I. pamu masini
O le galuega autu a le pamu masini o le tuʻuina atu lea o le vacuum muamua e manaʻomia mo le amataina o le pamu turbomolecular.O pamu fa'ainisinia masani e aofia ai pamu mamago vortex, pamu diaphragm ma pamu fa'amaufa'ailoga suau'u.
O pamu diaphragm e maualalo le saoasaoa o pamu ma e masani ona faʻaaogaina mo seti pamu mole mole laiti ona o le laʻititi.
O le pamu faʻamaufaʻailogaina suauʻu o le pamu masini sili ona faʻaaogaina i le taimi ua tuanaʻi, e faʻaalia i le tele o le pamu vave ma le lelei sili o le gaogao, o le faʻaletonu o le i ai o le suauʻu toe foʻi mai, i le ultra-high vacuum systems e masani ona manaʻomia le faʻapipiʻiina o le valve solenoid. (mo le puipuia o le malosi faʻafuaseʻi e mafua mai i le toe faʻafoʻi mai o le suauʻu) ma le sieve mole (adsorption effect).
I tausaga talu ai nei, o le tele o le faʻaaogaina o le taʻavale mamago pamu.O le lelei e faigofie ona faʻaoga ma e le toe foʻi i le suauu, naʻo le saoasaoa o le pamu ma le faʻamama sili e sili atu le leaga nai lo pamu masini faʻamaufaʻailoga suauu.
O pamu faʻainisinia o se faʻapogai autu o le pisapisao ma le vibration i totonu o fale suʻesuʻe ma e sili atu le filifilia o se pamu leo maualalo ma tuʻu i le va o meafaigaluega pe a mafai, ae o le mea mulimuli e masani ona le faigofie ona ausia ona o le mamao o galuega.
II.pamu Turbomolecular
O pamu mole mole turbo e fa'alagolago i vane fe'avea'i saosaoa (e masani lava pe tusa ma le 1000 ta'amilosaga i le minute) e maua ai le tafega o le kesi.O le fua faatatau o le mamafa o le pamu e ta'ua o le compression ratio.O le fua fa'atatau e feso'ota'i ma le numera o la'asaga o le pamu, o le saoasaoa ma le ituaiga o kesi, o le mamafa mole mole lautele o le fa'aosoina o le kesi e matua maualuga lava.Ole fa'ato'a gaogao ole pamu turbomolecular e masani ona manatu o le 10-9-10-10 mbar, ma i tausaga talu ai nei, fa'atasi ai ma le fa'aauauina o le alualu i luma o tekinolosi pamu mole, ua fa'aleleia atili le fa'aogaina o le masini.
Talu ai o le lelei o se pamu turbomolecular e na o le iloa i se tulaga tafe mole (se tulaga tafe lea o le fua fua fua o mole kesi e sili atu nai lo le maualuga maualuga o le duct cross-vaega), o se pamu vacuum muamua-tulaga. faʻatasi ai ma le faʻaogaina o le mamafa o le 1 i le 10-2 Pa e manaʻomia.Ona o le maualuga o le saoasaoa o vanes, o le pamu molecular e mafai ona faʻaleagaina pe faʻaumatia e mea mai fafo, jitter, aʻafiaga, resonance poʻo le kesi teʻi.Mo tagata amata, o le mafuaʻaga sili ona taatele o le faʻaleagaina o le teʻi o le kesi e mafua mai i mea sese.O le fa'aleagaina o se pamu mole mole e mafai fo'i ona mafua mai i le resonance e fa'aosoina e se pamu masini.O lenei tulaga e seasea tupu ae e manaʻomia le faʻapitoa ona e sili atu ona faʻalavelave ma e le faigofie ona iloa.
III.Sputtering ion pump
O le taʻiala galue o le pamu ion sputtering o le faʻaaogaina lea o ion na gaosia e le Penning discharge e faʻafefe ai le titanium plate o le cathode e fausia ai se ata fou titanium, ma faʻafefea ai le kasa galue ma maua ai se aafiaga tanu i luga o le kasa inert. .O le lelei o pamu ion sputtering e lelei atoatoa gaogao, leai se vibration, leai se pisapisao, leai se filogia, o se faagasologa matua ma mautu, leai se tausiga ma i le saoasaoa pamu (sei vagana ai kasa inert), o latou tau e sili atu le maualalo nai lo pamu mole, lea e fa'aaogaina tele ai i faiga fa'amamao ultra-maualuga.E masani lava o le taamilosaga masani o pamu ion sputtering e sili atu i le 10 tausaga.
O pamu ion e masani lava ona mana'omia le maualuga i luga ole 10-7 mbar e galue lelei (o le galue i masini masini e matua fa'aitiitia ai lo latou olaga) ma o lea e mana'omia ai se pamu mole mole e tu'uina atu se vacuum lelei muamua.O se faiga masani le faʻaaogaina o se pamu ion + TSP i totonu o le potu autu ma se pamu mole mole faʻapipiʻi i totonu o le potu inlet.A tao tao, tatala le valve fa'apipi'i feso'ota'i ma tu'u atu i le seti pamu mole mole la'ititi e tu'uina atu le vacuum pito i luma.
E tatau ona maitauina o pamu ion e itiiti le gafatia o le faʻaogaina o kasa inert ma o latou maualuga maualuga o le pamu e ese mai i pamu mole, ina ia mo voluma tetele e alu ese poʻo le tele o kasa inert, e manaʻomia se seti pamu mole.E le gata i lea, o le pamu ion e gaosia ai se eletise eletise i le taimi o le taotoga, lea e mafai ona faʻalavelave i faiga faʻapitoa.
IV.Pamu fa'a'ele'ele o le Titanium
Titanium sublimation pamu e galue e ala i le faʻalagolago i le faʻasao o le titanium metallic e fausia ai se ata titanium i luga o puipui potu mo chemisorption.O le lelei o pamu titanium sublimation o le fausiaina faigofie, taugofie, tausiga faigofie, leai se radiation ma leai se pisa vibration.
O pamu titanium sublimation e masani lava ona aofia ai filament titanium e 3 (e puipuia ai le mu) ma e faʻaaogaina faʻatasi ma pamu mole mole poʻo pamu ion e maua ai le faʻaogaina lelei o le hydrogen.O pamu mama ia e sili ona taua i le 10-9-10-11 mbar laina ma e faʻapipiʻiina i le tele o potu faʻamalo maualuga maualuga e manaʻomia ai le maualuga o le vacuum.
O le le lelei o pamu titanium sublimation o le manaʻomia lea o le faʻafefe masani o le titanium, o le vacuum e faʻaleagaina e tusa ma le 1-2 faʻatonuga o le tele i le taimi o le sputtering (i totonu o ni nai minute), o le mea lea e manaʻomia ai le faʻaogaina o le NEG i potu faʻapitoa.foʻi, mo faʻataʻitaʻiga / masini maʻaleʻale titanium, e tatau ona faʻaeteete e aloese mai le nofoaga o le pamu sublimation titanium.
V. Cryogenic pamu
Cryogenic pamu e fa'alagolago tele i le maualalo o le vevela o le fa'aogaina o le tino e maua ai le gaogao, ma le lelei o le maualuga o le pamu vave, leai se fa'aleagaina ma le maualuga maualuga.O mea autu e aafia ai le saoasaoa o pamu o pamu cryogenic o le vevela ma le pito i luga ole pamu.I le tele o molecular beam epitaxy systems, o pamu cryogenic e faʻaaogaina lautele ona o le maualuga maualuga o manaʻoga gaogao.
O le le lelei o pamu cryogenic o le maualuga o le taumafaina o le faʻaogaina o le vai ma le maualuga o tau faʻaogaina.E mafai ona fa'aogaina faiga fa'apipi'i e aunoa ma le fa'aaogaina o le nitrogen vai, ae o lo'o fa'atasi ai ma fa'afitauli tutusa o le taumafaina o le malosi, vibration ma le pisa.Mo lenei mafuaʻaga, o pamu cryogenic e le masani ona faʻaaogaina i masini suʻesuʻe masani.
VI.Pamu fa'avevela (NEG)
Suction agent pump o se tasi lea o pamu mama e sili ona faʻaaogaina i tausaga talu ai nei, o lona lelei o le faʻaogaina atoatoa o le adsorption vailaʻau, e leai se ausa faʻapipiʻiina ma le eletise eletise, e masani ona faʻaaogaina faʻatasi ma pamu mole e suitulaga i pamu titanium sublimation ma sputtering ion. pamu, o le faʻaletonu o le tau maualuga ma le faʻatapulaʻaina o numera o toe faʻafouina, e masani ona faʻaaogaina i faiga e manaʻomia maualuga mo le faʻamautuina o le vacuum poʻo le matua maʻaleʻale i fanua electromagnetic.
E le gata i lea, talu ai e le manaʻomia e le pamu aspirator se fesoʻotaʻiga tuʻuina atu o le eletise i tua atu o le amataga o le faʻagaioiga, e masani ona faʻaaogaina i faiga tetele e avea o se pamu fesoasoani e faʻateleina ai le saoasaoa o le pamu ma faʻaleleia le maualuga o le vacuum, lea e mafai ona faʻafaigofieina le faiga.
Ata: Omiga galue mo ituaiga pamu eseese.O aū lanu enaena o loʻo faʻaalia ai le maualuga o le faʻatagaina o le faʻaogaina o le mamafa ma o vaega lanu meamata faʻamalosi e faʻaalia ai le masani o le mamafa o galuega.
Taimi meli: Nov-18-2022