I. Införande av ventil
Vakuumventil är en vakuumsystemkomponent som används för att ändra luftflödets riktning, justera storleken på gasflödet, stänga av eller ansluta rörledningen i vakuumsystemet.Vakuumventilens stängningsdelar är tätade med gummitätning eller metalltätning.
II.Vanliga vakuumventilapplikationer.
Vakuumventiler
Används i hög- eller ultrahögvakuumsystemutrustning när vakuum måste upprätthållas i ett slutet vakuumhanteringssystem.Vakuumventiler används för att styra luftflödet in i vakuumkammaren, isolera, ventilera, ge tryckminskning eller styra ledning.Grindventiler, Inline-ventiler och vinkelventiler är de vanligaste typerna av vakuumventiler som används för hög- eller ultrahögvakuumapplikationer.Ytterligare ventiltyper inkluderar vridspjällsventiler, överföringsventiler, kulventiler, pendelventiler, helmetallventiler, vakuumventiler, aluminiumvinkelventiler, teflonbelagda vakuumventiler och raka ventiler.
Fjärilsventiler
är snabböppnande ventiler som består av metallskivor eller blad som svänger i rät vinkel mot flödesriktningen i rörledningen och när de roteras på sin axel tätar ventilen sätet i ventilkroppen.
Överföringsventiler (rektangulära slussventiler)
Separationsventiler lämpliga för användning mellan lastlåsta vakuumkammare och överföringskammare, och mellan överföringskammare och processkammare i halvledartillverkningsutrustning.
Vakuumkulventiler
är kvartsvarvs raka flödesventiler med en cirkulär stängningsenhet med matchande cirkulära säten för jämn tätningsspänning.
Pendelventiler
är en stor strypventil monterad mellan processvakuumkammaren och den turbomolekylära pumpens inlopp.Dessa vakuumpendelventiler är vanligtvis utformade som grind- eller pendelventiler för applikationer inklusive OLED, FPD och PV industriella tillverkningssystem.
Helmetallventiler
Designad för användning i miljöer med ultrahögt vakuum där höga temperaturer inte tillåter användning av elastomerer och kryogena packningsmetaller.Bakbara helmetallventiler ger tillförlitlig högtemperaturtätning från atmosfärstryck till under 10-11 mbar.
Vakuumventiler
Fungerar tillförlitligt i halvledarproduktionssystem och i applikationer med kemisk och partikelförorening.De kan användas i miljöer med grovt vakuum, högvakuum eller ultrahögt vakuum.
Vinkelventiler i aluminium
Inloppet och utloppet på dessa ventiler är i rät vinkel mot varandra.Dessa vinkelventiler är gjorda av aluminium A6061-T6 och används i halvledar- och instrumenttillverkning, FoU och industriella vakuumsystem för grova till högvakuumapplikationer.
Den Teflonbelagda vakuumventilen är en helt konstruerad vakuumkomponentanordning i rostfritt stål med en hållbar och mycket kemikaliebeständig beläggning.
III.Egenskaper hos vakuumventiler.
Trycket är under atmosfärstrycket och tryckfallet över ventilklaffen får inte överstiga 1 kg kraft/cm.Mediets arbetstemperatur beror på processen för den använda enheten.Temperaturen överstiger i allmänhet inte intervallet -70 ~ 150°C.Det mest grundläggande kravet för sådana ventiler är att säkerställa en hög grad av täthet av anslutningen och tätheten hos strukturen och packningsmaterialet.
Enligt medeltrycket kan vakuumventiler delas in i fyra grupper.
1) Lågvakuumventiler: medeltryck p=760~1 mmHg.
2）Medelstora vakuumventiler: p=1×10-3 mmHg.
3）Högvakuumventiler: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ultrahögvakuumventil: p≤1×10-8 mmHg.
Som en sluten kretsventil med en passagediameter på mindre än 250 mm, är den mycket använda spindeln en vakuumbälgavstängningsventil med linjär rörelse.Portventiler är dock mer begränsade, men detta är främst för stora diametrar.Även tillgängliga är sfäriska pluggventiler (kulventiler), kolvventiler och vridspjällsventiler.Pluggventiler för vakuumventiler har inte främjats eftersom de kräver oljesmörjning, vilket gör det möjligt för oljeånga att komma in i vakuumsystemet, vilket inte är tillåtet.Vakuumventiler kan styras manuellt och på distans i fält, såväl som elektriskt, elektromagnetiskt (magnetventiler), pneumatiskt och hydrauliskt.
Posttid: Aug-11-2022