మాస్ ఫ్లో కంట్రోలర్‌లు (MFC) వాయువుల ద్రవ్యరాశి ప్రవాహంపై ఖచ్చితమైన కొలత మరియు నియంత్రణను అందిస్తాయి.
I. MFC మరియు MFM మధ్య తేడా ఏమిటి?
మాస్ ఫ్లో మీటర్ (MFM) అనేది గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని ఖచ్చితంగా కొలిచే ఒక రకమైన పరికరం, మరియు ఉష్ణోగ్రత లేదా పీడనంలో హెచ్చుతగ్గుల కారణంగా దాని కొలత విలువ సరికాదు మరియు ఉష్ణోగ్రత మరియు పీడన పరిహారం అవసరం లేదు. మాస్ ఫ్లో కంట్రోలర్ (MFC) మాత్రమే కాదు. మాస్ ఫ్లో మీటర్ యొక్క పనితీరును కలిగి ఉంటుంది, కానీ మరీ ముఖ్యంగా, ఇది గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని స్వయంచాలకంగా నియంత్రించగలదు, అనగా వినియోగదారు వారి అవసరాలకు అనుగుణంగా ప్రవాహాన్ని సెట్ చేయవచ్చు మరియు MFC స్వయంచాలకంగా సెట్ విలువ వద్ద ప్రవాహాన్ని స్థిరంగా ఉంచుతుంది. సిస్టమ్ ఒత్తిడి హెచ్చుతగ్గులు లేదా పరిసర ఉష్ణోగ్రతలో మార్పులు సెట్ విలువ నుండి వైదొలగడానికి కారణం కాదు.మాస్ ఫ్లో కంట్రోలర్ అనేది స్థిరమైన ప్రవాహ పరికరం, ఇది గ్యాస్ స్టెడీ ఫ్లో పరికరం, ఇది కంప్యూటర్‌తో కనెక్షన్ ద్వారా మానవీయంగా సెట్ చేయబడుతుంది లేదా స్వయంచాలకంగా నియంత్రించబడుతుంది.మాస్ ఫ్లో మీటర్లు మాత్రమే కొలుస్తాయి కానీ నియంత్రించవు.మాస్ ఫ్లో కంట్రోలర్‌కు కంట్రోల్ వాల్వ్ ఉంది, ఇది గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని కొలవగలదు మరియు నియంత్రించగలదు.
II.నిర్మాణం ఏమిటి మరియుఆపరేషన్ సూత్రం?
1, నిర్మాణం
2, ఆపరేషన్ సూత్రం
ప్రవాహం తీసుకోవడం పైపులోకి ప్రవేశించినప్పుడు, చాలా ప్రవాహం డైవర్టర్ ఛానల్ గుండా వెళుతుంది, వీటిలో ఒక చిన్న భాగం సెన్సార్ లోపల కేశనాళిక ట్యూబ్లోకి ప్రవేశిస్తుంది.యొక్క ప్రత్యేక నిర్మాణం కారణంగా
డైవర్టర్ ఛానల్, గ్యాస్ ప్రవాహం యొక్క రెండు భాగాలు నేరుగా అనులోమానుపాతంలో ఉంటాయి.సెన్సార్ ముందుగా వేడి చేయబడుతుంది మరియు వేడి చేయబడుతుంది మరియు లోపల ఉష్ణోగ్రత ఇన్లెట్ గాలి యొక్క ఉష్ణోగ్రత కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది.ఈ సమయంలో, వాయువు యొక్క చిన్న భాగం యొక్క ద్రవ్యరాశి ప్రవాహం కేశనాళిక ట్యూబ్ ద్వారా ఉష్ణ బదిలీ సూత్రం మరియు ఉష్ణోగ్రత వ్యత్యాసం క్యాలరీమెట్రీ సూత్రం ద్వారా కొలుస్తారు.ఈ విధంగా కొలిచిన వాయువు ప్రవాహం ఉష్ణోగ్రత మరియు పీడన ప్రభావాలను విస్మరించగలదు.సెన్సార్ ద్వారా కనుగొనబడిన ప్రవాహాన్ని కొలిచే సిగ్నల్ సర్క్యూట్ బోర్డ్‌కు ఇన్‌పుట్ చేయబడుతుంది మరియు విస్తరించబడింది మరియు అవుట్‌పుట్ చేయబడుతుంది మరియు MFM యొక్క పనితీరు పూర్తయింది.సర్క్యూట్ బోర్డ్‌కు PID క్లోజ్డ్ లూప్ ఆటోమేటిక్ కంట్రోల్ ఫంక్షన్‌ని జోడిస్తోంది, సెన్సార్ ద్వారా కొలిచిన ఫ్లో మెజర్‌మెంట్ సిగ్నల్‌ను యూజర్ ఇచ్చిన సెట్ సిగ్నల్‌తో పోల్చండి.దీని ఆధారంగా, నియంత్రణ వాల్వ్ నియంత్రించబడుతుంది, తద్వారా ఫ్లో డిటెక్షన్ సిగ్నల్ సెట్ సిగ్నల్‌కు సమానంగా ఉంటుంది, తద్వారా MFC యొక్క పనితీరును గ్రహించవచ్చు.
III.అప్లికేషన్లు మరియు ఫీచర్లు.
MFC，ఇది రంగాలలో విస్తృతంగా వర్తించబడుతుంది: సెమీకండక్టర్ మరియు IC ఫాబ్రికేషన్, స్పెషల్ మెటీరియల్స్ సైన్స్, కెమికల్ పరిశ్రమ, పెట్రోలిక్ పరిశ్రమ, ఔషధ పరిశ్రమ, పర్యావరణ పరిరక్షణ మరియు వాక్యూమ్ సిస్టమ్ రీసెర్చింగ్ మొదలైనవి. విలక్షణ అనువర్తనాల్లో ఇవి ఉన్నాయి: వ్యాప్తి వంటి మైక్రోఎలక్ట్రానిక్ ప్రక్రియ పరికరాలు , ఆక్సీకరణ, ఎపిటాక్సీ, CVD, ప్లాస్మా ఎచింగ్, స్పుట్టరింగ్, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్;వాక్యూమ్ డిపాజిషన్ పరికరాలు, ఆప్టికల్ ఫైబర్ మెల్టింగ్, మైక్రో-రియాక్షన్ పరికరాలు, మిక్సింగ్ & మ్యాచింగ్ గ్యాస్ సిస్టమ్, కేశనాళిక ప్రవాహ నియంత్రణ వ్యవస్థ, గ్యాస్ క్రోమాటోగ్రాఫ్ మరియు ఇతర విశ్లేషణాత్మక సాధనాలు.
MFC అధిక ఖచ్చితత్వం, అద్భుతమైన రిపీటబిలిటీ, శీఘ్ర ప్రతిస్పందన, సాఫ్ట్-స్టార్ట్, మెరుగైన విశ్వసనీయత, వివిధ రకాల ఆపరేషన్ ఒత్తిడి (అధిక పీడనం మరియు వాక్యూమ్ పరిస్థితులలో మంచి ఆపరేషన్), సాధారణ అనుకూలమైన ఆపరేషన్, సౌకర్యవంతమైన సంస్థాపన, ఆటోమేటిక్‌గా నిర్వహించడానికి PCతో కనెక్ట్ చేయడం సాధ్యమవుతుంది. వినియోగదారుల సిస్టమ్‌పై నియంత్రణ.
IV.ఎఫ్‌తో ఎలా గుర్తించాలి మరియు వ్యవహరించాలిజబ్బులు?
మా కంపెనీకి ప్రొఫెషనల్ ఆఫ్టర్ సేల్ ఇంజనీర్ ఉన్నారు, ఇన్‌స్టాలేషన్ మరియు ఉపయోగంలో సమస్యలను పరిష్కరించడంలో మీకు సహాయపడుతుంది.
పోస్ట్ సమయం: జూలై-29-2022