మాస్ ఫ్లో కంట్రోలర్ మాస్ ఫ్లో మీటర్ CS200
లక్షణాలు
1. అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు వేగవంతమైన ప్రతిస్పందన
CS200 MFC యొక్క ఖచ్చితత్వం SP యొక్క ±1.0%కి మెరుగుపరచబడింది మరియు అత్యంత అధునాతన నమూనాలు 0.8 సెకన్ల కంటే తక్కువ ప్రతిస్పందన సమయాన్ని కలిగి ఉంటాయి.
2. తక్కువ జీరో డ్రిఫ్ట్ మరియు ఉష్ణోగ్రత గుణకం
కొత్త సెన్సార్ సాంకేతికత యొక్క ఆవిష్కరణ CS200 MFC స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించడానికి మరియు ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులను తట్టుకోవడానికి వీలు కల్పిస్తుంది.ఆటో-జీరో యాంప్లిఫైయర్ లేకుండా, ఊహించిన సున్నా డ్రిఫ్ట్ 0.6%FS/సంవత్సరం కంటే తక్కువగా ఉంటుంది మరియు ఉష్ణోగ్రత గుణకం 0.02%FS/℃(సున్నా), 0.05%FS/ ℃ (span) కంటే తక్కువగా ఉంటుంది.
3. మెటల్-సీల్డ్ మోడల్స్ మరియు హై ప్యూరిటీ ఫీచర్
-ది-లైన్ CS200 MFC యొక్క తడి ప్రవాహ మార్గం ఉపరితల-నిష్క్రియ స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ నుండి నిర్మించబడింది.అన్ని CS200 MFCలు SEMI మరియు ISO 9001 ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా సెవెన్‌స్టార్ యొక్క అల్ట్రాక్లీన్ క్లాస్ 100-క్లాస్ క్లీన్‌రూమ్‌లలో అసెంబుల్ చేయబడ్డాయి.
4. అనుకూల ఇంటర్‌ఫేస్‌లు
CS200 MFC కింది ఇంటర్‌ఫేస్‌లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది, వీటిని కస్టమర్ ఎంచుకోవచ్చు: ±8V-±16V డబుల్-ఎండ్ పవర్ సప్లై మరియు +14V-+28V సింగిల్-ఎండ్ పవర్ సప్లై;డిజిటల్ లేదా అనలాగ్ సిగ్నల్ ఇన్పుట్ మరియు అవుట్పుట్;SEMI ప్రామాణిక యాంత్రిక కొలతలు;మరియు RS-485 లేదా DeviceNet కమ్యూనికేషన్స్ మాడ్యూల్.
5. ఇతర విధులు
శక్తివంతమైన కస్టమర్ సాఫ్ట్‌వేర్ ప్రతి మోడల్‌తో ప్రామాణికంగా వస్తుంది, అయితే బహుళ-గ్యాస్，మల్టీ-రేంజ్，ఆటో-జీరో, అలారాలు, సాఫ్ట్ స్టార్ట్ మరియు ఆలస్యం వంటి అదనపు ఫంక్షన్‌లు కస్టమర్ ఎంపికలుగా అందుబాటులో ఉంటాయి.
స్పెసిఫికేషన్
| CS200 | |||||||
| టైప్ చేయండి | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| పూర్తి స్థాయి పరిధి (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| ఖచ్చితత్వం | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| సరళత | ± 0.5% FS | ||||||
| పునరావృతం | ± 0.2% FS | ||||||
| ప్రతిస్పందన సమయం | ≤1సెక | ≤0.8 సెకను (SEMI E17-0600) | |||||
| వాల్వ్ విశ్రాంతి స్థానం | సాధారణంగా మూసివేయబడింది లేదా | వాల్వ్ లేదు | సాధారణంగా మూసివేయబడింది లేదా | వాల్వ్ లేదు | సాధారణంగా మూసివేయబడింది లేదా | వాల్వ్ లేదు | |
| సాధారణంగా తెరవండి (100 sccm≤FS≤5 slm) | సాధారణంగా తెరవండి (100 sccm≤FS≤5 slm) | సాధారణంగా తెరవండి (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| అవకలన ఒత్తిడి | 0.05～0.35MPa (ఫ్లో≤10slm) | జె0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | జె0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | జె0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa (10slmFlow≤30slm) | (0.1～0.35) MPa (＞10slm) | (0.1～0.35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0.2～0.45MPa (ఫ్లో：30slm) | |||||||
| గరిష్ట ఆపరేటింగ్ ప్రెజర్ | 0.45MPa | |||||
| ఉష్ణోగ్రత | సున్నా:≤±0.05% FS/℃; | సున్నా:≤±0.02% FS/℃;వ్యవధి:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| గుణకం | వ్యవధి: ≤±0.1% FS/℃(ఫ్లో≤30slm) | |||||
| వ్యవధి: ≤±0.2% FS/℃(ఫ్లో>30slm) | ||||||
| ప్రూఫ్ ఒత్తిడి | 3MPa (435pisg) | |||||
| జీరో డ్రిఫ్ట్ | జెఆటోజెరో లేకుండా సంవత్సరానికి 0.6%FS | |||||
| లీక్ సమగ్రత | 1×10-9 atm·cc / సెకను అతను | 1×10-10atm·cc / సెకను అతను | ||||
| తడిసిన పదార్థాలు | విటన్; | మెటల్?(స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ V/V, 5Ra) | మెటల్ | |||
| ఉపరితల రసాయన శాస్త్రం | —— | Cr/Fe నిష్పత్తి ＞2.0;CrO మందం 20 ఆంగ్‌స్ట్రోమ్‌లు | ||||
| ఉపరితల ముగింపు | 25రా | 10రా | 25రా | |||
| ఆపరేషన్ ఉష్ణోగ్రత | (5～45)℃ | (0～50)℃ | ||||
| ఇన్పుట్ సిగ్నల్ | డిజిటల్: RS485 లేదా ProfiBus | N/A | డిజిటల్: RS485 లేదా ProfiBus లేదా DeviceNetTM | N/A | డిజిటల్:RS485 లేదా ProfiBus లేదా DeviceNetTM | N/A |
| లేదా DeviceNetTM | అనలాగ్:(0～5)VDC లేదా (4～20)mA లేదా (0～20)mA | అనలాగ్:(0～5)VDC లేదా (4～20)mA?లేదా (0～20)mA | |||||
| అనలాగ్:(0～5)VDC లేదా (4～20)mA లేదా(0～20)mA | |||||||
| అవుట్పుట్ సిగ్నల్ | డిజిటల్: RS485 లేదా DeviceNetTM లేదా ProfiBus అనలాగ్:(0～5)VDC లేదా (4～20)mA లేదా (0～20)mA | ||||||
| విద్యుత్ పంపిణి | ±8 ~ ±16 VDC లేదా +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| ఎలక్ట్రానిక్ కనెక్టర్ | 9 పిన్ పురుష ఉప-D ，15 పిన్ పురుష ఉప-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, అనలాగ్ | ||||||
| అమరికలు | VCR1/4" M; VCO1/4" M; | VCR1/4" M; | |||||
| కంప్రెషన్ ఫిట్టింగ్Φ10;కంప్రెషన్ ఫిట్టింగ్Φ6; | కంప్రెషన్ ఫిట్టింగ్Φ6, | ||||||
| కంప్రెషన్ ఫిట్టింగ్ 3/8”;కంప్రెషన్ ఫిట్టింగ్ 1/4"; | కంప్రెషన్ ఫిట్టింగ్Φ3, | ||||||
| కంప్రెషన్ ఫిట్టింగ్1/8";కంప్రెషన్ ఫిట్టింగ్Φ3; | కంప్రెషన్ ఫిట్టింగ్ 1/4”, | ||||||
| Ф6(లోపలి)×1హోస్;ф5(లోపలి)×1.5హోస్;ф4(లోపలి)×1హోస్; | W-సీల్, | ||||||
| A-sael ; | సి-సీల్ | ||||||
| బరువు | 1కిలోలు | 0.8కిలోలు | 1.2 కిలోలు | 1కిలోలు | 1.2 కిలోలు | 1కిలోలు | |
