Krmilniki masnega pretoka (MFC) zagotavljajo natančno merjenje in nadzor masnega pretoka plinov.
I. Kakšna je razlika med MFC in MFM?
Merilnik masnega pretoka (MFM) je nekakšen instrument, ki natančno meri pretok plina in njegova merilna vrednost ni netočna zaradi nihanj temperature ali tlaka ter ne zahteva kompenzacije temperature in tlaka. Krmilnik masnega pretoka (MFC) ne le ima funkcijo merilnika masnega pretoka, a še pomembneje je, da lahko samodejno krmili pretok plina, to pomeni, da lahko uporabnik nastavi pretok glede na svoje potrebe, MFC pa samodejno vzdržuje pretok konstanten pri nastavljeni vrednosti, tudi če sistemski tlak Nihanja ali spremembe temperature okolja ne bodo povzročile odstopanja od nastavljene vrednosti.Krmilnik masnega pretoka je naprava s stalnim pretokom, ki je naprava za enakomeren pretok plina, ki jo je mogoče ročno nastaviti ali samodejno krmiliti s povezavo z računalnikom.Merilniki masnega pretoka samo merijo, ne pa tudi nadzorujejo.Krmilnik masnega pretoka ima krmilni ventil, ki lahko meri in krmili pretok plina.
II.Kakšna je struktura inprincip delovanja?
1、 Struktura
2、Načelo delovanja
Ko tok vstopi v sesalno cev, gre večina toka skozi preusmerjevalni kanal, katerega majhen del vstopi v kapilarno cev znotraj senzorja.Zaradi posebne strukture
preusmerjevalni kanal, sta lahko dva dela pretoka plina neposredno sorazmerna.Senzor je predgret in ogret, temperatura v notranjosti pa je višja od temperature vstopnega zraka.V tem času se masni pretok majhnega dela plina meri po principu prenosa toplote po kapilarni cevi in principu kalorimetrije temperaturne razlike.Pretok plina, izmerjen na ta način, lahko zanemari učinke temperature in tlaka.Signal za merjenje pretoka, ki ga zazna senzor, se vnese v vezje in se ojača ter odda in funkcija MFM je dokončana.Dodajanje funkcije samodejnega nadzora PID z zaprto zanko na vezje. Primerjajte signal merjenja pretoka, ki ga meri senzor, z nastavljenim signalom, ki ga poda uporabnik.Na podlagi tega se regulacijski ventil krmili tako, da je signal zaznavanja pretoka enak nastavljenemu signalu, s čimer se izvaja funkcija MFC.
III.Aplikacije in funkcije.
MFC, ki se pogosto uporablja na področjih, kot so: proizvodnja polprevodnikov in IC, znanost o posebnih materialih, kemična industrija, naftna industrija, farmacevtska industrija, varstvo okolja in raziskovanje vakuumskih sistemov itd. Tipične aplikacije vključujejo: mikroelektronska procesna oprema, kot je difuzija , oksidacija, epitaksija, CVD, plazemsko jedkanje, razprševanje, ionska implantacija;oprema za vakuumsko nanašanje, taljenje optičnih vlaken, oprema za mikroreakcijo, sistem za mešanje in ujemanje plinov, sistem za nadzor kapilarnega pretoka, plinski kromatograf in drugi analitični instrumenti.
MFC prinaša visoko natančnost, odlično ponovljivost, hiter odziv, mehak zagon, boljšo zanesljivost, širok razpon delovnega tlaka (dobro delovanje v situacijah visokega tlaka in vakuuma), preprosto priročno delovanje, prilagodljivo namestitev, možno povezovanje z osebnim računalnikom za izvedbo samodejnega nadzor nad uporabnikovim sistemom.
IV.Kako določiti in obravnavati ftežave?
Naše podjetje ima profesionalnega poprodajnega inženirja, ki vam lahko pomaga rešiti težave pri namestitvi in uporabi.
Čas objave: 29. julij 2022