Beijing Super Q Technology Co., Ltd. har EV-serien oljesmorda 600L, 1200L, 1600L sammansatta molekylära pumpar och 3600L turbintyp molekylära pumpar;fettsmorda 300L, 650L, 1300L, 2000L sammansatta molekylpumpar.Den här artikeln fokuserar på att förklara egenskaperna, installationen, användningen och underhållet av molekylpumpar för fettsmörjningsföreningar i EV-Z-serien.
Strukturegenskaper
EV-serien fett molekylär pump antar importerade precision keramiska lager, pumpens rotor genom dynamisk balans, stabil och tillförlitlig drift, motor ekorrbur trefasmotor, lagersmörjning genom fettsmörjning, kan monteras i alla riktningar.
installation och användning
I. Om Ultimate Pressure
Molekylpumpens "Ultimate Pressure" är baserat på den internationella ISO-standarden "Testmetod för prestanda för turbomolekylära pumpar", Efter att pumpkroppen och testlocket har gräddats helt (48 timmars torkning och avgasning), det lägsta trycket uppmätt kl. det angivna läget för testkåpan.tryckvärde.Vid faktisk användning är värdet för 'gränstryck' relaterat till arbetstrycket och den effektiva pumphastigheten för den konfigurerade stödpumpen.Att välja en stödpump med högre prestanda är mycket fördelaktigt för att få högre vakuum och minska avgastiden.
Dessutom, på grund av särdragen hos molekylpumpens avgasprincip, måste pumpens luftinlopp vara så brett som möjligt, och gasvägen från vakuumkammaren till molekylpumpsporten bör undvika att vrida så mycket som möjligt, för att utöva den bästa effektiviteten hos molekylpumpen, och garanterat högre slutvakuum.
II.Installation
2.1 Öppna paketet
Kontrollera före installationen om molekylpumpen har skadats under transporten.
Metoden är som följer: se strömförsörjningsinstruktionerna för molekylpumpen, anslut den korrekt till molekylpumpen, behöver inte passera vatten eller vakuum, starta molekylpumpen och kontrollera om den är igång och om det finns någon onormalt ljud.Om det finns något avvikande, tryck på stoppknappen i tid för att stoppa pumpen.Obs: Strömfrekvensen bör inte vara högre än 25Hz under provdrift
2.2 Anslutning av högvakuumflänsen
Molekylpumpens anslutning kan lyftas av högvakuumflänsen eller fixeras på basen.Molekylpumpen måste fixeras när molekylpumpens högvakuumfläns är ansluten till systemet genom en metallbälg.
(Flänsens tätningsyta har inga repor och det ska inte finnas något på tätningsringen)
2.3 Foreline vakuumanslutning
En isolerings- och avluftningsventil bör installeras mellan foreline-pumpen och molekylpumpen för att förhindra att den mekaniska pumpen returnerar olja efter avstängning.
2.4 Ansluta gasladdaren
För att få en ren vakuummiljö, efter att molekylpumpen har stoppats, kan vakuumsystemet fyllas med kväve eller torr luft.I allmänhet kan en avluftningsventil anslutas till rörledningen i främre steget, eller så kan en högvakuumventil användas för att ventilera gasen vid högvakuumänden.
III．Anslutning av kylning
På grund av lagrets roterande friktion med hög hastighet, uppvärmningen av pumpkroppen och motorns temperaturstegring, måste lagret och motorn kylas när molekylpumpen arbetar.Luftkylning används vanligtvis och vattenkylning används när omgivningstemperaturen är högre än 38°C.Mjukvattenröret med en ytterdiameter på 10 mm kan anslutas direkt till molekylpumpens vatteninlopp och utlopp.Ett cirkulerande vattensystem med rent vatten används, och kranvatten med låg nederbörd kan också användas (vattentemperaturen måste vara ≤28°C).
Oavsiktligt vattenstopp eller hög vattentemperatur kommer att få temperatursensorn på molekylpumpkroppen att agera, och strömförsörjningen kommer omedelbart att larma och stoppa utmatningen.
Det finns ett intervall på cirka 15 minuter (den specifika tiden beror på temperaturstegringshastigheten) efter det oväntade vattenstoppet eller vattentemperaturen är för hög tills molekylpumpen larmar på grund av överhettning.
IV．Bakning
Det slutliga trycket beror på renheten på insidan av pumpen och vakuumbanan inklusive vakuumkammaren.För att erhålla det slutliga trycket på kortast tid måste vakuumsystemet och molekylpumpen bakas.Bakning bör utföras med molekylpumpen igång normalt.
Molekylpumpens gräddningstemperatur bör vara lägre än 80°C, högvakuumflänsen som är ansluten till pumpporten bör inte vara högre än 120°C, och bakningstemperaturen för vakuumsystemet är i allmänhet lägre än 300°C.av skada.
Gräddningstiden beror på föroreningsgraden av systemet och molekylpumpen och det förväntade gränsarbetstrycket, men minimitiden bör inte vara mindre än 4 timmar.
För att erhålla ett vakuum på 10-4Pa krävs i princip ingen bakning;för att erhålla ett vakuum på 10-5Pa räcker det med att baka själva vakuumsystemet;för att erhålla ultrahögt vakuum behöver vakuumsystemet och molekylpumpen vanligtvis bakas samtidigt.Mätsystemet bör vara färdigbakat, annars kommer det att påverka mätdatans noggrannhet på grund av dess utgasning.
V．Drift
Bekräfta att förvakuumet är bättre än 15 Pa, tryck på RON-tangenten för att starta molekylpumpen och tryck på STOP-tangenten för att stoppa efter användning.Uppmärksamhet!Mjukstartsnyckeln måste användas för första användningen eller återanvändning efter långvarig tomgångsanvändning.Mjukstartsfunktionen är som följer: det aktuella stegets vakuum är bättre än 15Pa och mjukstartstangenten är nedtryckt.Efter 110 minuter når molekylpumpen arbetsfrekvensen 550Hz (550Hz motsvarar EV300Z molekylpump, 400Hz Motsvarande EV650Z, 1300Z, 2000 molekylpump), tryck sedan på mjukstartstangenten (tangenten är uppe) för att stoppa Start.
（Under normal drift av molekylpumpen är det förbjudet att bära, flytta eller fylla med luft.）
VI．Underhåll och reparation
6.1 Rengöring av pumpen
När vakuumsystemets luftläckage och desorptionshastighet inte förändras, och vakuumprestandan inte kan återställas även efter en lång tids bakning, eller när stödpumpen på allvar återför olja, bör pumpen rengöras.
（Om pumpen behöver repareras och rengöras måste den tas isär av professionella tekniker.Om den demonteras utan träning sker konsekvenserna på egen risk.）
6.2 Byte av lager
Eftersom pumpen behöver balanseras kan lagret inte bytas ut av användaren.
6.3 Stötskydd
Molecular pump är en höghastighets roterande maskin.Gapet mellan den rörliga plattan och den statiska plattan är mycket liten, och den tål inte överdriven stöt.Hastigheten och accelerationen för den rörliga bäraren i kontakt med den bör begränsas.Dessutom kommer den plötsliga påverkan av atmosfärisk volym och fallet av externa hårda föremål under normal drift av molekylpumpen också att orsaka allvarlig skada på molekylpumpen.
6.4 Vibrationsisolering
Vanligtvis har molekylpumpen testats strikt, och vibrationen är mycket liten, och den kan anslutas direkt till det pumpade systemet.För högprecisionsinstrumenttillämpningar (som elektronmikroskop, etc.) rekommenderas att använda vibrationsisolatorer för att minimera påverkan av vibrationer på instrumentet.
6.5 Stark magnetfältsskärmning
Den roterande rotorn genererar virvelström i magnetfältet, vilket gör att rotorn värms upp.Eftersom värmen kommer att försvaga aluminiummaterialets hållfasthet, begränsas tillämpningen av molekylpumpen i magnetfältet i viss utsträckning.
6.6 elektromagnetisk störning
Vissa högfrekventa instrument, som molekylpumpar och frekvensomvandlare, kan orsaka elektromagnetiska störningar i den omgivande miljön.Men när det gäller att uppfylla internationella standarder kommer tillämpningen av molekylära pumpar inte att begränsas.Om kraven är uppfyllda bör motsvarande certifikat utfärdas samtidigt.
6.7 Stark radioaktivitetsbegränsning
De flesta material kommer att förändra sina egenskaper i en stark radioaktiv miljö, särskilt organiska material (som molekylär pumpolja, tätningsringar) och halvledarkomponenter.Molekylär pump kan motstå strålningsintensitet på 105rad.Genom att välja antiradioaktiva material och använda en motordriven strömförsörjning kan antistrålningsstyrkan förbättras.Vid pumpning av tritium måste alla tätningsringar i molekylpumpen vara gjorda av metallmaterial för att förhindra att det radioaktiva grundämnet tritium tränger ut i atmosfären.
6.8 Foreline pump
Vid högtrycksänden av molekylpumpens prestandakurva sträcker sig inloppstrycket från cirka 200 Pa till 10-1 Pa, och spänner över tre storleksordningar.Den genomsnittliga fria vägen för gasmolekyler blir mindre, och pumpeffekten börjar försämras.Därför, i övergångszonen, ju större användningen av stödpumpen är, desto högre pumphastighet för molekylpumpen.Foreline-pumpen bör vara minst 3 L/S.
Vanliga fel och felsökning
EV-Z-serien fettsmord sammansatt molekylär pump är en mekanisk vakuumpump som realiserar luftutsug genom relativt höghastighetsrotation av dynamiska och statiska turbinblad i flera steg.Den turbomolekylära pumpen har egenskaperna för hög pumphastighet och högt kompressionsförhållande i det molekylära flödesområdet, och är mer energibesparande än diffusionspumpen och har ingen olje- och ångförorening.EV-serien fettsmord sammansatt molekylär pump är den molekylära pumpen med den största pumphastigheten på 100 kalibrar i Kina.
Denna molekylära pump har ingen selektivitet och ingen minneseffekt på gasen som ska pumpas.På grund av det höga kompressionsförhållandet för gasen med hög molekylvikt kan pumpen erhålla rent högvakuum och ultrahögt vakuum utan köldfällor och oljebafflar..Det används ofta inom olika områden av elektronik, metallurgi, kemisk industri, vetenskaplig forskning och vakuumteknik.
Posttid: 2022-01-01