జ్ఞానం - వాక్యూమ్ కవాటాలు

I. వాల్వ్ పరిచయం
వాక్యూమ్ వాల్వ్ అనేది వాక్యూమ్ సిస్టమ్ భాగం, ఇది వాయు ప్రవాహ దిశను మార్చడానికి, గ్యాస్ ప్రవాహ పరిమాణాన్ని సర్దుబాటు చేయడానికి, వాక్యూమ్ సిస్టమ్‌లోని పైప్‌లైన్‌ను కత్తిరించడానికి లేదా కనెక్ట్ చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.వాక్యూమ్ వాల్వ్ యొక్క మూసివేసే భాగాలు రబ్బరు సీల్ లేదా మెటల్ సీల్ ద్వారా మూసివేయబడతాయి.

II.సాధారణ వాక్యూమ్ వాల్వ్ అప్లికేషన్లు.
వాక్యూమ్ కవాటాలు
ఒక క్లోజ్డ్ వాక్యూమ్ హ్యాండ్లింగ్ సిస్టమ్‌లో వాక్యూమ్ తప్పనిసరిగా నిర్వహించబడినప్పుడు హై లేదా అల్ట్రా-హై వాక్యూమ్ సిస్టమ్ పరికరాలలో ఉపయోగించబడుతుంది.వాక్యూమ్ కవాటాలు వాక్యూమ్ చాంబర్‌లోకి గాలి ప్రవాహాన్ని నియంత్రించడానికి, వేరుచేయడానికి, బిలం, ఒత్తిడి తగ్గింపు లేదా నియంత్రణ ప్రసరణను అందించడానికి ఉపయోగిస్తారు.గేట్ వాల్వ్‌లు, ఇన్‌లైన్ వాల్వ్‌లు మరియు యాంగిల్ వాల్వ్‌లు అధిక లేదా అల్ట్రా-హై వాక్యూమ్ అప్లికేషన్‌ల కోసం ఉపయోగించే అత్యంత సాధారణ రకాల వాక్యూమ్ వాల్వ్‌లు.అదనపు వాల్వ్ రకాల్లో సీతాకోకచిలుక కవాటాలు, బదిలీ కవాటాలు, బాల్ వాల్వ్‌లు, లోలకం కవాటాలు, ఆల్-మెటల్ వాల్వ్‌లు, వాక్యూమ్ వాల్వ్‌లు, అల్యూమినియం యాంగిల్ వాల్వ్‌లు, టెఫ్లాన్-కోటెడ్ వాక్యూమ్ వాల్వ్‌లు మరియు స్ట్రెయిట్-త్రూ వాల్వ్‌లు ఉన్నాయి.

సీతాకోకచిలుక కవాటాలు
పైప్‌లైన్‌లోని ప్రవాహ దిశకు లంబ కోణంలో పైవట్ చేసే మెటల్ డిస్క్‌లు లేదా వ్యాన్‌లతో కూడిన ఫాస్ట్ ఓపెనింగ్ వాల్వ్‌లు మరియు వాటి అక్షంపై తిప్పినప్పుడు, వాల్వ్ వాల్వ్ బాడీలో సీటును మూసివేస్తుంది.

బదిలీ కవాటాలు (దీర్ఘచతురస్రాకార గేట్ కవాటాలు)
లోడ్-లాక్ చేయబడిన వాక్యూమ్ చాంబర్‌లు మరియు ట్రాన్స్‌ఫర్ ఛాంబర్‌ల మధ్య మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాలలో ట్రాన్స్‌ఫర్ ఛాంబర్‌లు మరియు ప్రాసెసింగ్ ఛాంబర్‌ల మధ్య ఉపయోగించడానికి అనుకూలమైన సెపరేషన్ వాల్వ్‌లు.

వాక్యూమ్ బాల్ కవాటాలు
ఏకరీతి సీలింగ్ ఒత్తిడికి సరిపోయే వృత్తాకార సీట్లతో వృత్తాకార మూసివేత అసెంబ్లీతో క్వార్టర్ టర్న్ స్ట్రెయిట్ ఫ్లో వాల్వ్‌లు.

లోలకం కవాటాలు
ప్రక్రియ వాక్యూమ్ చాంబర్ మరియు టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ ఇన్‌లెట్ మధ్య అమర్చబడిన పెద్ద థొరెటల్ వాల్వ్.ఈ వాక్యూమ్ లోలకం కవాటాలు సాధారణంగా OLED, FPD మరియు PV పారిశ్రామిక తయారీ వ్యవస్థలతో సహా అనువర్తనాల కోసం గేట్ లేదా లోలకం కవాటాలుగా రూపొందించబడ్డాయి.

ఆల్-మెటల్ వాల్వ్‌లు
అధిక ఉష్ణోగ్రతలు ఎలాస్టోమర్లు మరియు క్రయోజెనిక్ రబ్బరు పట్టీ లోహాల వినియోగాన్ని అనుమతించని అల్ట్రా-హై వాక్యూమ్ పరిసరాలలో ఉపయోగం కోసం రూపొందించబడింది.కాల్చదగిన ఆల్-మెటల్ వాల్వ్‌లు వాతావరణ పీడనం నుండి 10-11 mbar కంటే తక్కువ వరకు నమ్మదగిన అధిక ఉష్ణోగ్రత సీలింగ్‌ను అందిస్తాయి.

వాక్యూమ్ కవాటాలు
సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి వ్యవస్థలలో మరియు రసాయన మరియు రేణువుల కాలుష్యంతో కూడిన అనువర్తనాల్లో విశ్వసనీయంగా పనిచేస్తాయి.వాటిని రఫ్ వాక్యూమ్, హై వాక్యూమ్ లేదా అల్ట్రా-హై వాక్యూమ్ పరిసరాలలో ఉపయోగించవచ్చు.

అల్యూమినియం కోణం కవాటాలు
ఈ కవాటాల ఇన్లెట్ మరియు అవుట్‌లెట్ ఒకదానికొకటి లంబ కోణంలో ఉంటాయి.ఈ యాంగిల్ వాల్వ్‌లు అల్యూమినియం A6061-T6తో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు సెమీకండక్టర్ మరియు ఇన్‌స్ట్రుమెంటేషన్ తయారీ, R&D మరియు ఇండస్ట్రియల్ వాక్యూమ్ సిస్టమ్‌లలో కఠినమైన నుండి అధిక వాక్యూమ్ అప్లికేషన్‌ల కోసం ఉపయోగించబడతాయి.

టెఫ్లాన్ కోటెడ్ వాక్యూమ్ వాల్వ్ అనేది మన్నికైన మరియు అధిక రసాయన నిరోధక పూతతో పూర్తిగా ఇంజనీరింగ్ చేయబడిన స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ వాక్యూమ్ కాంపోనెంట్ పరికరం.

III.వాక్యూమ్ కవాటాల లక్షణాలు.
పీడనం వాతావరణ పీడనం కంటే తక్కువగా ఉంటుంది మరియు వాల్వ్ ఫ్లాప్ అంతటా ఒత్తిడి తగ్గుదల 1 కిలోల శక్తి/సెం.మీ కంటే ఎక్కువగా ఉండదు.మాధ్యమం యొక్క పని ఉష్ణోగ్రత ఉపయోగించిన పరికరం యొక్క ప్రక్రియపై ఆధారపడి ఉంటుంది.ఉష్ణోగ్రత సాధారణంగా -70 ~ 150°C పరిధిని మించదు.అటువంటి కవాటాలకు అత్యంత ప్రాథమిక అవసరం కనెక్షన్ యొక్క అధిక స్థాయి బిగుతు మరియు నిర్మాణం మరియు రబ్బరు పట్టీ పదార్థం యొక్క సాంద్రతను నిర్ధారించడం.

మీడియం పీడనం ప్రకారం వాక్యూమ్ కవాటాలను నాలుగు గ్రూపులుగా విభజించవచ్చు.
1) తక్కువ వాక్యూమ్ కవాటాలు: మధ్యస్థ పీడనం p=760~1 mmHg.
2)మీడియం వాక్యూమ్ వాల్వ్‌లు: p=1×10-3 mmHg.
3)అధిక వాక్యూమ్ వాల్వ్‌లు: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4)అల్ట్రా-హై వాక్యూమ్ వాల్వ్: p≤1×10-8 mmHg.

250 మిమీ కంటే తక్కువ పాసేజ్ వ్యాసంతో క్లోజ్డ్-సర్క్యూట్ వాల్వ్‌గా, విస్తృతంగా ఉపయోగించే కాండం అనేది లీనియర్ కదలికతో కూడిన వాక్యూమ్ బెలోస్ షట్-ఆఫ్ వాల్వ్.గేట్ కవాటాలు, అయితే, మరింత పరిమితం చేయబడ్డాయి, అయితే ఇది ప్రధానంగా పెద్ద వ్యాసాలకు సంబంధించినది.గోళాకార ప్లగ్ వాల్వ్‌లు (బాల్ వాల్వ్‌లు), ప్లంగర్ వాల్వ్‌లు మరియు బటర్‌ఫ్లై వాల్వ్‌లు కూడా అందుబాటులో ఉన్నాయి.వాక్యూమ్ వాల్వ్‌ల కోసం ప్లగ్ వాల్వ్‌లు ప్రోత్సహించబడలేదు ఎందుకంటే వాటికి చమురు సరళత అవసరం, చమురు ఆవిరిని వాక్యూమ్ సిస్టమ్‌లోకి ప్రవేశించడం సాధ్యమవుతుంది, ఇది అనుమతించబడదు.వాక్యూమ్ వాల్వ్‌లను ఫీల్డ్‌లో మానవీయంగా మరియు రిమోట్‌గా నియంత్రించవచ్చు, అలాగే విద్యుత్, విద్యుదయస్కాంత (సోలనోయిడ్ వాల్వ్‌లు), వాయుపరంగా మరియు హైడ్రాలిక్‌గా.