Контролори масеног протока (МФЦ) пружају прецизно мерење и контролу масеног протока гасова.
И. Која је разлика између МФЦ-а и МФМ-а?
Мерач масеног протока (МФМ) је врста инструмента који прецизно мери проток гаса, а његова мерна вредност није нетачна због флуктуација температуре или притиска и не захтева компензацију температуре и притиска. Регулатор масеног протока (МФЦ) није само има функцију мерача масеног протока, али што је још важније, може аутоматски контролисати проток гаса, односно корисник може подесити проток према својим потребама, а МФЦ аутоматски одржава проток константним на подешеној вредности, чак и ако системски притисак Флуктуације или промене температуре околине неће довести до одступања од подешене вредности.Регулатор масеног протока је уређај за стабилан проток, који је уређај за стабилан проток гаса који се може ручно подесити или аутоматски контролисати везом са рачунаром.Мерачи масеног протока само мере, али не и контролишу.Регулатор масеног протока има контролни вентил, који може и да мери и контролише проток гаса.
ИИ.Каква је структура ипринцип рада?
1、 Структура
2、Принцип операције
Када проток уђе у усисну цев, већи део протока пролази кроз канал за преусмеравање, чији мали део улази у капиларну цев унутар сензора.Због посебне структуре на
канал за преусмеравање, два дела протока гаса могу бити директно пропорционална.Сензор се претходно загрева и загрева, а температура унутра је виша од температуре улазног ваздуха.У овом тренутку, масени проток малог дела гаса се мери принципом преноса топлоте капиларном цеви и принципом калориметрије температурне разлике.Проток гаса мерен на овај начин може занемарити утицај температуре и притиска.Сигнал за мерење протока детектован од стране сензора улази у штампану плочу и појачава и излази, а функција МФМ-а је завршена.Додавање аутоматске контроле ПИД затворене петље на плочу, упоредите сигнал мерења протока који је измерио сензор са подешеним сигналом који је дао корисник.На основу тога, регулациони вентил се контролише тако да сигнал детекције протока буде једнак подешеном сигналу, чиме се остварује функција МФЦ-а.
ИИИ.Апликације и карактеристике.
МФЦ, који се широко примењује у областима као што су: производња полупроводника и ИЦ, наука о специјалним материјалима, хемијска индустрија, нафтна индустрија, фармацеутска индустрија, заштита животне средине и истраживање вакуумских система, итд. Типичне примене укључују: микроелектронску процесну опрему као што је дифузија , оксидација, епитаксија, ЦВД, јеткање плазмом, распршивање, имплантација јона;опрема за вакуумско таложење, топљење оптичких влакана, опрема за микрореакцију, систем за мешање и усклађивање гаса, систем контроле капиларног протока, гасни хроматограф и други аналитички инструменти.
МФЦ доноси високу тачност, одличну поновљивост, брзу реакцију, меки старт, бољу поузданост, широк спектар радних притисака (добар рад у ситуацијама високог притиска и вакуума), једноставан и практичан рад, флексибилну инсталацију, могуће повезивање са рачунаром ради аутоматског контролу над системом корисника.
ИВ.Како одредити и поступити са фаилурес?
Наша компанија има професионалног инжењера након продаје, може вам помоћи да решите проблеме у инсталацији и употреби.
Време поста: 29.07.2022