Kontrolluesi i rrjedhës së masës Matësi i rrjedhës së masës CS200
Veçoritë
1. Saktësi e lartë dhe përgjigje e shpejtë
Saktësia e MFC CS200 është përmirësuar në ±1,0% të SP dhe modelet më të avancuara kanë një kohë të reduktuar përgjigjeje prej më pak se 0,8 sek.
2. Zhvendosja e ulët zero dhe koeficienti i temperaturës
Shpikja e teknologjisë së re të sensorëve i mundëson CS200 MFC të ruajë stabilitetin dhe të përballojë luhatjet e temperaturës.Pa një përforcues automatik zero, zhvendosja e pritshme zero është më e vogël se 0,6%FS/vit dhe koeficienti i temperaturës është më pak se 0,02%FS/℃(zero), 0,05%FS/℃ (hapësirë).
3. Modele të vulosura me metal dhe veçori me pastërti të lartë
Rruga e rrjedhës së lagur e linjës CS200 MFC është e ndërtuar nga çelik inox i pasivuar në sipërfaqe.Të gjithë MFC-të CS200 janë montuar në dhomat e pastërta ultra të pastërta të klasës 100 të Sevenstar në përputhje me standardet SEMI dhe ISO 9001.
4. Ndërfaqet e pajtueshme
CS200 MFC është i pajtueshëm me ndërfaqet e mëposhtme, të cilat mund të zgjidhen nga klienti: ±8V-±16V furnizimi me energji elektrike me dy skaje dhe +14V-+28V furnizim me energji me një skaj;hyrje dhe dalje e sinjalit dixhital ose analog;Dimensionet mekanike standarde SEMI;dhe RS-485 ose moduli i komunikimit DeviceNet.
5. Funksione të ndryshme
Softueri i fuqishëm i klientit vjen standard me secilin model, ndërsa funksione shtesë si shumë-gaz, me shumë rreze, auto-zero, alarme, fillimi i butë dhe vonesa janë të disponueshme si zgjedhje të klientit.
Specifikim
| CS200 | |||||||
| Lloji | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Gama e shkallës së plotë (N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Saktësia | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (＜35% FS) | ||||||
| Lineariteti | ±0,5% FS | ||||||
| Përsëritshmëria | ±0.2% FS | ||||||
| Koha e përgjigjes | ≤1 sek | ≤0,8 sek (SEMI E17-0600) | |||||
| Pozicioni i pushimit të valvulës | Normalisht i mbyllur ose | Pa valvul | Normalisht i mbyllur ose | Pa valvul | Normalisht i mbyllur ose | Pa valvul | |
| Normalisht e hapur (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalisht e hapur (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalisht e hapur (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Presioni diferencial | 0,05 ~ 0,35 MPa （Rrjedha≤10 slm） | ＜0.02 MPa | (0,05 ~ 0,35) MPa (≤ 10 slm) | ＜0.02 MPa | (0,05 ~ 0,35) MPa (≤ 10 slm) | ＜0.02 MPa | |
| 0,1 ~ 0,35 MPa (10 slm ＜Rrjedha ≤ 30 slm) | (0,1-0,35) MPa (（＞10 slm) | (0,1-0,35) MPa (（＞10 slm) | |||||
| 0,2 ~ 0,45 MPa (Rrjedha ＞ 30 slm) | |||||||
| Presioni maksimal i funksionimit | 0.45 MPa | |||||
| Temperatura | Zero:≤±0.05% FS/℃; | Zero:≤±0.02% FS/℃;Hapësira:≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Koeficient | Hapësira: ≤±0,1% FS/℃（Rrjedha≤30slm） | |||||
| Hapësira: ≤±0,2% FS/℃（Rrjedha> 30 slm） | ||||||
| Presioni i provës | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0.6%FS në vit pa autozero | |||||
| Rrjedhje e integritetit | 1×10-9 atm·cc / sek Ai | 1×10-10atm·cc / sek Ai | ||||
| Materialet e lagura | Viton; | Metal? (çelik inox V/V, 5Ra) | Metal | |||
| Kimi sipërfaqësore | --- | raporti Cr/Fe ＞2.0;Trashësia CrO ＞20 Angstroms | ||||
| Përfundojë sipërfaqe | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
| Temperatura e funksionimit | (5～45）℃ | (0,50）℃ | ||||
| Sinjali i hyrjes | Dixhital: RS485 ose ProfiBus | N/A | Dixhital: RS485 ose ProfiBus ose DeviceNetTM | N/A | Digital: RS485 ose ProfiBus ose DeviceNetTM | N/A |
| ose DeviceNetTM | Analoge: (0~5)VDC ose (4~20)mA ose (0~20)mA | Analoge:(0~5)VDC ose (4~20)mA?ose (0~20)mA | |||||
| Analoge: (0~5)VDC ose (4~20)mA ose (0~20)mA | |||||||
| Sinjali i daljes | Dixhital: RS485 ose DeviceNetTM ose ProfiBus Analog:(0~5)VDC ose (4~20)mA ose (0~20)mA | ||||||
| Furnizimi me energji elektrike | ±8 ~ ± 16 VDC ose +14 ~ +28 VDC (400 mA) | ||||||
| Lidhës Elektronik | Nën-D mashkull me 9 pin, nën-D mashkull 15 pin ，DeviceNetTM,ProfiBus, analog | ||||||
| Pajisjet | VCR1/4” M; VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Montimi i ngjeshjesΦ10; Montimi i kompresimitΦ6; | Montimi i kompresimitΦ6, | ||||||
| Montimi me ngjeshje 3/8”;Montimi i kompresimit 1/4”; | Montimi i kompresimitΦ3, | ||||||
| Montimi i kompresimit 1/8”;Montimi i kompresimitΦ3; | Montimi i kompresimit 1/4”; | ||||||
| Ф6 (të brendshme)×1 zorrë;ф5 (të brendshme)×1.5 zorrë;ф4 (të brendshme)×1 zorrë; | W-vula, | ||||||
| A-sael ; | C-vula | ||||||
| Pesha | 1 kg | 0.8 kg | 1.2 kg | 1 kg | 1.2 kg | 1 kg | |
