ЕВ серије сложених молекуларних пумпи
Технички подаци серије ЕВ
Модел | ЕВ-600 ЕВ-600Ф | ЕВ-1200 ЕВ-1200Ф | ЕВ-1600 ЕВ-1600Ф | ||||
Улазна прирубница (мм) | 150 ЦФ | 160 ИСО-К | 200 ЦФ | 200 ИСО-К | 250 ЦФ | 250 ИСО-К | |
Излазна прирубница (мм) | 40 КФ | 40 КФ | 50 КФ | ||||
Брзина пумпања (Л/С) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Однос компресије | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8Кс103 | >1Кс104 | >1Кс104 | ||||
Ултимативни вакуум (Па) | <8Кс10-8 | <5Кс10-7 | <8Кс10-8 | <5Кс10-7 | <8Кс10-8 | <5Кс10-7 | |
Брзина ротације (рпм) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Вибрације | ≤0,1 μм | ≤0,1 μм | ≤0,15 μм | ||||
Време почетка (мин) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
Бацкинг Пумп | 4-8 Л/С | 8-15 Л/С | 15 Л/С | ||||
Метод хлађења | Водено (ваздушно) хлађење | Водено (ваздушно) хлађење | Водено (ваздушно) хлађење | ||||
Температура расхладне воде (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Температура околине (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Количина протока расхладне воде | 1-2 Л/мин | 1-2 Л/мин | 1-2 Л/мин | ||||
Температура печења (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Снага грејача (в) | <250 | <300 | <300 | ||||
Улазни напон грејача (в) | АЦ220 | АЦ220 | АЦ220 | ||||
Монтажа | Вертикални ±5° | Вертикални ±5° | Вертикални ±5° | ||||
Тежина (кг) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Крива атмосферског пумпања једињења
Молецулар Пумп
Крива односа компресије азота и водоника
помоћу сложене молекуларне пумпе
Табела инсталационих димензија ЕВ серије сложене молекуларне пумпе
Модел | ЕВ-600 | ЕВ-1200 | ЕВ-1600 | ||||
Улазна прирубница (мм) | 150 ЦФ | 160 ИСО-К | 200 ЦФ | 200 ИСО-К | 250 ЦФ | 250 ИСО-К | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.9 | ¨183.9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Рупа за вијак ноге пумпе | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | |
Излазна прирубница (мм) | КФ40 | КФ40 | КФ40 | КФ40 | КФ50 | КФ50 |
Молекуларне пумпе за ваздушно хлађење серије ЕВ
Ваздушно хлађена молекуларна пумпа серије ЕВ се састоји од турбомолекуларне пумпе и диск вучне пумпе.Има карактеристике високе брзине пумпања и односа компресије за молекуларни проток турбомолекуларне пумпе, високе брзине пумпања и компресије за високи притисак вучне пумпе и проширује обим примене молекуларне пумпе.
Композитна молекуларна пумпа нема селективност и ефекат меморије на пумпани гас.Због свог високог степена компресије у односу на гас велике молекуларне тежине, пумпа може да постигне чист високи и ултра високи вакуум без хладног замка и преграде за уље.Широко се користи у различитим областима електронике, металургије, хемијске индустрије, научних истраживања и вакуумске технологије.
Модел | ЕВ-600Ф | ЕВ-1200Ф | ЕВ-1600Ф | |||
Улазна прирубница (мм) | 150 ЦФ | 160 ИСО-К | 200 ЦФ | 200 ИСО-К | 250 ЦФ | 250 ИСО-К |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.8 | ¨183.8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Рупа за вијак ноге пумпе | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 |