Malamalama – Vacuum Valves

I. Folasaga o le alatoto
Vacuum valve o se vaega faʻaogaina o le masini e faʻaaogaina e sui ai le itu o le ea, fetuutuunai le tele o le tafe kesi, tipi ese pe faʻafesoʻotaʻi le paipa i totonu o le masini masini.O vaega tapuni o le vacuum valve e faʻamaufaʻailogaina i le paʻu paʻu poʻo le faʻamaufaʻailoga uʻamea.

II.Fa'aoga masani vacuum valve.
Vacuum valve
Fa'aogaina i masini masini masini maualuga pe ultra-maualuga pe a mana'omia le fa'atumauina o le fa'amama i totonu o se faiga fa'aoga tapuni.O vacuum valves e faʻaaogaina e pulea ai le tafe o le ea i totonu o le potu gaogao, vavae ese, faʻafefe, tuʻuina atu le faʻaitiitia o le mamafa poʻo le faʻatonutonuina o le faʻaogaina.Valau faitotoa, alavai Inline ma alavai tulimanu o ituaiga sili ona taatele o vacuum fa'aoga mo le maualuga pe ultra-maualuga vacuum talosaga.O isi ituaiga valve e aofia ai valve butterfly, valve transfer, valve ball, valve pendulum, valve u'amea uma, valve vacuum, valve angle alumini, valve vacuum coated Teflon ma valve sa'o.

Valaupepe
o valve tatala vave e aofia ai u'amea tisiki po o vanes e pivot i itu taumatau i le itu o le tafe i totonu o le paipa ma pe a feliuliua'i i luga o latou axis, o le valve faamaufaailoga le nofoa i le tino valve.

Valau fa'aliliu (valau fa'afa'afa'afa'afa)
Vaava'a va'a talafeagai mo le fa'aoga i le va o potu gaogao loka uta ma potu fa'afeiloa'i, ma le va o potu fa'aliliu ma potu fa'agaoioiga i masini gaosi semiconductor.

Vacuum Ball Valves
o le kuata liliu sa'o alavai fa'atasi ma se fa'apotopotoga tapuni tapuni fa'atasi ma nofoa fa'ata'ali'oli'o fetaui mo fa'amamafa fa'amaufa'ailoga tutusa.

Valau pendulum
o se valve throttle tele fa'apipi'i i le va o le potu gaogao faagasologa ma le turbomolecular pamu inlet.O nei vacuum pendulum valve e masani lava ona mamanuina e fai ma faitotoa po'o fa'alava fa'apipi'i mo talosaga e aofia ai le OLED, FPD ma le PV fale gaosi oloa.

Valau u'amea uma
Fuafuaina mo le faʻaogaina i totonu o siosiomaga gaogao maualuga maualuga e le mafai ai e le vevela maualuga ona faʻaogaina le elastomers ma cryogenic gasket metals.O va'a u'amea uma e mafai ona tao e maua ai le fa'amaufa'ailoga maualuga o le vevela mai le mamafa o le ea i lalo ole 10-11 mbar.

Vacuum valve
Fa'atino ma le fa'alagolago i faiga fa'akomepiuta ma fa'aoga i vaila'au fa'ama'i ma matā'ele'ele.E mafai ona fa'aogaina i vacuum vacuum, vacuum maualuga po'o le ultra-high vacuum environment.

Aluminum tulimanu tulimanu
O totonu ma fafo o nei alatoto e sa'o le tasi i le isi.O nei alavai tulimanu e faia i le alumini A6061-T6 ma o loʻo faʻaaogaina i le semiconductor ma meafaifaʻaili gaosiga, R&D ma masini gaogao falegaosimea mo faʻaoga gaogao maualuga.

O le Teflon fa'apipi'iina vacuum valve o se masini fa'ainitaneti fa'ainitaneti uamea ma se fa'alava umi ma maualuga fa'ama'i.

III.Uiga o vacuum valve.
O le mamafa o lo'o i lalo ifo o le mamafa o le ea ma o le pa'u o le mamafa i luga o le fusi o le valve e le mafai ona sili atu i le 1 kilokalama malosi/cm.O le vevela galue o le alalaupapa e faʻalagolago i le faagasologa o le masini faʻaaogaina.O le vevela e masani lava e le sili atu i le lautele o le -70 ~ 150°C.O le mea sili ona manaʻomia mo ia valve o le faʻamautinoaina lea o se maualuga maualuga o le faʻaogaina o le fesoʻotaʻiga ma le mafiafia o le fausaga ma mea faʻapipiʻi.

E tusa ai ma le vacuum vacuum alavai alavai e mafai ona vaevaeina i ni vaega se fa.
1) Vacuum vacuum maualalo: mamafa mamafa p = 760 ~ 1 mmHg.
2） Vacuum vacuum vacuum: p=1×10-3 mmHg.
3) Vacuum maualuga: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4） Vacuum vacuum maualuga: p≤1×10-8 mmHg.

I le avea ai o se valve tapuni tapuni ma le lautele o le ala e itiiti ifo i le 250 mm, o le fa'aoga lautele o le vacuum bellows shut-off valve ma le laina laina.O alatoto o le faitotoa, e ui i lea, e sili atu ona faʻatapulaʻaina, ae o lenei mea e masani lava mo lapoa tetele.O lo'o maua fo'i alavai polo (valu polo), alavai pu'u ma alavai pepe.E le'i fa'alauiloa ia alavai fa'apipi'i mo vacuum valve ona e mana'omia ai le lubrication o le suau'u, e mafai ai ona ulufale atu le suau'u ausa i totonu o le masini masini, lea e le fa'atagaina.Vacuum valves e mafai ona pulea ma le lima ma mamao i totonu o le fanua, faʻapea foʻi ma le eletise, electromagnetically (solenoid valves), pneumatically ma hydraulically.