Знање – Вакумски вентили

И. Увођење вентила
Вакумски вентил је компонента вакуумског система која се користи за промену смера протока ваздуха, подешавање величине протока гаса, пресецање или повезивање цевовода у вакуум систему.Делови за затварање вакуумског вентила су заптивни гуменом или металном заптивком.

ИИ.Уобичајене примене вакуумских вентила.
Вакумски вентили
Користи се у опреми система високог или ултрависоког вакуума када се вакуум мора одржавати у затвореном систему за руковање вакуумом.Вакумски вентили се користе за контролу протока ваздуха у вакуумску комору, изолацију, вентилацију, обезбеђивање смањења притиска или контролу проводљивости.Запорни вентили, инлине вентили и угаони вентили су најчешћи типови вакуумских вентила који се користе за апликације високог или ултра високог вакуума.Додатни типови вентила укључују лептир вентиле, преносне вентиле, кугличне вентиле, вентиле са клатном, потпуно металне вентиле, вакуумске вентиле, алуминијумске угаоне вентиле, тефлонско обложене вакуум вентиле и праволинијске вентиле.

Лептир вентили
су вентили за брзо отварање који се састоје од металних дискова или лопатица које се окрећу под правим углом у односу на смер протока у цевоводу и када се окрећу око своје осе, вентил затвара седиште у телу вентила.

Преносни вентили (правоугаони засун)
Разделни вентили погодни за употребу између вакуумских комора са закључаним оптерећењем и преносних комора, и између комора за пренос и процесних комора у опреми за производњу полупроводника.

Вакумски куглични вентили
су вентили равног протока са четвртином обртаја са кружним затварачем са одговарајућим кружним седиштима за равномерно заптивање.

Клатно вентили
је велики пригушни вентил постављен између процесне вакуумске коморе и улаза турбомолекуларне пумпе.Ови вакуумски вентили са клатном су типично дизајнирани као капија или вентили са клатном за апликације укључујући ОЛЕД, ФПД и ПВ индустријске производне системе.

Потпуно метални вентили
Дизајниран за употребу у окружењима са ултра високим вакуумом где високе температуре не дозвољавају употребу еластомера и криогених метала за заптивке.Потпуно метални вентили за печење обезбеђују поуздано заптивање високе температуре од атмосферског притиска до испод 10-11 мбар.

Вакумски вентили
Поуздано раде у системима за производњу полупроводника и у апликацијама са хемијском контаминацијом и контаминацијом честица.Могу се користити у окружењима грубог вакуума, високог вакума или ултра-високог вакуума.

Алуминијумски угаони вентили
Улаз и излаз ових вентила су под правим углом један према другом.Ови угаони вентили су направљени од алуминијума А6061-Т6 и користе се у производњи полупроводника и инструмената, истраживању и развоју и индустријским вакуум системима за апликације од грубог до високог вакуума.

Вакум вентил обложен тефлоном је потпуно конструисан уређај за вакуумску компоненту од нерђајућег челика са издржљивим премазом отпорним на хемикалије.

ИИИ.Карактеристике вакуумских вентила.
Притисак је испод атмосферског притиска и пад притиска на клапни вентила не може прећи 1 кг силе/цм.Радна температура медијума зависи од процеса коришћеног уређаја.Температура углавном не прелази опсег од -70 ~ 150°Ц.Најосновнији захтев за такве вентиле је обезбеђивање високог степена непропусности споја и густине конструкције и материјала заптивке.

Према средњем притиску вакуум вентили се могу поделити у четири групе.
1) Вентили ниског вакуума: средњи притисак п=760~1 ммХг.
2）Средњи вакуумски вентили: п=1×10-3 ммХг.
3) Високо вакуумски вентили: п=1×10-4 ~1×10-7 ммХг.
4) Вентил за ултрависоки вакуум: п≤1×10-8 ммХг.

Као вентил са затвореним кругом са пречником пролаза мањим од 250 мм, широко коришћено вретено је запорни вентил са вакумским мехом са линеарним кретањем.Запорни вентили су, међутим, ограниченији, али то је углавном за велике пречнике.Такође су доступни сферни чеп вентили (кугласти вентили), клипни вентили и лептир вентили.Чеп вентили за вакуум вентиле нису промовисани јер захтевају подмазивање уљем, што омогућава да уљна пара уђе у вакуумски систем, што није дозвољено.Вакум вентили се могу контролисати ручно и даљински на терену, као и електрично, електромагнетно (магнетни вентили), пнеуматски и хидраулички.