Назоратчии ҷараёни оммавӣ Метр CS200
Вижагиҳо
1. Дақиқии баланд ва вокуниши зуд
Аниқии CS200 MFC то ±1,0% SP беҳтар шудааст ва моделҳои пешрафта вақти вокуниши камтар аз 0,8 сонияро доранд.
2. Коэффисиенти пасти сифр ва ҳарорат
Ихтирои технологияи нави сенсорӣ ба CS200 MFC имкон медиҳад, ки суботро нигоҳ дорад ва ба тағирёбии ҳарорат тоб оварад.Бе пурқувваткунандаи худкори сифр, дрейфти сифри пешбинишаванда камтар аз 0,6% FS/сол ва коэффисиенти ҳарорат камтар аз 0,02% FS/℃(сифр)，0,05%FS/℃ (фосила) аст.
3. Моделҳои металлӣ мӯҳрдор ва Хусусияти тозагии баланд
Роҳи ҷараёни таршудаи хатти CS200 MFC аз пӯлоди зангногир дар сатҳи пассиватсия сохта шудааст.Ҳама CS200 MFC-ҳо дар утоқҳои тозаи синфи 100-и Sevenstar мувофиқи стандартҳои SEMI ва ISO 9001 ҷамъ карда мешаванд.
4. Интерфейсҳои мувофиқ
CS200 MFC бо интерфейсҳои зерин мувофиқ аст, ки метавонанд аз ҷониби фармоишгар интихоб карда шаванд: ± 8V-±16V таъминоти барқии дутарафа ва +14V-+28V таъминоти яктарафаи барқ;вуруд ва баромади сигнали рақамӣ ё аналогӣ;андозаҳои механикии стандартии SEMI;ва RS-485 ё модули алоқаи DeviceNet.
5. Вазифаҳои гуногун
Нармафзори пурқуввати муштарӣ бо ҳар як модел стандартӣ меояд, дар ҳоле ки функсияҳои иловагӣ ба монанди бисёрқабата, бисёрқабата, автомати сифр, ҳушдорҳо, оғози нарм ва таъхир ҳамчун интихоби муштариён дастрасанд.
Мушаххасот
| CS200 | |||||||
| Навъи | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Миқёси пурра (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Дақиқӣ | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Хатӣ | ±0,5% ФС | ||||||
| Такрорпазирӣ | ±0,2% FS | ||||||
| Вақти ҷавоб | ≤1 сония | ≤0,8 сония (SEMI E17-0600) | |||||
| Мавқеи истироҳати клапан | Одатан пӯшида ё | Клапан нест | Одатан пӯшида ё | Клапан нест | Одатан пӯшида ё | Клапан нест | |
| Одатан кушода (100 sccm≤FS≤5 slm) | Одатан кушода (100 sccm≤FS≤5 slm) | Одатан кушода (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Фишори дифференсиалӣ | 0,05～0,35МПа （Ҷараён≤10slm） | ＜0,02 МПа | (0,05～0,35) МПа（≤10slm） | ＜0,02 МПа | (0,05～0,35) МПа（≤10slm） | ＜0,02 МПа | |
| 0,1～0,35МПа（10слм＜Ҷараён≤30слм） | (0,1～0,35) МПа（＞10slm） | (0,1～0,35) МПа（＞10slm） | |||||
| 0,2～0,45МПа （Ҷараён＞30slm） | |||||||
| Фишори максималии корӣ | 0,45 МПа | |||||
| Ҳарорат | Сифр: ≤±0,05% FS/℃; | Сифр: ≤±0,02% FS/℃;Фосила: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Коэффисиент | Фосила: ≤±0.1% FS/℃（Ҷараён≤30slm） | |||||
| Фосила: ≤±0,2% FS/℃（Ҷараён>30slm） | ||||||
| Фишори исбот | 3МПа (435писг) | |||||
| Zero Drift | ＜0,6% FS дар як сол бе автоматӣ | |||||
| Беайбӣ | 1×10-9 atm·cc/s He | 1×10-10atm·cc/s He | ||||
| Маводҳои таршуда | Витон; | Металл? (Аз пӯлоди зангногир V/V, 5Ra) | Металл | |||
| Химияи рӯизаминӣ | —— | Таносуби Cr/Fe＞2,0;Ғафсӣ CrO＞20 Ангстром | ||||
| Андозаи рӯизаминӣ | 25Ра | 10Ра | 25Ра | |||
| Ҳарорати амалиёт | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Сигнали вуруд | Рақамӣ: RS485 ё ProfiBus | Не | Рақамӣ: RS485 ё ProfiBus ё DeviceNetTM | Не | Рақамӣ: RS485 ё ProfiBus ё DeviceNetTM | Не |
| ё DeviceNetTM | Аналогӣ: (0～5)VDC ё (4～20)мА ё (0～20)мА | Аналогӣ: (0～5)VDC ё (4～20)mA? ё (0～20)mA | |||||
| Аналогӣ: (0～5)VDC ё (4～20)мА ё (0～20)мА | |||||||
| Сигнали баромад | Рақамӣ: RS485 ё DeviceNetTM ё ProfiBus Analog:(0～5)VDC ё (4～20)мА ё (0～20)мА | ||||||
| Таъмини нерӯ | ±8 ~ ±16 VDC ё +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Пайвасткунаки электронӣ | 9 pin мард sub-D ， 15 пин мард sub-D ， DeviceNetTM,ProfiBus ， Аналогӣ | ||||||
| Фитингҳо | VCR1/4" M； VCO1/4” M； | VCR1/4" М; | |||||
| Васлкунаки компрессионїΦ10; Пайвасткунии фишурдањΦ6; | Васлкунаки фишурдасозӣΦ6, | ||||||
| Фишурдасозии фишурда 3/8”;Васлкунаки компрессорӣ 1/4"； | Васлкунаки фишурдасозӣΦ3, | ||||||
| Фишурдасозии фишурда 1/8”;Васлкунаки фишурдасозӣΦ3； | Васлкунаки компрессорӣ 1/4 ", | ||||||
| Ф6(дарунӣ)×1шланг;ф5(дарунӣ)×1,5шланг;ф4(дарунӣ)×1шланг; | В-мӯҳр, | ||||||
| А-саел; | C-мӯҳр | ||||||
| Вазн | 1кг | 0,8 кг | 1,2 кг | 1кг | 1,2 кг | 1кг | |
