Maarifa - Vava za Utupu

I. Utangulizi wa valve
Vali ya utupu ni sehemu ya mfumo wa utupu inayotumika kubadilisha mwelekeo wa mtiririko wa hewa, kurekebisha saizi ya mtiririko wa gesi, kukatwa au kuunganisha bomba kwenye mfumo wa utupu.Sehemu za kufunga za valve ya utupu zimefungwa na muhuri wa mpira au muhuri wa chuma.

II.Maombi ya kawaida ya valve ya utupu.
Vali za utupu
Inatumika katika vifaa vya mfumo wa utupu wa juu au wa juu zaidi wakati utupu lazima udumishwe katika mfumo wa kushughulikia utupu uliofungwa.Vipu vya utupu hutumiwa kudhibiti mtiririko wa hewa ndani ya chumba cha utupu, kutenganisha, vent, kutoa kupunguza shinikizo au kudhibiti uendeshaji.Vali za lango, vali za ndani na vali za pembe ni aina za kawaida za vacuum zinazotumiwa kwa matumizi ya utupu wa juu au wa juu zaidi.Aina za vali za ziada ni pamoja na vali za kipepeo, vali za uhamisho, vali za mpira, vali za pendulum, vali za chuma-yote, vali za utupu, vali za pembe za alumini, vali za utupu zilizofunikwa na Teflon na vali za moja kwa moja.

Vipu vya kipepeo
ni vali zinazofungua kwa haraka zinazojumuisha diski za chuma au vali ambazo huzunguka kwenye pembe za kulia kuelekea mwelekeo wa mtiririko kwenye bomba na zinapozungushwa kwenye mhimili wao, vali huziba kiti katika sehemu ya valve.

Vali za uhamishaji (vali za lango la mstatili)
Vipu vya kutenganisha vinavyofaa kwa matumizi kati ya vyumba vya utupu vilivyofungwa na vyumba vya uhamisho, na kati ya vyumba vya uhamisho na vyumba vya usindikaji katika vifaa vya utengenezaji wa semiconductor.

Vali za Mpira wa Utupu
ni vali za mtiririko wa robo zamu zilizo na mkusanyiko wa kufungwa kwa duara na viti vya mviringo vinavyolingana kwa mkazo wa kuziba sare.

Vipu vya pendulum
ni vali kubwa ya kaba iliyowekwa kati ya chumba cha utupu cha mchakato na ingizo la pampu ya turbomolecular.Vali hizi za utupu za pendulum kwa kawaida zimeundwa kama vali za lango au pendulum kwa ajili ya matumizi ikiwa ni pamoja na mifumo ya viwanda ya OLED, FPD na PV ya viwanda.

Valve zote za chuma
Iliyoundwa kwa ajili ya matumizi katika mazingira ya utupu wa juu-juu ambapo hali ya joto ya juu hairuhusu matumizi ya elastomers na metali za gasket za cryogenic.Vali za chuma zote zinazoweza kuoka hutoa kuziba kwa joto la juu kutoka kwa shinikizo la anga hadi chini ya 10-11 mbar.

Vali za utupu
Fanya kazi kwa uhakika katika mifumo ya uzalishaji wa semiconductor na katika matumizi yenye uchafuzi wa kemikali na chembe chembe.Zinaweza kutumika katika ombwe mbaya, utupu wa juu au mazingira ya utupu wa hali ya juu.

Vipu vya pembe za alumini
Kiingilio na njia ya valves hizi ziko kwenye pembe za kulia kwa kila mmoja.Vali hizi za pembe zimeundwa kwa alumini A6061-T6 na hutumiwa katika utengenezaji wa semiconductor na ala, R&D na mifumo ya utupu ya viwandani kwa matumizi mabaya hadi ya juu ya utupu.

Vali ya utupu iliyofunikwa ya Teflon ni kifaa cha sehemu ya utupu ya chuma cha pua iliyoboreshwa kikamilifu na mipako inayodumu na inayokinza kemikali.

III.Tabia za valves za utupu.
Shinikizo ni chini ya shinikizo la anga na kushuka kwa shinikizo kwenye flap ya valve haiwezi kuzidi kilo 1 ya nguvu / cm.Joto la kazi la kati inategemea mchakato wa kifaa kilichotumiwa.Joto kwa ujumla halizidi kiwango cha -70 ~ 150°C.Mahitaji ya msingi zaidi kwa valves vile ni kuhakikisha kiwango cha juu cha kufungwa kwa uunganisho na denseness ya muundo na nyenzo za gasket.

Kulingana na shinikizo la kati, valves za utupu zinaweza kugawanywa katika vikundi vinne.
1) Vali za chini za utupu: shinikizo la kati p = 760 ~ 1 mmHg.
2）Vali za utupu za wastani: p=1×10-3 mmHg.
3）Vali za utupu za juu: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Vali ya utupu ya juu zaidi: p≤1×10-8 mmHg.

Kama vali ya mzunguko funge yenye kipenyo cha chini ya 250 mm, shina linalotumika sana ni vali ya kufunga ya utupu yenye harakati za mstari.Vipu vya lango, hata hivyo, ni vikwazo zaidi, lakini hii ni hasa kwa kipenyo kikubwa.Pia inapatikana ni vali za kuziba za duara (vali za mpira), vali za plunger na vali za kipepeo.Vipu vya kuziba kwa valves za utupu hazijakuzwa kwa sababu zinahitaji lubrication ya mafuta, na hivyo inawezekana kwa mvuke wa mafuta kuingia kwenye mfumo wa utupu, ambao hauruhusiwi.Vali za utupu zinaweza kudhibitiwa kwa mikono na kwa mbali kwenye shamba, pamoja na umeme, sumaku-umeme (vali za solenoid), nyumatiki na hydraulically.