Anpassad turbopumpenhet

Kort beskrivning:

EVT-seriens högvakuumavgasenhet är en ultrahögvakuuminsamlingsutrustning som består av EV-seriens kompositturbopump, främre mekanisk pump, enhetskontrollströmförsörjning, högvakuumkompositvakuummätare, ultrahögvakuumplattventil, förpumpningsvinkelventil och så vidare.Lätt att installera, enkel att använda, pålitlig prestanda.Det kan användas i stor utsträckning i halvledarutrustning, elektriska vakuumanordningar, acceleratorer, ytanalys, plasma och annan vakuumteknik.

Skicka e-post till oss

Produktdetalj

Produkttaggar

Arbetsprincip

Molekylpumpens gaskretsschema, som visas i figuren ovan, används vanligtvis i testet av molekylpumpsprestanda eller olika vetenskapliga detektionsutrustningar, och kännetecknas av att vakuumkammarens anläggningar och materialen är relativt fixerade, och Vakuumkammaren behöver inte öppnas ofta för inomhusdrift.Om den främre scenen använder den mekaniska pumpen med roterande blad för oljemediet, ska luftutsläppsventilen installeras.Avluftningsventilen för skiljeväggar måste vara sammankopplad med förpumpen för att säkerställa att oljeångan och till och med oljan inte kommer att dras in i molekylpumpen efter att den mekaniska pumpen stängts av.Vissa mekaniska pumpar med roterande blad har fristående luftutsläppsventiler för att undvika långvarig användning, och foreline-rören är över hela oljan och föroreningarna är allvarliga.

Tekniska indikatorer

1. Enheten är en rörlig vagnstruktur som kan möta behoven hos avgaserna i olika positioner

2.Utrustningens vakuumgrad är bättre än 8×10-4pa efter att molekylpumpen har startat upp till 400HZ, bättre än 5×10-5pa inom 30 minuter, och det ultimata vakuumet är 8×10-7pa.

3.Enheten är utrustad med ett föravgassystem, som kan realisera utbyte, förvakuum och högvakuumavgasflöde utan att stoppa molekylpumpen, vilket förkortar avgastiden och effektivt förbättrar arbetseffektiviteten.