Massa Aliran Controller Massa Aliran Méter CS200
Fitur
1. Akurasi Tinggi sareng Respon Gancang
Katepatan tina CS200 MFC geus ningkat kana ± 1,0% tina SP, sarta model paling canggih boga ngurangan waktu respon kirang ti 0,8 detik.
2. Low Zero drift sarta Koefisién Suhu
Penemuan téknologi sénsor anyar ngamungkinkeun CS200 MFC pikeun ngajaga stabilitas sareng tahan fluctuations suhu.Tanpa panguat otomatis-enol, ekspektasi enol drift kirang ti 0.6% FS / taun, sareng koefisien hawa kirang ti 0.02% FS / ℃ (enol), 0.05% FS / ℃ (span).
3. Metal-disegel Modél jeung High Purity Feature
Jalur aliran wetted of-the-the-line CS200 MFC diwangun tina stainless steel permukaan-passivated.Sadaya MFC CS200 dirakit di kamar bersih kelas 100 kelas ultrabersih Sevenstar saluyu sareng standar SEMI sareng ISO 9001.
4. Interfaces cocog
CS200 MFC cocog sareng antarmuka di handap ieu, anu tiasa dipilih ku palanggan: ± 8V-± 16V catu daya tungtung ganda sareng + 14V-+28V catu daya tunggal-tungtung;input jeung output sinyal digital atawa analog;dimensi mékanis baku SEMI;jeung RS-485 atawa modul komunikasi DeviceNet.
5. Fungsi Rupa-rupa
Parangkat lunak palanggan anu kuat janten standar sareng unggal modél, sedengkeun fungsi tambahan sapertos multi-gas, multi-rentang, enol otomatis, alarm, mimiti lemes, sareng reureuh sayogi salaku pilihan palanggan.
Spésifikasi
| CS200 | |||||||
| Tipe | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Rentang skala pinuh (N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Akurasi | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Linearitas | ± 0,5% FS | ||||||
| Repeatability | ± 0,2% FS | ||||||
| Waktu Tanggapan | ≤1 detik | ≤0,8 detik (SEMI E17-0600) | |||||
| Posisi Rest klep | Biasana ditutup atanapi | Taya klep | Biasana ditutup atanapi | Taya klep | Biasana ditutup atanapi | Taya klep | |
| Biasana Buka（100 sccm≤FS≤5 slm） | Biasana Buka（100 sccm≤FS≤5 slm） | Biasana Buka（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Tekanan diferensial | 0.05～0.35MPa （Aliran ≤10slm） | <0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | <0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | <0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Aliran≤30slm） | (0.1～0.35) MPa（（10slm） | (0.1～0.35) MPa（（10slm） | |||||
| 0.2～0.45MPa（Aliran>30slm） | |||||||
| Tekanan Operasi Maksimum | 0,45 MPa | |||||
| Suhu | Nol: ≤ ± 0,05% FS / ℃; | Nol: ≤ ± 0,02% FS / ℃;Rentang: ≤ ± 0,05% FS / ℃ | ||||
| Koéfisién | Rentang: ≤±0.1% FS/℃（Aliran≤30slm） | |||||
| Rentang: ≤±0.2% FS/℃(Aliran>30slm) | ||||||
| Tekanan Buktina | 3MPa (435 pig) | |||||
| Nol Drift | <0,6% FS per taun tanpa autozero | |||||
| Integritas bocor | 1 × 10-9 atm·cc / detik Anjeunna | 1× 10-10atm·cc / detik Anjeunna | ||||
| Bahan Dibasahan | Viton; | Logam? (Stainless Steel V/V, 5Ra) | logam | |||
| Kimia Permukaan | —— | Babandingan Cr/Fe >2.0;Ketebalan CrO > 20 Angstrom | ||||
| Surface Finish | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
| Suhu Operasi | (5～45） ℃ | (0～50） ℃ | ||||
| Sinyal Input | Digital: RS485 atanapi ProfiBus | N/A | Digital: RS485 atanapi ProfiBus atanapi DeviceNetTM | N/A | Digital: RS485 atanapi ProfiBus atanapi DeviceNetTM | N/A |
| atawa DeviceNetTM | Analog: (0～5)VDC atanapi (4～20)mA atanapi (0～20)mA | Analog: (0～5)VDC atanapi (4～20)mA?atanapi (0～20)mA | |||||
| Analog: (0～5)VDC atanapi (4～20)mA atanapi (0～20)mA | |||||||
| Sinyal Kaluaran | Digital: RS485 atanapi DeviceNetTM atanapi ProfiBus Analog: (0～5)VDC atanapi (4～20)mA atanapi (0～20)mA | ||||||
| Sasayogian tanaga | ± 8 ~ ± 16 VDC atawa +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| Panyambung éléktronik | 9 pin jalu sub-D ，15 pin jalu sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, Analog | ||||||
| Kelengkapan | VCR1/4" M; VCO1/4" M; | VCR1/4” M; | |||||
| Pamasangan KomprésiΦ10;Pasang KomprésiΦ6； | Komprési pasΦ6, | ||||||
| Komprési Pas 3/8";Komprési pas 1/4"; | Pamasangan KomprésiΦ3, | ||||||
| Komprési Pas 1/8";Pamasangan KomprésiΦ3； | Komprési Pas 1/4 "， | ||||||
| Ф6(batin)×1selang;ф5(batin)×1.5selang;ф4(batin)×1selang; | W-segel, | ||||||
| A-saél ; | C-segel | ||||||
| Beurat | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
