ตัวควบคุมการไหลของมวล (MFC) ให้การวัดและการควบคุมการไหลของมวลของก๊าซที่แม่นยำ
I. อะไรคือความแตกต่างระหว่าง MFC และ MFM?
เครื่องวัดอัตราการไหลของมวล (MFM) เป็นเครื่องมือชนิดหนึ่งที่สามารถวัดการไหลของก๊าซได้อย่างแม่นยำ และค่าการวัดนั้นไม่แม่นยำเนื่องจากความผันผวนของอุณหภูมิหรือความดัน และไม่ต้องการการชดเชยอุณหภูมิและความดัน ตัวควบคุมการไหลของมวล (MFC) ไม่เพียงแต่ มีฟังก์ชั่นของเครื่องวัดการไหลของมวล แต่ที่สำคัญกว่านั้นสามารถควบคุมการไหลของก๊าซได้โดยอัตโนมัติ กล่าวคือ ผู้ใช้สามารถตั้งค่าการไหลได้ตามความต้องการ และ MFC จะรักษาค่าคงที่การไหลตามค่าที่ตั้งไว้โดยอัตโนมัติ แม้ว่า ความดันของระบบ ความผันผวนหรือการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิโดยรอบจะไม่ทำให้เบี่ยงเบนไปจากค่าที่ตั้งไว้ตัวควบคุมการไหลของมวลเป็นอุปกรณ์การไหลคงที่ ซึ่งเป็นอุปกรณ์การไหลคงที่ของแก๊สที่สามารถตั้งค่าด้วยตนเองหรือควบคุมอัตโนมัติโดยการเชื่อมต่อกับคอมพิวเตอร์มิเตอร์วัดอัตราการไหลของมวลวัดเพียงแต่ไม่ได้ควบคุมตัวควบคุมการไหลของมวลมีวาล์วควบคุมซึ่งสามารถวัดและควบคุมการไหลของก๊าซได้
ครั้งที่สองมีโครงสร้างอย่างไรและ.หลักการทำงาน?
1、 โครงสร้าง
2、หลักการทำงาน
เมื่อการไหลเข้าสู่ท่อไอดี การไหลส่วนใหญ่จะไหลผ่านช่องเปลี่ยนทิศทาง ซึ่งส่วนเล็กๆ จะเข้าสู่ท่อคาปิลลารีภายในเซ็นเซอร์เนื่องจากโครงสร้างพิเศษของ
ช่องเปลี่ยนทิศทางการไหลของก๊าซทั้งสองส่วนสามารถเป็นสัดส่วนโดยตรงเซ็นเซอร์ถูกอุ่นและให้ความร้อน และอุณหภูมิภายในจะสูงกว่าอุณหภูมิของอากาศเข้าในเวลานี้ การไหลของมวลของส่วนเล็กๆ ของก๊าซวัดโดยหลักการถ่ายเทความร้อนโดยท่อคาปิลลารี และหลักการวัดความร้อนของความแตกต่างของอุณหภูมิการไหลของก๊าซที่วัดด้วยวิธีนี้สามารถละเว้นผลกระทบของอุณหภูมิและความดันได้สัญญาณการวัดการไหลที่เซ็นเซอร์ตรวจพบจะถูกป้อนเข้าสู่แผงวงจรและขยายและส่งออก และฟังก์ชันของ MFM จะเสร็จสิ้นการเพิ่มฟังก์ชันควบคุมอัตโนมัติแบบวงปิด PID ให้กับแผงวงจร เปรียบเทียบสัญญาณการวัดการไหลที่วัดโดยเซ็นเซอร์กับสัญญาณที่ตั้งไว้โดยผู้ใช้ด้วยเหตุนี้ วาล์วควบคุมจึงถูกควบคุมเพื่อให้สัญญาณการตรวจจับการไหลเท่ากับสัญญาณที่ตั้งไว้ ดังนั้นจึงตระหนักถึงการทำงานของ MFC
สาม.แอพพลิเคชั่นและคุณสมบัติต่างๆ
MFC ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในสาขาต่างๆ เช่น: การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และ IC, วัสดุศาสตร์พิเศษ, อุตสาหกรรมเคมี, อุตสาหกรรมปิโตรเลียม, อุตสาหกรรมยา, การปกป้องสิ่งแวดล้อมและการวิจัยระบบสุญญากาศ ฯลฯ การใช้งานทั่วไป ได้แก่: อุปกรณ์กระบวนการไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เช่น การแพร่กระจาย , ออกซิเดชัน, เอพิแทกซี, CVD, การกัดด้วยพลาสมา, การสปัตเตอร์ริ่ง, การฝังไอออน;อุปกรณ์การสะสมสูญญากาศ การหลอมเส้นใยแก้วนำแสง อุปกรณ์ปฏิกิริยาขนาดเล็ก ระบบผสมและจับคู่แก๊ส ระบบควบคุมการไหลของเส้นเลือดฝอย แก๊สโครมาโตกราฟี และเครื่องมือวิเคราะห์อื่น ๆ
MFC นำความแม่นยำสูง การทำซ้ำที่ยอดเยี่ยม การตอบสนองที่รวดเร็ว การสตาร์ทแบบนุ่มนวล ความน่าเชื่อถือที่ดีขึ้น ช่วงแรงดันการทำงานที่หลากหลาย (การทำงานที่ดีในสถานการณ์แรงดันสูงและสุญญากาศ) การทำงานที่เรียบง่ายสะดวก การติดตั้งที่ยืดหยุ่น สามารถเชื่อมต่อกับพีซีเพื่อดำเนินการอัตโนมัติได้ ควบคุมระบบของผู้ใช้
IV.วิธีการตรวจสอบและจัดการกับฉอาการป่วย?
บริษัทของเรามีวิศวกรหลังการขายมืออาชีพ สามารถช่วยคุณแก้ปัญหาในการติดตั้งและใช้งาน
เวลาโพสต์: Jul-29-2022