Mass Flow Controllers (MFC) ger exakt mätning och kontroll av massflödet av gaser.
I. Vad är skillnaden mellan en MFC och en MFM?
Massflödesmätare (MFM) är ett slags instrument som noggrant mäter gasflödet, och dess mätvärde är inte felaktigt på grund av fluktuationer i temperatur eller tryck, och kräver inte temperatur- och tryckkompensation. Massflödesregulatorn (MFC) inte bara har funktionen som en massflödesmätare, men ännu viktigare, den kan automatiskt styra gasflödet, det vill säga att användaren kan ställa in flödet efter sina behov, och MFC:n håller automatiskt flödet konstant på det inställda värdet, även om systemtrycket Fluktuationer eller förändringar i omgivningstemperaturen kommer inte att göra att det avviker från det inställda värdet.Massflödesregulatorn är en enhet för konstant flöde, som är en enhet för konstant flöde av gas som kan ställas in manuellt eller automatiskt styras genom anslutning till en dator.Massflödesmätare mäter bara men kontrollerar inte.Massflödesregulatorn har en reglerventil, som både kan mäta och styra gasflödet.
II.Vad är strukturen ochfunktionsprincip?
1、 Struktur
2, Driftprincip
När flödet kommer in i inloppsröret passerar det mesta av flödet genom avledningskanalen, varav en liten del kommer in i kapillärröret inuti sensorn.På grund av den speciella strukturen av
avledningskanalen kan de två delarna av gasflödet vara direkt proportionella.Givaren är förvärmd och uppvärmd, och temperaturen inuti är högre än temperaturen på inloppsluften.Vid denna tidpunkt mäts massflödet av den lilla delen av gasen med principen om värmeöverföring av kapillärröret och principen om temperaturskillnadskalorimetri.Gasflödet mätt på detta sätt kan ignorera effekterna av temperatur och tryck.Flödesmätsignalen som detekteras av sensorn matas in till kretskortet och förstärks och matas ut, och funktionen hos MFM är fullbordad.Lägga till PID-automatisk styrfunktion med sluten slinga till kretskortet, Jämför flödesmätsignalen som mäts av sensorn med den inställda signalen som ges av användaren.Baserat på detta styrs reglerventilen så att flödesdetekteringssignalen är lika med den inställda signalen, vilket förverkligar MFC:s funktion.
III.Applikationer och funktioner.
MFC, som används allmänt inom områdena: halvledar- och IC-tillverkning, specialmaterialvetenskap, kemisk industri, bensinindustri, läkemedelsindustri, miljöskydd och vakuumsystemforskning, etc.. De typiska applikationerna inkluderar: mikroelektronisk processutrustning såsom diffusion oxidation, epitaxi, CVD, plasmaetsning, sputtering, jonimplantation;vakuumavsättningsutrustning, optisk fibersmältning, mikroreaktionsutrustning, blandnings- och matchningsgassystem, kapillärflödeskontrollsystem, gaskromatograf och andra analytiska instrument.
MFC ger hög noggrannhet, utmärkt repeterbarhet, snabb respons, mjukstart, bättre tillförlitlighet, många olika driftstryck (bra drift i högtrycks- och vakuumsituationer), enkel och bekväm drift, flexibel installation, möjlig anslutning till PC för att utföra automatisk kontroll till användarnas system.
IV.Hur man avgör och hanterar fproblem?
Vårt företag har professionell ingenjör efter försäljning, kan hjälpa dig att lösa problem vid installation och användning.
Posttid: 2022-jul-29