speed ngompa badag awét Low noise DRV Rotary vane pompa hawa pompa vakum
Pompa vakum séri DRV nyaéta pompa vakum anu disegel minyak vane Rotary tahap ganda cocog pikeun aplikasi vakum lemah sareng sedeng, utamina dianggo pikeun ngaleungitkeun hawa sareng gas garing anu sanés.Ieu salah sahiji parabot utama pikeun vakum lemah sareng sedeng, éta bisa dipaké nyalira atanapi salaku fore a
pompa tina pompa vakum séjén.
Pompa vakum boga ciri kinerja ngajalankeun dipercaya, kirang ngagem bagian, Geter low, noise lemah sareng efisiensi tinggi.
Pompa vakum séri SV diimpor tina téknologi canggih asing, sareng komponén konci nyaéta komponén anu diimpor atanapi diimpor.
bahan.Pompa vakum séri DRV tiasa lengkep ngagentos produk asing anu sami.
Brosur pikeun Produk Pompa Molekul EVFB Series
model:
EVFB-100/301 Sanyawa terpadu pompa molekular
EVFB-160/401 Sanyawa terpadu pompa molekular
EVFB-160 / 450D Pompa molekular anti Geter
EVFB-160/701Sanyawa terpadu pompa molekular
EVFB-200/1401 Sanyawa terpadu pompa molekular
EVFB-250/2201 Sanyawa terpadu pompa molekular
EVFB-160/701 Pompa molekular sanyawa
EVFB-200/1401 Pompa molekular sanyawa
EVFB-250/2201 Pompa molekular sanyawa
EVFB-400/3600 Turbo pompa molekular
EVFB-400/4500 Turbo pompa molekular
Tinjauan produk
Pompa molekular mangrupikeun jinis pompa vakum transfer moméntum anu gancang, kisaran tekanan kerjana umumna 10-1Pa ~ 10-7Pa, mangrupa salah sahiji alat akuisisi vakum penting pikeun ngahontal vakum tinggi na vakum ultra-luhur.Pompa molekular boga kaunggulan gancang ngamimitian-up, rentang kerja lega, konsumsi kakuatan low, kabersihan tinggi jeung pangropéa basajan.
Produk pompa molekular anu dijelaskeun dina buku conto ieu mangrupikeun produk generasi kadua
karek dibuka ku pausahaan, nu utamana dirancang jeung dioptimalkeun pikeun vakum industri jeung widang panalungtikan ilmiah, kaasup runtuyan mimiti industri vakum produk pompa molekular jeung controller terpadu jeung skenario aplikasi fléksibel.Numutkeun haliber nu, aya utamana DN100, DN160, DN200, DN250 na DN400 jeung produk lianna.
Gajih lubricated pompa molekular integral
Fitur utama séri produk ieu:
（1） Controller terintegrasi: Desain pengontrol terintegrasi，Ngagampangkeun integrasi sistem，Hiji konci ngamimitian;
（2） bantalan precision: Grease lubrication precision bantalan bola keramik, Dipasang dina sudut mana wae;
（3） reliabiliti tinggi: rotors sakabéh, téhnologi nyetir BLDC;
（4） Karagaman fungsional: Rangkaian lengkep asesoris, Solusi khusus sayogi;
（5） Nyadiakeun fungsi speed adjustable, Pikeun minuhan sarat tina rupa-rupa speed ngompa;
runtuyan ieu produk utamana cocog pikeun PVD, CVD, plat kristal cair jeung palapis industri lianna;spéktrométri massa, fisika énergi tinggi, deteksi bocor vakum, ubar jeung rékayasa biologis jeung widang panalungtikan ilmiah lianna.
Spésifikasi teknis pompa molekular
| Modél | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D(didamel khusus） | ||||
| ☑The vakum paraméter | |||||||
| Ngompa laju (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Pamungkas tekanan | < 5×10-6 Pa (LF) ;< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| Komprési babandingan | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Maximumcontinuousinletpress ureh | 10 Pa | 2 Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| MaximumcontinuousForelinepressure | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maxforelinepressuretolerance | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Fisik parameter | |||||||
| Inlet flange | DN100 ISO-K (LF) atanapi CF | DN160 ISO-K (LF) atanapi CF | |||||
| Foreline flange | DN25 ISO-KF atanapi DN40KF (Opsional) | ||||||
| Ngabersihkeun flange | DN16 ISO-KF | ||||||
| Beurat | 9,6 kg (ISO-K | 10 kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Geter | ≤0,05 μm | ||||||
| Geuning | ≤55 dB (The standar cooling hawa) | ||||||
| Bearing | Gajih lubricated bantalan bola keramik | ||||||
| Ngoperasikeun posisi | Sakur | ||||||
| Oper.ambient Magnét sawah | ≤3 mT（10mT panggedéna，Perlu disaluyukeun） | ||||||
| Oper.ambie nt | Hawa tiis | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Watercooling | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Persyaratan coolingwater | Suhu cai: 15-30 ℃; tekanan: 0.15Mpa; PH6 ~ 8, jelas, Oilfree; aliran: ≥1L / mnt | ||||||
| Dianjurkeun pompa hareup | 2~6 L/s | 3~8L/s | |||||
| ☑Controller paraméter | |||||||
| Controller | EVFB-II | ||||||
| Rotasi laju | 48000rp | 36000 rpm | |||||
| Lemah laju | 33600rp | 25200 rpm | |||||
| Ngamimitian waktos | ≤5 mnt | ||||||
| Voltaseu | 48VAC±2% | ||||||
| Komunikasi modus | RS-485 | ||||||
| Modél | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑The vakum paraméter | |||||||
| Pamungkas tekanan (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Ngompa laju (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Komprési babandingan | > 1x1011 | > 1x104 | > 1x1011 | > 1x104 | > 1x1010 | > 1x104 | |
| Maximumcontinuousinletpress ure (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Tekanan Foreline Maksimum (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress kasabaran (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Fisik parameter | |||||||
| Inlet flange | DN160 ISO-K (LF) atanapi CF | DN200 ISO-K （LF）或 CF | DN250 ISO-K (LF) atanapi | ||||
| Foreline flange | DN25 ISO-KF atanapi KF40 (Opsional) | DN40 ISO-KF atanapi KF50 (Opsional) | |||||
| Ngabersihkeun flange | DN16 ISO-KF | ||||||
| Dianjurkeun pompa hareup (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Beurat(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Geter | ≤ | ||||||
| Noise (dB) | ≤ | ||||||
| Bearing | Gajih lubricated bantalan bola keramik | ||||||
| Ngoperasikeun posisi | Sakur | ||||||
| Magnét sawah inténsitas (mT) | ≤3（10mT panggedéna，Perlu ngaropea） | ||||||
| Oper.ambient suhu | Hawa tiiseun | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Cai tiiseun | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Niiskeun cai syarat | Suhu cai: 15-25 ℃; tekanan: 0.15Mpa; PH6 ~ 8, jelas, Minyak bébas ；ngalir: ≥1.5L/min | ||||||
| ☑Controller paraméter | |||||||
| Controller | EVFB-III-A | ||||||
| Komunikasi modus | RS-485 | ||||||
| Voltaseu(V） | 220V AC ± 10% | ||||||
| Frékuénsi(Hz） | 50/60±5% | ||||||
| maksimal asupan Kakuatan(W） | 100 | ||||||
| Mimitian / eureun kadali modus | Tombol controller ngadalikeun ngamimitian jeung eureun / RS485 controller ngamimitian jeung eureun / DB15 Control ngamimitian jeung eureun | ||||||
| Protéksi | Controller overcurrent, overvoltage, undervoltage, panyalindungan overheating, overcurrent pompa molekular, overload, panyalindungan overheating, jsb | ||||||
| Rotasi laju (r/mnt) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | ||||
| Lemah laju (r/mnt) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | ||||
| ayeuna(A） | ≤0.6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Panyalindungan sekering(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Waktos ngamimitian(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Downtime(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Gemblengna Diménsi
| Modél | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253.5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274.5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239.5 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238.5 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 |
| Modél | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
Mesen Émbaran
| Jumlah | produk modél | produk kodeu | Asesoris | pesenanangka | Jelaskeun |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | pompa molekular baku | A3123 | Pompa standar (pendingin hawa standar sacara standar) |
| Ngabersihan klep asesoris(aliran leutik) | A3123-A | Pompa standar + asesoris klep Purge (aliran leutik) | |||
| komponén cai-cool | A3123-B | Pompa baku + komponén cai-cooling (Ganti komponén hawa tiis) | |||
| Ngabersihan klep asesoris (aliran leutik), komponén cooling cai | A3123-C | Pompa standar + Asesoris klep Purge (aliran leutik) + Komponén penyejukan cai (Ganti komponén anu tiis hawa) | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | pompa molekular baku | A3124 | Pompa standar (pendingin hawa standar sacara standar) |
| Ngabersihan klep asesoris(aliran leutik) | A3124-A | Pompa standar + asesoris klep Purge (aliran leutik) | |||
| komponén cai-cool | A3124-B | Pompa baku + komponén cai-cooling (Ganti komponén hawa tiis) | |||
| Ngabersihan klep asesoris (aliran leutik), komponén cooling cai | A3124-C | Pompa standar + Asesoris klep Purge (aliran leutik) + Komponén penyejukan cai (Ganti komponén anu tiis hawa) | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | pompa molekular baku | A3127 | Pompa standar (pendingin hawa standar sacara standar) |
| Ngabersihan klep asesoris(aliran leutik) | A3127-A | Pompa standar + asesoris klep Purge (aliran leutik) | |||
| komponén cai-cool | A3127-B | Pompa baku + komponén cai-cooling (Ganti komponén hawa tiis) | |||
| Ngabersihan klep asesoris (aliran leutik), komponén cooling cai | A3127-C | Pompa standar + Asesoris klep Purge (aliran leutik) + Komponén penyejukan cai (Ganti komponén anu tiis hawa) | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | pompa molekular baku | A3128 | Pompa standar (pendingin hawa standar sacara standar) |
| Ngabersihan klep asesoris(aliran leutik) | A3128-A | Pompa standar + asesoris klep Purge (aliran leutik) | |||
| komponén cai-cool | A3128-B | Pompa baku + komponén cai-cooling (Ganti komponén hawa tiis) | |||
| Ngabersihan klep asesoris | A3128-C | Pompa standar + klep Purge |
| (aliran leutik), komponén cooling cai | asesoris（aliran leutik）+Komponén penyejukan cai(Gantikomponén hawa tiis) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | pompa molekular baku | A3129 | Pompa standar (pendingin hawa standar sacara standar) |
| Ngabersihan klep asesoris(aliran leutik) | A3129-A | Pompa standar + asesoris klep Purge (aliran leutik) | |||
| komponén cai-cool | A3129-B | Pompa baku + komponén cai-cooling (Ganti komponén hawa tiis) | |||
| Ngabersihan klep asesoris (aliran leutik), komponén cooling cai | A3129-C | Pompa standar + Asesoris klep Purge (aliran leutik) + Komponén penyejukan cai (Ganti komponén anu tiis hawa) | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | pompa molekular baku | A3130 | Pompa standar (pendingin hawa standar sacara standar) |
| Ngabersihan klep asesoris(aliran leutik) | A3130-A | Pompa standar + asesoris klep Purge (aliran leutik) | |||
| komponén cai-cool | A3130-B | Pompa baku + komponén cai-cooling (Ganti komponén hawa tiis) | |||
| Ngabersihan klep asesoris (aliran leutik), komponén cooling cai | A3130-C | Pompa standar + Asesoris klep Purge (aliran leutik) + Komponén penyejukan cai (Ganti komponén anu tiis hawa) | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | pompa molekular baku | A3139 | Pompa baku（Water coolingstandar sacara standar) |
| Ngabersihan klep asesoris | A3139-A | Pompa standar + klep Purgeasesoris | |||
| Komponén kipas | A3139-B | Pompa standar + Kipas angin | |||
| Ngabersihan klep asesoris,Komponén kipas | A3139-C | Pompa standar + klep Purgeasesoris + komponén kipas | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | pompa molekular baku | A3140 | Pompa baku（Water coolingstandar sacara standar) |
| Ngabersihan klep asesoris | A3140-A | Pompa standar + klep Purgeasesoris | |||
| Komponén kipas | A3140-B | Pompa baku + komponén kipas | |||
| Ngabersihan klep asesoris,Komponén kipas | A3140-C | Pompa standar + klep Purgeasesoris + komponén kipas | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | pompa molekular baku | A3135 | Pompa baku（Cai cooling standar sacara standar） |
| Ngabersihan klep asesoris | A3135-A | Pompa standar + klep Purgeasesoris | |||
| Komponén kipas | A3135-B | Pompa baku + komponén kipas | |||
| Ngabersihan klep asesoris, | A3135-C | Pompa standar + klep Purge |
| Komponén kipas | asesoris + komponén kipas | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | pompa molekular baku | A3136 | Pompa baku（Cai cooling standar sacara standar） |
| Ngabersihan klep asesoris | A3136-A | Pompa standar + klep Purgeasesoris | |||
| Komponén kipas | A3136-B | Pompa baku + komponén kipas | |||
| Ngabersihan klep asesoris、 | A3136-C | Pompa standar + klep Purgeasesoris + komponén kipas | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | pompa molekular baku | A3141 | Pompa baku（Cai cooling standar sacara standar） |
| Ngabersihan klep asesoris | A3141-A | Pompa standar + klep Purgeasesoris | |||
| Komponén kipas | A3141-B | Pompa standar + Kipas angin | |||
| Ngabersihan klep asesoris、Komponén kipas | A3141-C | Pompa standar + klep Purgeasesoris + komponén kipas | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | pompa molekular baku | A3142 | Pompa baku（Cai cooling standar sacara standar） |
| Ngabersihan klep asesoris | A3142-A | Pompa standar + klep Purgeasesoris | |||
| Komponén kipas | A3142-B | Pompa standar + Kipas angin | |||
| Ngabersihan klep asesoris、 | A3142-C | Pompa standar + klep Purgeasesoris + komponén kipas | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Controller pompa molekular (Cocok pikeun pompa molekuler sapertos EVFB- 100/301, EVFB- 160/401, EVFB-100/450D) |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Pengontrol pompa molekular（ Cocog pikeun pompa molekuler sapertos EVFB- 160/701, EVFB- 200/1401, EVFB-250/2201) |
Pompa molekular Sanyawa Dipisahkeun
Fitur utama séri ieu produk:
（1） Controller dipisahkeun: catu daya AC220V, konci ngamimitian-eureun;
（2） Reliabiliti luhur: rotors sakabéh, téhnologi nyetir BLDC;
（3） bantalan precision: bantalan bola keramik precision，Dipasang dina sudut mana waé（Model lubricated ukur grease）；
（4） Karagaman fungsional: Rangkaian lengkep asesoris, Solusi khusus sayogi;
（5） Nyadiakeun fungsi speed adjustable， Pikeun minuhan sarat tina rupa-rupa speed ngompa； runtuyan produk ieu utamana lumaku pikeun PVD, CVD, plat kristal cair jeung lianna.
palapis industri, panalungtikan ilmiah jeung widang lianna.
Parameter téknis pompa molekular
| Modél | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑The vakum paraméter | ||||||||||
| Tekanan pamungkas (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Ngompa laju (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Babandingan komprési | > 1x1011 | > 1x104 | > 1x1011 | > 1x104 | > 1x1010 | > 1x104 | > 1x108 | > 6x102 | > 1x108 | > 8x103 |
| maksimal kontinyu asuptekanan (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0.05 | 0.02 | 0.03 | 0.01 |
| maksimalkontinyu Foreline | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Maxforelinepressuretolerance (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Fisik parameter | ||||||||||
| Inlet flange | DN160 ISO-K (LF) atanapi CF | DN200 ISO-K (LF) atanapi CF | DN250 ISO-K (LF) atanapi CF | DN400 ISO-K (LF) atanapi CF | DN400 ISO-K (LF) atanapi CF | |||||
| Foreline flange | DN25 ISO-KF,KF40 (Pilihan) | DN40 ISO-KF, KF50 (Opsional) | DN100 ISO-K (LF) | DN100 ISO-K (LF)atanapiKF50 (Opsional) | ||||||
| Ngabersihkeun flange | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Dianjurkeun | 4~10 L/s | 8~16 L/s | 16~24 L/s | 30~70 L/s | ||||||
| Beurat(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Geter | ≤ 0,05 | ≤ 0.3 | ||||
| Geuning (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Bearing | Gajih lubricated bantalan bola keramik | Bantalan bola keramik | ||||
| Ngoperasikeun posisi | Sakur | Nangtung ± 5° | ||||
| Oper.Ambient Médan magnét | ≤ 3mT（10mT panggedéna，Perlu ngaropea） | ≤ 3mT | ||||
| Oper.ambient suhu | Hawa tiiseun | 5~35oC | / | / | ||
| Watercooling | 5~40oC | |||||
| Niiskeun cai syarat | Suhu cai: 15-25 ℃; pra pasti: 0.15Mpa; aliran: ≥1.5L/min | aliran: ≥ 3L / mnt | ||||
| ☑Controller paraméter | ||||||
| Papisah controller | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI（4U） | ||||
| Jauh kadali | Kontrol jarak ultra （mangga konsultasi ka insinyur kami） | |||||
| Komunikasi modus | RS-485 | |||||
| Voltaseu(V） | Ti 100 nepi ka 240VAC (± | 220VAC (± 10%) | ||||
| Frékuénsi(Hz） | 50/60Hz±5% | |||||
| kakuatan maksimum(W） | 1000 | 1500 | ||||
| Mimitian / eureun kadali modus | Tombol controller ngadalikeun ngamimitian jeung eureun / RS485 controller ngamimitian jeung eureun / DB15 Control ngamimitian jeung eureun | |||||
| Protéksi | Controller overcurrent, overvoltage, undervoltage, panyalindungan overheating, overcurrent pompa molekular,overload, panyalindungan overheating, jsb | |||||
| Rotasi laju (r/mnt) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | 13500±0,1% | 16200±0,1% | |
| Lemah laju (r/mnt) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | / | ||
| ayeuna(A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Panyalindungan sekering(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Ngamimitian waktos(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Downtime(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Oper. ambient kaayaan | Taya gas corrosive jeung partikel lebu atra; suhu lingkungan: -10 ℃ ~ 50 ℃ ； lingkungankalembaban: ≤ 90%, inténsitas geter: ≤ 0.5g | |||||
0 Sakabeh Dimensi
| Modél | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
EVFB-400/3600 Diménsi pompa Turbomolecular
EVFB-400/4500 Diménsi pompa Turbomolecular
Penampilan controller dipisahkeun
EVFB-III-B (2U) dipisahkeun controller
EVFB-VI (4U) dipisahkeun controller
pesenan Émbaran
| angka | produk modél | produk kodeu | Asesoris | pesenan angka | Jelaskeun |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Pompa molekular standar | A3139-F | Pompa baku（Cai cooling standar sacara standar） |
| Ngabersihan klep asesoris | A3139-FA | Pompa baku + asesoris klep Purge | |||
| Komponén kipas | A3139-FB | Pompa baku + komponén kipas | |||
| Ngabersihan klep asesoris, komponén kipas | A3139-FC | Pompa baku + asesoris klep Purge + Komponén kipas | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | pompa molekular baku | A3140-F | Pompa baku（Cai cooling standar sacara standar） |
| Ngabersihan klep asesoris | A3140-FA | Pompa baku + asesoris klep Purge | |||
| Komponén kipas | A3140-FB | Pompa baku + komponén kipas | |||
| Ngabersihan klep asesoris, komponén kipas | A3140-FC | Pompa baku + asesoris klep Purge + Komponén kipas | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | pompa molekular baku | A3135-F | Pompa baku（Water cooling nyaéta standar sacara standar) |
| Ngabersihan klep asesoris | A3135-FA | Pompa baku + asesoris klep Purge | |||
| Komponén kipas | A3135-FB | Pompa baku + komponén kipas | |||
| Ngabersihan klep asesoris, komponén kipas | A3135-FC | Pompa baku + asesoris klep Purge + Komponén kipas | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | pompa molekular baku | A3136-F | Pompa baku（Cai cooling standar sacara standar） |
| Ngabersihan klep asesoris | A3136-FA | Pompa baku + asesoris klep Purge | |||
| Komponén kipas | A3136-FB | Pompa baku + komponén kipas | |||
| Ngabersihan klep asesoris, komponén kipas | A3136-FC | Pompa baku + asesoris klep Purge + Komponén kipas | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | pompa molekular baku | A3141-F | Pompa baku（Cai cooling standar sacara standar） |
| Ngabersihan klep asesoris | A3141-FA | Pompa baku + asesoris klep Purge | |||
| Komponén kipas | A3141-FB | Pompa baku + komponén kipas | |||
| Ngabersihan klep asesoris, komponén kipas | A3141-FC | Pompa baku + asesoris klep Purge + Komponén kipas | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | pompa molekular baku | A3142-F | Pompa baku（Cai cooling standar sacara standar） |
| Ngabersihan klep asesoris | A3142-FA | Pompa baku + asesoris klep Purge | |||
| Komponén kipas | A3142-FB | Pompa baku + komponén kipas | |||
| Ngabersihan klep asesoris | A3142-FC | Pompa standar + klep Purge |
| Komponén kipas | asesoris + komponén kipas | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | pompa molekular baku | A3187 | Pompa baku（Water cooling standar sacara standar) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | pompa molekular baku | A3188 | Pompa baku（Water cooling standar sacara standar) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | pompa molekular baku | A3185 | Pompa baku（Cai cooling standar sacara standar） |
| Ngabersihan klep asesoris | A3185-A | Pompa baku + asesoris klep Purge | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | pompa molekular baku | A3186 | Pompa baku（Cai cooling standar sacara standar） |
| Ngabersihan klep asesoris | A3186-A | Pompa baku + asesoris klep Purge | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Panel dioperasikeun leungeun |
A3261-1 | Customer pilihan, Cocog jeung pompa molekular kayaning EVFB- 160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Controller dipisahkeun (4U) | A3270 | Cocog jeung Turbo numput molekul kayaning EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Controller dipisahkeun (2U) | A3264 | Cocog jeung pompa molekular kayaning EVFB-160/701, EVFB- 200/1401, EVFB-250/2201 (tipe dipisahkeun) |
