Hög pumphastighet, hållbar Lågljud DRV-luftpump med roterande skovlar vakuumpump
Vakuumpumpen i DRV-serien är en oljetät vakuumpump med två steg med roterande skovlar, lämplig för låg- och medelvakuumapplikationer, främst för att avlägsna luft och andra torra gaser.Det är en av de viktigaste utrustningarna för låg- och medelvakuum, den kan användas ensam eller som förgrund
pump av andra vakuumpumpar.
Vakuumpumpen har egenskaperna pålitlig körprestanda, färre slitdelar, låga vibrationer, lågt ljud och hög effektivitet.
SV-seriens vakuumpump är importerad från utländsk avancerad teknologi, och nyckelkomponenterna är importerade komponenter eller importerade
material.DRV-seriens vakuumpump kan helt ersätta liknande utländska produkter.
Broschyr för EVFB Series Molecular Pump Product
Modell:
EVFB-100/301 Sammansatt integrerad molekylär pump
EVFB-160/401 Sammansatt integrerad molekylär pump
EVFB-160/450D Anti-vibrations molekylär pump
EVFB-160/701Compound integrerad molekylär pump
EVFB-200/1401 Sammansatt integrerad molekylär pump
EVFB-250/2201 Sammansatt integrerad molekylpump
EVFB-160/701 Sammansatt molekylpump
EVFB-200/1401 Sammansatt molekylpump
EVFB-250/2201 Sammansatt molekylpump
EVFB-400/3600 Turbo molekylär pump
EVFB-400/4500 Turbo molekylär pump
Produktöversikt
Molekylär pump är en slags höghastighets roterande momentumöverföringsvakuumpump, dess arbetstrycksområde är vanligtvis 10-1Pa ~ 10-7Pa, är en av de viktiga vakuuminsamlingsutrustningarna för att uppnå högt vakuum och ultrahögt vakuum.Molekylpump har fördelarna med snabb starthastighet, brett arbetsområde, låg strömförbrukning, hög renhet och enkelt underhåll.
Molekylära pumpprodukter som beskrivs i denna provbok är den andra generationens produkter
Nylanserades av företaget, som huvudsakligen är designade och optimerade för industriella vakuum och vetenskapliga forskningsområden, inklusive den första serien av industriella vakuummolekylära pumpprodukter med integrerade styrenheter och flexibla tillämpningsscenarier.Enligt kalibern finns det främst DN100, DN160, DN200, DN250 och DN400 och andra produkter.
Fettsmord inbyggd molekylpump
Huvuddragen i denna produktserie:
（1） Integrerad styrenhet: Integrerad styrenhetsdesign，Förenkla systemintegration，En viktig start-stopp；
（2） Precisionslager: Fettsmörjning precision keramiska kullager， Installerad i alla vinklar；
（3） Hög tillförlitlighet: Totala rotorer, BLDC-drivteknik；
（4） Funktionell mångfald：Fullständigt utbud av tillbehör，Anpassade lösningar finns tillgängliga；
（5） Tillhandahålla justerbar hastighetsfunktion，För att uppfylla kraven för en mängd olika pumphastigheter；
Denna serie av produkter är främst lämpliga för PVD, CVD, flytande kristallplattor och annan industriell beläggning;Masspektrometri, högenergifysik, vakuumläckagedetektion, medicin och biologisk ingenjörskonst och andra vetenskapliga forskningsområden.
Tekniska specifikationer för molekylär pump
| Modell | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D(skräddarsydda） | ||||
| ☑De Vakuum parametrar | |||||||
| Pumpning fart (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Slutlig tryck | < 5×10-6 Pa (LF);< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| Kompression förhållande | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Maximalkontinuerliginletpress ure | 10 Pa | 2 Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| Maximalt kontinuerligt framlinjetryck | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maxforeline trycktolerans | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Fysisk parameter | |||||||
| Inlopp fläns | DN100 ISO-K (LF) eller CF | DN160 ISO-K (LF) eller CF | |||||
| Framlinjen fläns | DN25 ISO-KF eller DN40KF (valfritt) | ||||||
| Rena fläns | DN16 ISO-KF | ||||||
| Vikt | 9,6 kg (ISO-K | 10 kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Vibration | ≤0,05 μm | ||||||
| Ljud | ≤55 dB (standard luftkylning) | ||||||
| Lager | Fettsmorda keramiska kullager | ||||||
| Drift placera | Några | ||||||
| Operativ.omgivning Magnetisk fält | ≤3 mT（De största 10mT，Måste anpassa） | ||||||
| Opera.ambie nt | Luftkylning | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Vattenkylning | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Kylvattenkrav | Vattentemperatur: 15-30 ℃, tryck: 0,15 Mpa, PH6 ~ 8, klart, oljefritt, flöde: ≥ 1 L/min | ||||||
| Rekommenderad förpump | 2~6 L/s | 3~8L/s | |||||
| ☑Kontroller parametrar | |||||||
| Kontroller | EVFB-II | ||||||
| Roterande fart | 48 000 rp | 36 000 rpm | |||||
| Låg fart | 33600 rp | 25200rpm | |||||
| Börja tid | ≤5 min | ||||||
| Spänning | 48VAC±2% | ||||||
| Kommunikation läge | RS-485 | ||||||
| Modell | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑De Vakuum parametrar | |||||||
| Slutlig tryck (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Pumpning fart (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Kompression förhållande | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Maximalkontinuerliginletpress ure(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Maximalt kontinuerligt framlinjetryck (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress uretolerans (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Fysisk parameter | |||||||
| Inlopp fläns | DN160 ISO-K（LF）eller CF | DN200 ISO-K (LF) eller CF | DN250 ISO-K (LF) eller | ||||
| Framlinjen fläns | DN25 ISO-KF eller KF40 (tillval) | DN40 ISO-KF eller KF50 (tillval) | |||||
| Rena fläns | DN16 ISO-KF | ||||||
| Rekommenderad förpump (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Vikt(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Vibration | ≤ | ||||||
| Brus (dB) | ≤ | ||||||
| Lager | Fettsmorda keramiska kullager | ||||||
| Drift placera | Några | ||||||
| Magnetisk fält intensitet (mT) | ≤3 (Den största 10mT, Behöver anpassas) | ||||||
| Operativ.omgivning temperatur | Luft kyl- | 5~35℃ | |||||
| Vatten kyl- | 5~40℃ | ||||||
| Kyl vatten krav | Vattentemperatur: 15-25 ℃; tryck: 0,15Mpa, PH6~8, klart, oljefri ；flöde：≥1,5L/min | ||||||
| ☑Kontroller parametrar | |||||||
| Kontroller | EVFB-III-A | ||||||
| Kommunikation läge | RS-485 | ||||||
| Spänning(V） | 220V AC±10% | ||||||
| Frekvens(Hz） | 50/60±5 % | ||||||
| Maximal inmatning Kraft(W） | 100 | ||||||
| Starta/stoppa kontrollera läge | Kontrollknappar styr start och stopp /RS485-kontroller start och stopp /DB15 Styr start och stopp | ||||||
| Skydd | Styrenhetens överström, överspänning, underspänning, överhettningsskydd, molekylär pumpöverström, överbelastning, överhettningsskydd, etc. | ||||||
| Roterande fart (r/min) | 36000±0,1 % | 30 000±0,1 % | 24 000±0,1 % | ||||
| Låg fart (r/min) | 25200±0,1 % | 21 000±0,1 % | 16800±0,1 % | ||||
| Nuvarande(A） | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Skydd säkring(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Uppstartstid(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Driftstopp(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Övergripande dimension
| Modell | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253,5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130,3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
| Modell | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201,8 | 124,8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Beställning Information
| siffra | Produkt modell | Produkt koda | Tillbehör | Beställasiffra | Förklara |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | standard molekylär pump | A3123 | Standardpumpen (luftkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör(litet flöde) | A3123-A | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör（litet flöde） | |||
| Vattenkylande komponenter | A3123-B | Standardpumpen + vattenkylningskomponenter（Byt ut luftkylda komponenter） | |||
| Avluftningsventiltillbehör （litet flöde）、 Vattenkylningskomponenter | A3123-C | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör（litet flöde）+ Vattenkylningskomponenter（Byt ut luftkylda komponenter） | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | standard molekylär pump | A3124 | Standardpumpen (luftkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör(litet flöde) | A3124-A | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör（litet flöde） | |||
| Vattenkylande komponenter | A3124-B | Standardpumpen + vattenkylningskomponenter（Byt ut luftkylda komponenter） | |||
| Avluftningsventiltillbehör （litet flöde）、 Vattenkylningskomponenter | A3124-C | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör（litet flöde）+ Vattenkylningskomponenter（Byt ut luftkylda komponenter） | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | standard molekylär pump | A3127 | Standardpumpen (luftkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör(litet flöde) | A3127-A | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör（litet flöde） | |||
| Vattenkylande komponenter | A3127-B | Standardpumpen + vattenkylningskomponenter（Byt ut luftkylda komponenter） | |||
| Avluftningsventiltillbehör （litet flöde）、 Vattenkylningskomponenter | A3127-C | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör（litet flöde）+ Vattenkylningskomponenter（Byt ut luftkylda komponenter） | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | standard molekylär pump | A3128 | Standardpumpen (luftkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör(litet flöde) | A3128-A | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör（litet flöde） | |||
| Vattenkylande komponenter | A3128-B | Standardpumpen + vattenkylningskomponenter（Byt ut luftkylda komponenter） | |||
| Avluftningsventiltillbehör | A3128-C | Standardpumpen + avluftningsventil |
| （litet flöde）、 Vattenkylningskomponenter | tillbehör（litet flöde）+ Vattenkylningskomponenter(Bytluftkylda komponenter) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | standard molekylär pump | A3129 | Standardpumpen (luftkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör(litet flöde) | A3129-A | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör（litet flöde） | |||
| Vattenkylande komponenter | A3129-B | Standardpumpen + vattenkylningskomponenter（Byt ut luftkylda komponenter） | |||
| Avluftningsventiltillbehör （litet flöde）、 Vattenkylningskomponenter | A3129-C | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör（litet flöde）+ Vattenkylningskomponenter（Byt ut luftkylda komponenter） | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | standard molekylär pump | A3130 | Standardpumpen (luftkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör(litet flöde) | A3130-A | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör（litet flöde） | |||
| Vattenkylande komponenter | A3130-B | Standardpumpen + vattenkylningskomponenter（Byt ut luftkylda komponenter） | |||
| Avluftningsventiltillbehör （litet flöde）、 Vattenkylningskomponenter | A3130-C | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör（litet flöde）+ Vattenkylningskomponenter（Byt ut luftkylda komponenter） | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | standard molekylär pump | A3139 | Standardpumpen (vattenkylningär standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3139-A | Standardpumpen + avluftningsventilTillbehör | |||
| Fläktkomponenter | A3139-B | Standard pump + fläkt | |||
| Rengöringsventiltillbehör,Fläktkomponenter | A3139-C | Standardpumpen + avluftningsventiltillbehör + Fläktkomponenter | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | standard molekylär pump | A3140 | Standardpumpen (vattenkylningär standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3140-A | Standardpumpen + avluftningsventilTillbehör | |||
| Fläktkomponenter | A3140-B | Standard pump + fläkt komponenter | |||
| Rengöringsventiltillbehör,Fläktkomponenter | A3140-C | Standardpumpen + avluftningsventiltillbehör + Fläktkomponenter | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | standard molekylär pump | A3135 | Standardpumpen (Vattenkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3135-A | Standardpumpen + avluftningsventilTillbehör | |||
| Fläktkomponenter | A3135-B | Standard pump + fläkt komponenter | |||
| Rengöringsventiltillbehör, | A3135-C | Standardpumpen + avluftningsventil |
| Fläktkomponenter | tillbehör + Fläktkomponenter | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | standard molekylär pump | A3136 | Standardpumpen (Vattenkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3136-A | Standardpumpen + avluftningsventilTillbehör | |||
| Fläktkomponenter | A3136-B | Standard pump + fläkt komponenter | |||
| Avluftningsventiltillbehör、 | A3136-C | Standardpumpen + avluftningsventiltillbehör + Fläktkomponenter | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | standard molekylär pump | A3141 | Standardpumpen (Vattenkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3141-A | Standardpumpen + avluftningsventilTillbehör | |||
| Fläktkomponenter | A3141-B | Standard pump + fläkt | |||
| Avluftningsventiltillbehör、Fläktkomponenter | A3141-C | Standardpumpen + avluftningsventiltillbehör + Fläktkomponenter | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | standard molekylär pump | A3142 | Standardpumpen (Vattenkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3142-A | Standardpumpen + avluftningsventilTillbehör | |||
| Fläktkomponenter | A3142-B | Standard pump + fläkt | |||
| Avluftningsventiltillbehör、 | A3142-C | Standardpumpen + avluftningsventiltillbehör + Fläktkomponenter | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Molekylär pumpstyrning (Lämplig för molekylära pumpar som EVFB-100/301、EVFB-160/401、EVFB-100/450D) |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Molecular pump controller（ Lämplig för molekylära pumpar som EVFB-160/701、EVFB-200/1401、EVFB-250/2201） |
Separerade Compound molekylära pumpar
Huvuddragen hos denna produktserie:
（1） Separerad styrenhet：AC220V strömförsörjning，En nyckel start-stopp；
（2） Hög tillförlitlighet: Totala rotorer, BLDC-drivteknik；
（3） Precisionslager：Precisions keramiska kullager，Installerade i alla vinklar（Endast fettsmorda modeller）；
（4） Funktionell mångfald：Fullständigt utbud av tillbehör，Anpassade lösningar finns tillgängliga；
（5） Tillhandahålla justerbar hastighetsfunktion，För att möta kraven på en mängd olika pumphastigheter； Denna serie produkter är huvudsakligen tillämpliga på PVD, CVD, flytande kristallplattor och andra
industriell beläggning, vetenskaplig forskning och andra områden.
Molekylär pump tekniska parametrar
| Modell | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑De Vakuum parametrar | ||||||||||
| Sluttryck (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Pumpning fart (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Kompressionsförhållande | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Maximal kontinuerlig inlopptryck (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
| Maximalkontinuerlig Framlinjen | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Maxforeline trycktolerans (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Fysisk parameter | ||||||||||
| Inlopp fläns | DN160 ISO-K（LF）ellerCF | DN200 ISO-K（LF）ellerCF | DN250 ISO-K（LF）ellerCF | DN400 ISO-K（LF）ellerCF | DN400 ISO-K（LF）ellerCF | |||||
| Framlinjen fläns | DN25 ISO-KF,KF40 (Valfritt) | DN40 ISO-KF，KF50（Valfritt） | DN100 ISO-K（LF） | DN100 ISO-K（LF）ellerKF50（Valfritt） | ||||||
| Rena fläns | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Rekommenderad | 4~10 L/s | 8~16 L/s | 16~24 L/s | 30~70 L/s | ||||||
| Vikt(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Vibration | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Ljud (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Lager | Fettsmorda keramiska kullager | Keramiskt kullager | ||||
| Drift placera | Några | Vertikal±5° | ||||
| Oper.Ambient Magnetiskt fält | ≤ 3mT (den största 10mT), måste anpassas) | ≤ 3mT | ||||
| Oper.omgivande temperatur | Luft kyl- | 5~35oC | / | / | ||
| Vattenkylning | 5~40oC | |||||
| Kyl vatten krav | Vattentemperatur: 15-25 ℃; säker: 0,15 Mpa; flöde: ≥1,5 L/min | flöde：≥ 3L/min | ||||
| ☑Kontroller parametrar | ||||||
| Separerat kontroller | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI（4U） | ||||
| Avlägsen kontrollera | Ultra-distanskontroll (vänligen rådfråga våra ingenjörer) | |||||
| Kommunikation läge | RS-485 | |||||
| Spänning(V） | Från 100 till 240VAC（± | 220VAC（±10%） | ||||
| Frekvens(Hz） | 50/60Hz±5 % | |||||
| Maximal ineffekt(W） | 1000 | 1500 | ||||
| Starta/stoppa kontrollera läge | Kontrollknappar styr start och stopp /RS485-kontroller start och stopp /DB15 Styr start och stopp | |||||
| Skydd | Styrenhetens överström, överspänning, underspänning, överhettningsskydd, molekylär pumpöverström,överbelastning, överhettningsskydd etc | |||||
| Roterande fart (r/min) | 36000±0,1 % | 30 000±0,1 % | 24 000±0,1 % | 13500±0,1 % | 16200±0,1 % | |
| Låg fart (r/min) | 25200±0,1 % | 21 000±0,1 % | 16800±0,1 % | / | ||
| Nuvarande(A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Skydd säkring(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Börja tid(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Driftstopp(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Oper. omgivande skick | Inga frätande gaser och uppenbara dammpartiklar; miljötemperatur: -10 ℃ ~ 50 ℃ ； miljöluftfuktighet: ≤ 90 %, vibrationsintensitet: ≤ 0,5 g | |||||
0allmän dimension
| Modell | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201,8 | 124,8 |
| 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
EVFB-400/3600 Turbomolekylära pumpdimensioner
EVFB-400/4500 Turbomolekylära pumpdimensioner
Utseende av separerad styrenhet
EVFB-III-B（2U）separerad styrenhet
EVFB-VI（4U）separerad styrenhet
Beställa Information
| siffra | Produkt modell | produkt koda | Tillbehör | Beställa siffra | Förklara |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Standard molekylär pump | A3139-F | Standardpumpen (Vattenkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3139-FA | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör | |||
| Fläktkomponenter | A3139-FB | Standard pump + fläkt komponenter | |||
| Rengöringsventiltillbehör、Fläktkomponenter | A3139-FC | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör + Fläktkomponenter | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | standard molekylär pump | A3140-F | Standardpumpen (Vattenkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3140-FA | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör | |||
| Fläktkomponenter | A3140-FB | Standard pump + fläkt komponenter | |||
| Rengöringsventiltillbehör、Fläktkomponenter | A3140-FC | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör + Fläktkomponenter | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | standard molekylär pump | A3135-F | Standardpumpen (vattenkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3135-FA | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör | |||
| Fläktkomponenter | A3135-FB | Standard pump + fläkt komponenter | |||
| Rengöringsventiltillbehör、Fläktkomponenter | A3135-FC | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör + Fläktkomponenter | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | standard molekylär pump | A3136-F | Standardpumpen (Vattenkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3136-FA | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör | |||
| Fläktkomponenter | A3136-FB | Standard pump + fläkt komponenter | |||
| Rengöringsventiltillbehör、Fläktkomponenter | A3136-FC | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör + Fläktkomponenter | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | standard molekylär pump | A3141-F | Standardpumpen (Vattenkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3141-FA | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör | |||
| Fläktkomponenter | A3141-FB | Standard pump + fläkt komponenter | |||
| Rengöringsventiltillbehör、Fläktkomponenter | A3141-FC | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör + Fläktkomponenter | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | standard molekylär pump | A3142-F | Standardpumpen (Vattenkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3142-FA | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör | |||
| Fläktkomponenter | A3142-FB | Standard pump + fläkt komponenter | |||
| Avluftningsventiltillbehör | A3142-FC | Standardpumpen + avluftningsventil |
| Fläktkomponenter | tillbehör + Fläktkomponenter | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | standard molekylär pump | A3187 | Standardpumpen (vattenkylning är standard som standard) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | standard molekylär pump | A3188 | Standardpumpen (vattenkylning är standard som standard) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | standard molekylär pump | A3185 | Standardpumpen (Vattenkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3185-A | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | standard molekylär pump | A3186 | Standardpumpen (Vattenkylning är standard som standard) |
| Avluftningsventiltillbehör | A3186-A | Standardpumpen + tömningsventiltillbehör | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Handmanövrerad panel |
A3261-1 | Kundtillval ，Lämplig för molekylära pumpar som EVFB-160/701 、 EVFB-200/1401 、EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Separerad styrenhet （4U） | A3270 | Lämplig för molekylära turbopumpar som EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Separerad styrenhet （2U） | A3264 | Lämplig för molekylära pumpar som EVFB-160/701 、 EVFB- 200/1401 、 EVFB-250/2201 (separerad typ) |
