Pompa anu biasa dianggo dina sistem vakum ultra luhur

I. pompa mékanis
Fungsi utama pompa mékanis nyaéta nyayogikeun vakum pra-tahap anu dipikabutuh pikeun ngamimitian pompa turbomolekul.Pompa mékanis anu biasa dianggo kalebet pompa garing vortex, pompa diafragma sareng pompa mékanis anu disegel minyak.
Pompa diafragma gaduh laju ngompa anu rendah sareng umumna dianggo pikeun set pompa molekular leutik kusabab ukuranana leutik.
Pompa mékanis anu disegel minyak nyaéta pompa mékanis anu paling sering dianggo dina jaman baheula, dicirikeun ku laju ngompa ageung sareng vakum pamungkas anu saé, kalemahanna nyaéta ayana umum minyak balik, dina sistem vakum ultra-luhur umumna kedah dilengkepan klep solenoid. (pikeun nyegah gagalna kakuatan teu kahaja disababkeun ku balik minyak) jeung tabung molekular (efek adsorpsi).
Dina taun-taun ayeuna, anu langkung seueur dianggo nyaéta ngagulung pompa garing. Kauntungannana gampang dianggo sareng henteu uih deui kana minyak, ngan ukur laju ngompa sareng vakum pamungkas rada parah tibatan pompa mékanis anu disegel minyak.
Pompa mékanis mangrupikeun sumber utama bising sareng geter di laboratorium sareng langkung saé milih pompa bising anu lemah sareng nempatkeunna di antara alat-alat upami mungkin, tapi anu terakhir sering henteu gampang dihontal kusabab larangan jarak kerja.
II.Pompa turbomolekul
Pompa molekuler turbo ngandelkeun baling-baling puteran laju (biasana sakitar 1000 révolusi per menit) pikeun ngahontal aliran gas anu arah.Babandingan tekanan knalpot pompa jeung tekanan inlet disebut rasio komprési.Babandingan komprési aya hubunganana sareng jumlah tahapan pompa, laju sareng jinis gas, beurat molekular umum komprési gas rélatif luhur.The vakum pamungkas tina pompa turbomolecular umumna dianggap 10-9-10-10 mbar, sarta dina taun panganyarna, jeung kamajuan kontinyu tina téhnologi pompa molekular, vakum pamungkas geus salajengna ningkat.
Kusabab kaunggulan tina pompa turbomolecular ngan direalisasikeun dina kaayaan aliran molekular (kaayaan aliran nu rentang bébas rata-rata molekul gas jauh leuwih gede ti ukuran maksimum saluran cross-bagian), pompa vakum pra-tahap. kalawan tekanan operasi 1 ka 10-2 Pa diperlukeun.Alatan speed rotational tinggi tina vanes, pompa molekular bisa ruksak atawa ancur ku objék asing, jitter, dampak, résonansi atawa shock gas.Pikeun pamula, anu paling sering nyababkeun karusakan nyaéta shock gas disababkeun ku kasalahan operasi.Karusakan pompa molekular ogé tiasa disababkeun ku résonansi anu dipicu ku pompa mékanis.Kaayaan ieu kawilang jarang tapi merlukeun perhatian husus sabab leuwih insidious jeung teu gampang dideteksi.

III.Pompa ion sputtering
Prinsip kerja pompa ion sputtering nyaéta ngagunakeun ion anu dihasilkeun tina pelepasan Penning pikeun ngabom plat titanium katoda pikeun ngabentuk pilem titanium anu seger, sahingga nyerep gas aktip sareng gaduh pangaruh kuburan anu tangtu dina gas inert ogé. .Kaunggulan tina sputtering pompa ion anu alus vakum pamungkas, euweuh Geter, euweuh noise, euweuh polusi, a prosés dewasa sarta stabil, euweuh pangropéa sarta dina speed ngompa sarua (iwal gas inert), ongkos maranéhanana leuwih handap pompa molekular, nu ngajadikeun eta pisan loba dipaké dina sistem vakum ultra-luhur.Biasana siklus operasi normal pompa ion sputtering langkung ti 10 taun.
Pompa ion umumna kedah di luhur 10-7 mbar supados tiasa dianggo leres (pagawean di vakum parah nyata ngirangan umurna) sareng ku kituna peryogi pompa molekular set pikeun nyayogikeun vakum pra-tahap anu saé.Éta prakték umum ngagunakeun pompa ion + TSP dina chamber utama sarta pompa molekul leutik diatur dina chamber inlet.Nalika baking, buka klep sisipan disambungkeun tur hayu set pompa molekular leutik nyadiakeun vakum hareup.
Perlu dicatet yén pompa ion kirang mampuh nyerep gas inert sareng kagancangan ngompa maksimalna rada béda ti pompa molekular, ku kituna pikeun volume outgassing ageung atanapi sajumlah ageung gas inert, set pompa molekular diperyogikeun.Salaku tambahan, pompa ion ngahasilkeun médan éléktromagnétik nalika operasi, anu tiasa ngaganggu sistem anu sénsitip.
IV.Pompa sublimation titanium
Pompa sublimation titanium dianggo ku ngandelkeun évaporasi titanium logam pikeun ngabentuk pilem titanium dina témbok chamber pikeun chemisorption.Kaunggulan tina pompa sublimation titanium nyaéta konstruksi basajan, béaya rendah, pangropéa gampang, euweuh radiasi jeung euweuh Geter noise.
Pompa sublimasi titanium biasana diwangun ku 3 filamén titanium (pikeun nyegah kaduruk) sareng dianggo dina kombinasi sareng pompa molekular atanapi ion pikeun nyayogikeun panyabutan hidrogén anu saé.Éta mangrupikeun pompa vakum anu paling penting dina kisaran 10-9-10-11 mbar sareng dipasang dina kalolobaan kamar vakum ultra luhur dimana tingkat vakum anu luhur diperyogikeun.
Karugian tina pompa sublimation titanium nyaéta kabutuhan sputtering biasa titanium, vakum deteriorates ku ngeunaan 1-2 ordo gedena salila sputtering (dina sababaraha menit), ku kituna kamar tangtu kalawan kaperluan husus merlukeun pamakéan NEG.oge, pikeun sampel sénsitip titanium / alat, care kudu dilaksanakeun pikeun nyingkahan lokasi tina pompa sublimation titanium.
V. pompa cryogenic
Pompa cryogenic utamana ngandelkeun adsorption fisik suhu low pikeun ménta vakum, kalawan kaunggulan speed ngompa tinggi, euweuh polusi jeung vakum pamungkas tinggi.Faktor utama anu mangaruhan laju ngompa pompa cryogenic nyaéta suhu sareng aréa permukaan pompa.Dina sistem epitaxy beam molekular badag, pompa cryogenic loba dipaké alatan syarat vakum pamungkas tinggi.
Karugian tina pompa cryogenic nyaéta konsumsi tinggi nitrogén cair sareng biaya operasi anu luhur.Sistem sareng chillers recirculating tiasa dianggo tanpa ngonsumsi nitrogén cair, tapi ieu nyababkeun masalah konsumsi énergi, geter sareng bising.Ku sabab kitu, pompa cryogenic kirang sering dianggo dina alat laboratorium konvensional.
VI.Pompa Aspirator (NEG)
Pompa agén nyeuseup mangrupikeun salah sahiji pompa vakum anu langkung seueur dianggo dina taun-taun ayeuna, kauntunganna nyaéta ngagunakeun lengkep adsorpsi kimiawi, henteu aya plating uap sareng polusi éléktromagnétik, sering dianggo ditéang sareng pompa molekular pikeun ngagentos pompa sublimation titanium sareng ion sputtering. Pompa, karugian nyaéta biaya tinggi sareng jumlah regenerasi kawates, biasana dianggo dina sistem anu ngagaduhan syarat anu luhur pikeun stabilitas vakum atanapi sénsitip pisan kana médan éléktromagnétik.
Salaku tambahan, salaku pompa aspirator henteu peryogi sambungan catu daya tambahan saluareun aktivasina awal, éta ogé sering dianggo dina sistem ageung salaku pompa bantu pikeun ningkatkeun laju ngompa sareng ningkatkeun tingkat vakum, anu sacara efektif tiasa nyederhanakeun sistem.

Angka: Tekanan kerja pikeun sababaraha jinis pompa.Panah coklat nunjukkeun rentang tekanan operasi maksimum anu diidinan sareng bagian héjo anu kandel nunjukkeun kisaran tekanan kerja anu umum.