

5.EVDL-10A kvarčni vakuumski merilnik

Namestitev kvarčnega vakuumskega merilnika EVDL-10A je prikazana na sliki 2:

Kvarčni kristalni oscilator in nihajni krog sta nameščena v sondo.Vodilni kabel vstavite v vtičnico zadnje plošče krmilne enote skozi 5-polni vtič, cev s premerom sonde Φ15,5 pa v vakuumski sistem.Priključite napajalni kabel v vtičnico na zadnji strani krmilne enote, drugi konec pa v električno vtičnico.Napajalna vtičnica mora imeti ozemljitveno žico za ozemljitev ohišja krmilne enote.Vklopite stikalo za vklop in digitalna cev krmilne enote prikaže vrednost tlaka.Digitalni cevni prikaz 3.2 E 2 pomeni vrednost tlaka 3.2×102Pa.

6.Kalibracija kvarčnega vakuumskega merilnika

Ko se temperatura okolice spremeni, je treba EVDL-10A umeriti na naslednji način:

1. Nastavitev ničelne točke: Ko je stroj pol ure stabilen, ko je tlak manjši od 10-3Pa, z izvijačem pritisnite gumb v ničelni luknji na sprednji plošči krmilne enote, da ga sprostite.Če vakuumski sistem ne doseže 10-3Pa, ničelne tipke ni mogoče pritisniti.

2. Atmosferska regulacija: Izpostavite atmosfersko regulacijo, z izvijačem pritisnite gumb v atmosferski luknji na sprednji plošči krmilne enote, da ga sprostite.