Mass Flow Controllers (MFC) nyayogikeun pangukuran anu tepat sareng kontrol aliran massa gas.
I. Naon nya éta selisih MFC jeung MFM?
Méter aliran massa (MFM) nyaéta jenis instrumen anu akurat ngukur aliran gas, sarta nilai pangukuran na teu akurat alatan fluctuations dina suhu atawa tekanan, sarta teu merlukeun santunan suhu sarta tekanan. The aliran massa controller (MFC) teu ukur boga fungsi méteran aliran massa, tapi leuwih importantly, éta otomatis bisa ngadalikeun aliran gas, nyaeta, pamaké bisa nyetél aliran nurutkeun kaperluan maranéhanana, sarta MFC otomatis ngajaga aliran konstan dina nilai set, sanajan tekanan sistem Fluktuasi atawa parobahan suhu ambient moal ngakibatkeun eta nyimpang tina nilai set.Controller aliran massa nyaéta alat aliran ajeg, nu mangrupakeun alat aliran ajeg gas nu bisa diatur sacara manual atawa otomatis dikawasa ku sambungan sareng komputer.Méter aliran massa ukur ukur tapi henteu dikontrol.Kontrol aliran massa gaduh klep kontrol, anu tiasa ngukur sareng ngontrol aliran gas.
II.Naon struktur jeungprinsip operasi?
1. Struktur
2. Prinsip Operasi
Nalika aliran asup kana pipa asupan, lolobana aliran ngaliwatan saluran diverter, sabagian leutik nu asup kana tube kapilér jero sensor.Alatan struktur husus tina
saluran diverter, dua bagian tina aliran gas tiasa langsung sabanding.Sensor dipanaskeun sareng dipanaskeun, sareng suhu di jero langkung luhur tibatan suhu hawa inlet.Dina waktu ieu, aliran massa bagian leutik gas diukur ku prinsip mindahkeun panas ku tube kapilér jeung prinsip calorimetry bédana suhu.Aliran gas anu diukur ku cara ieu tiasa malire pangaruh suhu sareng tekanan.Sinyal pangukuran aliran anu dideteksi ku sénsor mangrupikeun input kana papan sirkuit sareng digedékeun sareng kaluaran, sareng fungsi MFM parantos réngsé.Nambahkeun PID loop katutup fungsi kontrol otomatis kana circuit board, Bandingkeun sinyal pangukuran aliran diukur ku sensor jeung sinyal set dibikeun ku pamaké.Dumasar ieu, klep kontrol dikontrol supados sinyal deteksi aliran sami sareng sinyal set, sahingga ngawujudkeun fungsi MFC.
III.Aplikasi sareng fitur.
MFC, anu loba diterapkeun dina widang saperti: semikonduktor jeung fabrikasi IC, bahan husus elmu, industri kimia, industri minyak bumi, industri farmasi, ngajaga lingkungan jeung sistem vakum nalungtik, jsb. Aplikasi has ngawengku: alat-alat prosés microelectronic kayaning difusi. , oksidasi, epitaxy, CVD, etching plasma, sputtering, implantation ion;alat déposisi vakum, lebur serat optik, alat mikro-réaksi, Pergaulan & cocog sistem gas, sistem kontrol aliran kapilér, kromatografi gas sarta instrumen analitik lianna.
MFC mawa akurasi tinggi, kabisaulangan alus teuing, respon gancang, lemes-mimiti, reliabiliti leuwih alus, rupa-rupa rentang tekanan operasi (operasi alus dina tekanan tinggi jeung situasi vakum), operasi merenah basajan, instalasi fléksibel, mungkin nyambungkeun jeung PC pikeun ngalakonan otomatis. kontrol kana sistem pamaké.
IV.Kumaha nangtukeun jeung nungkulan failures?
Perusahaan kami gaduh insinyur saatos-jualan profésional, tiasa ngabantosan anjeun ngabéréskeun masalah dina pamasangan sareng panggunaan.
waktos pos: Jul-29-2022