เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลควบคุมการไหลของมวล CS200
คุณสมบัติ
1. ความแม่นยำสูงและการตอบสนองที่รวดเร็ว
ความแม่นยำของ CS200 MFC ได้รับการปรับปรุงเป็น ±1.0% ของ SP และรุ่นที่ทันสมัยที่สุดมีเวลาตอบสนองที่ลดลงน้อยกว่า 0.8 วินาที
2. ค่าสัมประสิทธิ์ดริฟท์และอุณหภูมิเป็นศูนย์ต่ำ
การประดิษฐ์เทคโนโลยีเซ็นเซอร์ใหม่ช่วยให้ CS200 MFC สามารถรักษาเสถียรภาพและทนต่อความผันผวนของอุณหภูมิได้หากไม่มีเครื่องขยายสัญญาณแบบศูนย์อัตโนมัติ ค่าเบี่ยงเบนศูนย์ที่คาดหวังจะน้อยกว่า 0.6%FS/ปี และค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิน้อยกว่า 0.02%FS/°C(ศูนย์),0.05%FS/ °C (ช่วง)
3. รุ่นปิดผนึกด้วยโลหะและคุณสมบัติที่มีความบริสุทธิ์สูง
เส้นทางการไหลแบบเปียกของสายการผลิต CS200 MFC สร้างขึ้นจากสเตนเลสสตีลที่ผ่านการเคลือบผิวCS200 MFC ทั้งหมดประกอบในห้องคลีนรูมระดับ ultraclean คลาส 100 ของ Sevenstar ตามมาตรฐาน SEMI และ ISO 9001
4. อินเทอร์เฟซที่เข้ากันได้
CS200 MFC เข้ากันได้กับอินเทอร์เฟซต่อไปนี้ ซึ่งลูกค้าอาจเลือกได้: แหล่งจ่ายไฟ double-end ±8V-±16V และแหล่งจ่ายไฟปลายเดี่ยว +14V-+28V;อินพุตและเอาต์พุตสัญญาณดิจิตอลหรืออนาล็อกขนาดทางกลมาตรฐาน SEMIและโมดูลการสื่อสาร RS-485 หรือ DeviceNet
5. ฟังก์ชั่นเบ็ดเตล็ด
ซอฟต์แวร์สำหรับลูกค้าที่มีประสิทธิภาพมาพร้อมกับมาตรฐานในแต่ละรุ่น ในขณะที่ฟังก์ชันเพิ่มเติม เช่น multi-gas, multi-range, auto-zero, สัญญาณเตือน, soft start และการหน่วงเวลามีให้เลือกตามตัวเลือกของลูกค้า
ข้อมูลจำเพาะ
| ซีเอส200 | |||||||
| พิมพ์ | ซีเอส200เอ | ซีเอส200ซี | ซีเอส200ดี | ||||
| ช่วงเต็มสเกล (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)เอสซีซีเอ็ม | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)เอสซีซีเอ็ม | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)สแอลเอ็ม | (0~1,2,3,5,10,20,30)สแอลเอ็ม | ||||||
| ความแม่นยำ | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(<35% FS) | ||||||
| ความเป็นเชิงเส้น | ±0.5% เอฟเอส | ||||||
| การทำซ้ำ | ±0.2% เอฟเอส | ||||||
| เวลาตอบสนอง | ≤1วินาที | ≤0.8 วินาที (กึ่ง E17-0600) | |||||
| ตำแหน่งที่วางวาล์ว | ปกติปิดหรือ | ไม่มีวาล์ว | ปกติปิดหรือ | ไม่มีวาล์ว | ปกติปิดหรือ | ไม่มีวาล์ว | |
| เปิดตามปกติ (100 sccm≤FS≤5 slm) | เปิดตามปกติ (100 sccm≤FS≤5 slm) | เปิดตามปกติ (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| ความดันแตกต่าง | 0.05~0.35MPa (การไหล≤10slm) | <0.02MPa | (0.05~0.35) เมกะปาสคาล (≤10slm) | <0.02MPa | (0.05~0.35) เมกะปาสคาล (≤10slm) | <0.02MPa | |
| 0.1~0.35MPa(10slm＜การไหล≤30slm) | (0.1~0.35) MPa(>10slm) | (0.1~0.35) MPa(>10slm) | |||||
| 0.2~0.45MPa (การไหล>30slm) | |||||||
| แรงดันใช้งานสูงสุด | 0.45MPa | |||||
| อุณหภูมิ | ศูนย์: ≤ ± 0.05% FS/℃; | ศูนย์: ≤ ± 0.02% FS/℃;ช่วง: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| ค่าสัมประสิทธิ์ | ช่วง: ≤±0.1% FS/℃ (การไหล≤30slm) | |||||
| ช่วง: ≤±0.2% FS/℃(ไหล>30slm) | ||||||
| พิสูจน์ความดัน | 3MPa (435pisg) | |||||
| ศูนย์ดริฟท์ | <0.6%FS ต่อปีโดยไม่มีศูนย์อัตโนมัติ | |||||
| ความสมบูรณ์ของการรั่วไหล | 1×10-9 atm·cc / วินาที | 1×10-10atm·cc / วินาที | ||||
| วัสดุเปียก | ไวตัน; | โลหะ?(สเตนเลส V/V, 5Ra) | โลหะ | |||
| เคมีพื้นผิว | —— | อัตราส่วน Cr/Fe > 2.0;ความหนา CRO > 20 อังสตรอม | ||||
| พื้นผิวเสร็จสิ้น | 25ร | 10ร | 25ร | |||
| อุณหภูมิในการทำงาน | （5~45）℃ | （0 ~ 50) ℃ | ||||
| สัญญาณอินพุต | ดิจิตอล: RS485 หรือ ProfiBus | ไม่มี | ดิจิตอล: RS485 หรือ ProfiBus หรือ DeviceNetTM | ไม่มี | ดิจิตอล: RS485 หรือ ProfiBus หรือ DeviceNetTM | ไม่มี |
| หรือ DeviceNetTM | อนาล็อก:(0~5)VDC หรือ (4~20)mA หรือ (0~20)mA | อนาล็อก:(0~5)VDC หรือ (4~20)mA?หรือ (0~20)mA | |||||
| อนาล็อก:(0~5)VDC หรือ (4~20)mA หรือ(0~20)mA | |||||||
| สัญญาณเอาท์พุต | ดิจิตอล: RS485 หรือ DeviceNetTM หรือ ProfiBus อะนาล็อก:(0~5)VDC หรือ (4~20)mA หรือ (0~20)mA | ||||||
| พาวเวอร์ซัพพลาย | ±8 ~ ±16 VDC หรือ +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| ขั้วต่ออิเล็กทรอนิกส์ | ตัวผู้ 9 พิน sub-D , ตัวผู้ 15 พิน sub-D , DeviceNetTM，ProfiBus, อนาล็อก | ||||||
| ฟิตติ้ง | VCR1/4” M; VCO1/4” M; | วีซีอาร์1/4” เอ็ม; | |||||
| ข้อต่อสวมอัดΦ10; ข้อต่อสวมอัดΦ6; | การบีบอัดกระชับΦ6, | ||||||
| ข้อต่อสวมอัด 3/8”;ข้อต่อสวมอัด1/4”; | การบีบอัดกระชับΦ3, | ||||||
| ข้อต่อสวมอัด1/8”;การบีบอัดกระชับΦ3; | ข้อต่อสวมอัด1/4”， | ||||||
| Ф6 (ด้านใน) × 1 ท่อ; ф5 (ด้านใน) × 1.5 ท่อ; ф4 (ด้านใน) × 1 ท่อ; | W-ซีล， | ||||||
| อาซาเอล ; | ซีซีล | ||||||
| น้ำหนัก | 1กก | 0.8กก | 1.2กก | 1กก | 1.2กก | 1กก | |
