Bambooyin caadi ahaan loo isticmaalo nidaamyada faakuumka aadka u sarreeya

I. Matoorada makaanikada
Shaqada ugu weyn ee bamka farsamada waa in la bixiyo faakuumka hore ee lagama maarmaanka u ah bilawga bamka turbomolecular.Matoorada farsamada ee sida caadiga ah loo isticmaalo waxaa ka mid ah bambooyin qallalan oo vortex ah, bambooyin diaphragm ah iyo bambooyin farsamo oo xiran oo saliid ah.
Matoorada diaphragm waxay leeyihiin xawaare bamgareyn hooseeya waxaana guud ahaan loo isticmaalaa xirmooyinka bamka kelliyada yar yar sababtoo ah cabbirka yar.
Bamka farsamada ee saliidda ku xiran ayaa ah bamka farsamada ee ugu badan ee la isticmaalo waagii hore, waxaa lagu gartaa xawaaraha bamgareynta weyn iyo faaruqa ugu dambeeya ee wanaagsan, khasaaraha ayaa ah jiritaanka guud ee soo celinta saliidda, nidaamyada vacuum ultra-sare guud ahaan waxay u baahan yihiin in lagu qalabeeyo valve solenoid (si looga hortago cillad shil ah oo ay sababto soo noqoshada saliidda) iyo shaandhada molecular (saamaynta xayeysiinta).
Sannadihii ugu dambeeyay, inta badan la isticmaalo waa bamka qallalan ee duudduuban. Faa'iidada way fududahay in la isticmaalo oo kuma soo noqoto saliidda, kaliya xawaaraha bamgareynta iyo faakuumka kama dambaysta ah ayaa waxyar ka sii liita tan bambooyinka farsamaysan ee saliidda leh.
Matoorada makaaniyadu waa isha ugu weyn ee qaylada iyo gariirka shaybaarka waxaana fiican in la doorto bamka sanqadha yar oo la dhigo inta u dhexeysa qalabka halka ay suurtagal tahay, laakiin kan dambe inta badan ma fududa in la gaaro sababtoo ah xannibaadaha fogaanta shaqada.
II.Turbomolecular bambooyin
Matoorada molecular Turbo waxay ku tiirsan yihiin faanadaha wareega ee xawaaraha sare leh (badanaa ku dhawaad ​​​​1000 kacdoon daqiiqadii) si loo gaaro socodka jihada ee gaaska.Saamiga cadaadiska qiiqa bamka iyo cadaadiska gudaha waxaa loo yaqaan saamiga cadaadiska.Saamiga cadaadisku wuxuu la xiriiraa tirada marxaladaha bamka, xawaaraha iyo nooca gaaska, miisaanka guud ee kelliga ee cadaadiska gaaska ayaa aad u sarreeya.Faakuumka ugu dambeeya ee bamka turbomolecular waxaa guud ahaan loo arkaa inuu yahay 10-9-10-10 mbar, sannadihii ugu dambeeyay, iyadoo horumarka joogtada ah ee tignoolajiyada bamka kelli, faaruqa kama dambaysta ah ayaa la sii wanaajiyay.
Maaddaama faa'iidooyinka bamka turbomolecular kaliya lagu garto xaalad qulqulka molecular (xaalad socodka kaas oo celceliska qiyaasta bilaashka ah ee molecules gaasku uu aad uga weyn yahay cabbirka ugu sarreeya ee qaybta isgoysyada tubbada), bamka fakiyuumka ee ka horreeya marxaladda. cadaadiska hawlgalka ee 1 ilaa 10-2 Pa ayaa loo baahan yahay.Xawaaraha wareegtada sare ee faanooyinka awgiis, bamka molecular waxaa dhaawacmi kara ama burburin kara walxo shisheeye, jitter, saamayn, dhawaaq ama gariir gaas.Kuwa bilowga ah, sababta ugu badan ee dhaawaca waa shoog gaas oo ay sababto khaladaadka shaqada.Burburka bamka molecular waxa kale oo sababi kara dhawaaqa uu kiciyo bamka farsamada.Xaaladani waa dhif laakiin waxay u baahan tahay fiiro gaar ah sababtoo ah way ka sii dhago badan tahay oo aan si fudud loo ogaan.

III.Bamka ion ee ku firdhiya
Mabda'a shaqada ee bamka ion sputtering waa in la isticmaalo ions ay dhaliso dheecaanka Penning si uu u duqeeyo saxanka titanium ee cathode si uu u sameeyo filim titanium cusub, sidaas darteed u adsorbing gaasaska firfircoon iyo saameyn aaska gaar ah oo ku saabsan gaasaska inert sidoo kale .Faa'iidooyinka bambooyin ion sputtering waa vacuum wanaagsan ugu dambeeya, ma gariirka, buuq la'aan, wasakh lahayn, geedi socodka baaluq iyo xasilloon, dayactir la'aan iyo xawaare isku mid ah bamgareynta (marka laga reebo gaaska inert), kharashkoodu aad ayuu uga hooseeyaa bambooyin molecular, Taas oo ka dhigaysa in si aad ah loogu isticmaalo nidaamyada faakuumka aadka u sarreeya.Caadiyan wareegga shaqada ee caadiga ah ee matoorada ion-tu waxay ka badan tahay 10 sano.
Matoorada Ion guud ahaan waxay u baahan yihiin inay ka sarreeyaan 10-7 mbar si ay si habboon ugu shaqeeyaan (ka shaqaynta faakuumamka ka sii xun waxay si weyn u yaraynaysaa noloshooda) sidaas darteed waxay u baahan yihiin bamka molecular si ay u bixiyaan faakuum wanaagsan oo ka horreeya marxaladda.Waa wax caadi ah in la isticmaalo bamka ion + TSP qolka weyn iyo bam yar oo kelli ah oo lagu dhejiyay qolka soo galitaanka.Markaad dubinayso, fur furka galinta ku xidhan oo u ogolow bamka yar ee molecular inuu bixiyo faakuumka hore.
Waa in la ogaadaa in matoorada ion-ka ay awood yar u leeyihiin soo saarista gaaska aan shaqaynayn oo xawaarahooda ugu badnaan ay ka duwan yihiin kuwa bambooyinka kelliyada ah, sidaa darteed xaddi badan oo gaas ah ama xaddi badan oo gaas aan shaqaynayn, ayaa loo baahan yahay bamka molecular.Intaa waxaa dheer, bamka ion wuxuu abuuraa garoon elektromagnetic ah inta lagu jiro hawlgalka, kaas oo faragelin kara nidaamyada gaar ahaan xasaasiga ah.
IV.Titanium sublimation bambooyin
Titanium sublimation bambooyinku waxay ku shaqeeyaan iyagoo ku tiirsan uumiga titanium-ka macdan si ay u sameeyaan filim titanium derbiyada qolka si loo kimisorption.Faa'iidooyinka bambooyin sublimation titanium waa dhismo fudud, qiimo jaban, dayactir fudud, shucaac iyo qaylo la'aan.
Titanium sublimation bambooyin sida caadiga ah waxay ka kooban yihiin 3 fiilooyinka titanium (si looga hortago gubashada) waxaana loo isticmaalaa marka lagu daro matoorada molecular ama ion si ay u bixiyaan ka saarista haydaroojin heer sare ah.Waxay yihiin bambooyinka faakuumka ugu muhiimsan ee 10-9-10-11 mbar waxayna ku rakiban yihiin qolalka faakuumka aadka u sarreeya ee ugu badan halkaasoo heerarka faakuumka sare looga baahan yahay.
Khasaaraha ka mid ah bambooyin sublimation titanium waa baahida loo qabo sputtering joogto ah ee titanium, vacuum ah ayaa ka sii daraya by ku saabsan 1-2 amarada of magnitude inta lagu guda jiro sputtering (dhowr daqiiqo gudahood), sidaas darteed qolal gaar ah oo leh baahiyo gaar ah waxay u baahan yihiin isticmaalka NEG.Sidoo kale, shaybaarrada/qalabka xasaasiga ah ee titanium, waa in taxaddar la sameeyaa si looga fogaado meesha uu ku yaal bamka sublimation titanium.
V. bambooyin Cryogenic ah
Matoorada Cryogenic waxay inta badan ku tiirsan yihiin heerkulka hoose ee xayeysiiska jirka si ay u helaan faakuum, oo leh faa'iidooyinka xawaaraha bamgareynta sare, wasakh la'aan iyo faakuum sare oo sarreeya.Qodobbada ugu muhiimsan ee saameeya xawaaraha bamgareynta ee matoorada cryogenic waa heerkulka iyo aagga dusha sare ee bamka.Nidaamyada epitaxy beam molecular ballaaran, bambooyin cryogenic ayaa si ballaaran loo isticmaalaa sababtoo ah shuruudaha faakuumka sare ee ugu dambeeya.
Khasaarooyinka matoorada cryogenic waa isticmaalka sare ee nitrogen dareeraha ah iyo kharashyada hawlgalka oo sarreeya.Nidaamyada qaboojiyaha dib-u-wareegaya ayaa la isticmaali karaa iyada oo aan la isticmaalin nitrogen dareere ah, laakiin tani waxay la socotaa dhibaatooyinka u dhigma ee isticmaalka tamarta, gariirka iyo buuqa.Sababtan awgeed, matoorada cryogenic ayaa si yar loo isticmaalo qalabka shaybaadhka caadiga ah.
VI.Bambooyin-dhaliye (NEG)
Bamka wakiilka nuugista waa mid ka mid ah bambooyin vacuum ah oo aad loo isticmaalo sanadihii la soo dhaafay, faa'iidada ay leedahay waa isticmaalka dhamaystiran ee adsorption kiimikaad, ma laha uumiga dahaadhka iyo wasakhowga korantada, inta badan loo isticmaalo iyadoo lala kaashanayo bambooyin molecular si ay u qaataan meesha ee bambooyin sublimation titanium iyo sputtering ion. matoorrada, khasaaruhu waa qiimaha sarreeya iyo tirada xaddidan ee dib-u-soo-nooleynta, sida caadiga ah loo isticmaalo nidaamyada leh shuruudaha sare ee xasilloonida faakuumka ama aad xasaasi u ah meelaha korantada.
Intaa waxaa dheer, sida bamka aspirator-ku uma baahna xiriirin koronto oo dheeri ah oo ka baxsan firfircoonida bilowga ah, sidoo kale waxaa badanaa loo isticmaalaa nidaamyada waaweyn sida bamka caawinta si loo kordhiyo xawaaraha bamgareynta iyo hagaajinta heerka vacuum, taas oo si wax ku ool ah u fududeyn karta nidaamka.

Jaantuska: Cadaadiska shaqada ee noocyada kala duwan ee bambooyin.Fallaadhaha bunni waxay muujinayaan heerka ugu sarreeya ee cadaadiska hawlgalka ee la oggol yahay iyo qaybaha cagaarka ah ee geesinimada leh waxay muujinayaan cadaadiska shaqada ee caadiga ah.