Znanje – Vakuumski ventili

I. Uvedba ventila
Vakuumski ventil je komponenta vakuumskega sistema, ki se uporablja za spreminjanje smeri pretoka zraka, prilagajanje velikosti pretoka plina, prekinitev ali povezavo cevovoda v vakuumskem sistemu.Zapiralni deli vakuumskega ventila so zatesnjeni z gumijastim ali kovinskim tesnilom.

II.Običajne aplikacije vakuumskega ventila.
Vakuumski ventili
Uporablja se v opremi sistema z visokim ali ultravisokim vakuumom, ko je treba vzdrževati vakuum v zaprtem sistemu za ravnanje z vakuumom.Vakuumski ventili se uporabljajo za krmiljenje pretoka zraka v vakuumsko komoro, izolacijo, odzračevanje, zmanjšanje tlaka ali nadzor prevajanja.Zaporni ventili, inline ventili in kotni ventili so najpogostejši tipi vakuumskih ventilov, ki se uporabljajo za aplikacije z visokim ali ultra visokim vakuumom.Dodatne vrste ventilov vključujejo lopute, pretočne ventile, krogelne ventile, nihalne ventile, popolnoma kovinske ventile, vakuumske ventile, aluminijaste kotne ventile, vakuumske ventile s teflonsko prevleko in ravne ventile.

Metuljasti ventili
so hitro odpirajoči se ventili, sestavljeni iz kovinskih diskov ali lopatic, ki se vrtijo pravokotno na smer toka v cevovodu in ko se zasukajo okoli svoje osi, ventil tesni sedež v telesu ventila.

Pretočni ventili (pravokotni zaporni ventili)
Ločevalni ventili, primerni za uporabo med vakuumskimi komorami z zaklenjeno obremenitvijo in komorami za prenos ter med komorami za prenos in predelovalnimi komorami v opremi za proizvodnjo polprevodnikov.

Vakuumski kroglični ventili
so četrtobratni ventili z ravnim tokom s krožnim zapiralnim sklopom z ustreznimi krožnimi sedeži za enakomerno tesnilno napetost.

Nihalni ventili
je velik dušilni ventil, nameščen med procesno vakuumsko komoro in vstopom turbomolekularne črpalke.Ti vakuumski nihalni ventili so običajno zasnovani kot zaporni ali nihalni ventili za aplikacije, vključno z OLED, FPD in PV industrijskimi proizvodnimi sistemi.

Povsem kovinski ventili
Zasnovan za uporabo v okoljih z ultra visokim vakuumom, kjer visoke temperature ne dovoljujejo uporabe elastomerov in kriogenih tesnilnih kovin.Povsem kovinski ventili, ki jih je mogoče pečiti, zagotavljajo zanesljivo visokotemperaturno tesnjenje od atmosferskega tlaka do pod 10-11 mbar.

Vakuumski ventili
Delujte zanesljivo v sistemih za proizvodnjo polprevodnikov in v aplikacijah s kemično kontaminacijo in delci.Uporabljajo se lahko v okoljih z grobim vakuumom, visokim vakuumom ali ultravisokim vakuumom.

Aluminijasti kotni ventili
Vhod in izhod teh ventilov sta pravokotna drug na drugega.Ti kotni ventili so narejeni iz aluminija A6061-T6 in se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov in instrumentov, raziskavah in razvoju ter industrijskih vakuumskih sistemih za uporabo v grobem do visokem vakuumu.

Vakuumski ventil s teflonsko prevleko je popolnoma izdelana naprava za vakuumske komponente iz nerjavečega jekla s trpežnim in visoko kemično odpornim premazom.

III.Značilnosti vakuumskih ventilov.
Tlak je pod atmosferskim tlakom in padec tlaka na loputi ventila ne sme preseči 1 kg sile/cm.Delovna temperatura medija je odvisna od postopka uporabljene naprave.Temperatura na splošno ne presega območja od -70 do 150 °C.Najosnovnejša zahteva za takšne ventile je zagotoviti visoko stopnjo tesnosti povezave ter gostoto strukture in tesnilnega materiala.

Glede na srednjetlačne vakuumske ventile lahko razdelimo v štiri skupine.
1) Ventili z nizkim vakuumom: srednji tlak p=760~1 mmHg.
2）Srednji vakuumski ventili: p=1×10-3 mmHg.
3）Visoki vakuumski ventili: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ventil za ultravisok vakuum: p≤1×10-8 mmHg.

Kot ventil zaprtega kroga s premerom prehoda, manjšim od 250 mm, je drog pogosto uporabljen zaporni ventil z vakuumskim mehom z linearnim gibanjem.Zaporni ventili pa so bolj omejeni, vendar to velja predvsem za velike premere.Na voljo so tudi sferični čepni ventili (krogelni ventili), batni ventili in lopute.Vtični ventili za vakuumske ventile niso bili promovirani, ker zahtevajo mazanje z oljem, zaradi česar lahko oljne pare vstopijo v vakuumski sistem, kar ni dovoljeno.Vakuumske ventile lahko krmilimo ročno in daljinsko na terenu ter električno, elektromagnetno (magnetni ventili), pnevmatsko in hidravlično.