ความรู้ – วาล์วสุญญากาศ

I. บทนำของวาล์ว
วาล์วสุญญากาศเป็นส่วนประกอบของระบบสุญญากาศที่ใช้ในการเปลี่ยนทิศทางการไหลของอากาศ ปรับขนาดการไหลของแก๊ส ตัดหรือต่อท่อในระบบสุญญากาศส่วนปิดของวาล์วสุญญากาศถูกปิดผนึกด้วยซีลยางหรือซีลโลหะ

ครั้งที่สองการใช้งานวาล์วสุญญากาศทั่วไป
วาล์วสุญญากาศ
ใช้ในอุปกรณ์ระบบสุญญากาศสูงหรือสูงพิเศษ เมื่อต้องรักษาสุญญากาศไว้ในระบบจัดการสุญญากาศแบบปิดวาล์วสุญญากาศใช้ในการควบคุมการไหลของอากาศเข้าไปในห้องสุญญากาศ แยก ระบายอากาศ ลดแรงดัน หรือควบคุมการนำไฟฟ้าวาล์วประตู วาล์วอินไลน์ และวาล์วมุมเป็นวาล์วสุญญากาศประเภททั่วไปที่ใช้สำหรับงานสุญญากาศสูงหรือสูงพิเศษวาล์วประเภทเพิ่มเติมได้แก่ วาล์วปีกผีเสื้อ วาล์วถ่ายโอน บอลวาล์ว วาล์วลูกตุ้ม วาล์วโลหะทั้งหมด วาล์วสุญญากาศ วาล์วมุมอะลูมิเนียม วาล์วสุญญากาศเคลือบเทฟลอน และวาล์วทางตรง

วาล์วปีกผีเสื้อ
เป็นวาล์วเปิดเร็วที่ประกอบด้วยแผ่นโลหะหรือใบพัดที่หมุนเป็นมุมฉากกับทิศทางการไหลในท่อ และเมื่อหมุนบนแกน วาล์วจะผนึกบ่าในตัววาล์ว

ทรานเฟอร์วาล์ว (วาล์วประตูสี่เหลี่ยม)
วาล์วแยกเหมาะสำหรับใช้ระหว่างห้องสุญญากาศที่ล็อคโหลดและห้องถ่ายโอน และระหว่างห้องถ่ายโอนและห้องแปรรูปในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์

บอลวาล์วสุญญากาศ
เป็นวาล์วไหลตรงแบบหมุนสี่รอบพร้อมชุดปิดแบบวงกลมพร้อมบ่าทรงกลมที่เข้ากันเพื่อความเค้นในการซีลสม่ำเสมอ

วาล์วลูกตุ้ม
เป็นวาล์วปีกผีเสื้อขนาดใหญ่ที่ติดตั้งอยู่ระหว่างห้องสุญญากาศของกระบวนการและทางเข้าปั๊มโมเลกุลเทอร์โบโดยทั่วไปแล้ววาล์วลูกตุ้มสุญญากาศเหล่านี้ได้รับการออกแบบให้เป็นวาล์วเกทหรือลูกตุ้มสำหรับการใช้งานต่างๆ รวมถึงระบบการผลิตทางอุตสาหกรรม OLED, FPD และ PV

วาล์วโลหะทั้งหมด
ออกแบบมาเพื่อใช้ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงเป็นพิเศษซึ่งมีอุณหภูมิสูงทำให้ไม่สามารถใช้อีลาสโตเมอร์และโลหะปะเก็นไครโอเจนิกได้วาล์วโลหะทั้งหมดที่อบได้ให้การซีลที่อุณหภูมิสูงที่เชื่อถือได้ตั้งแต่ความดันบรรยากาศจนถึงต่ำกว่า 10-11 มิลลิบาร์

วาล์วสุญญากาศ
ทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือในระบบการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และในการใช้งานที่มีการปนเปื้อนสารเคมีและอนุภาคสามารถใช้ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศหยาบ สุญญากาศสูง หรือสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงพิเศษ

วาล์วมุมอลูมิเนียม
ทางเข้าและทางออกของวาล์วเหล่านี้ทำมุมฉากกันวาล์วมุมเหล่านี้ทำจากอะลูมิเนียม A6061-T6 และใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเครื่องมือวัด การวิจัยและพัฒนา และระบบสุญญากาศทางอุตสาหกรรมสำหรับการใช้งานหยาบถึงสุญญากาศสูง

วาล์วสูญญากาศเคลือบเทฟลอนเป็นอุปกรณ์ส่วนประกอบสูญญากาศสแตนเลสที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเต็มรูปแบบพร้อมการเคลือบที่ทนทานและทนต่อสารเคมีสูง

สาม.ลักษณะของวาล์วสุญญากาศ
ความดันต่ำกว่าความดันบรรยากาศ และความดันตกคร่อมแผ่นวาล์วต้องไม่เกิน 1 กก.แรง/ซม.อุณหภูมิในการทำงานของตัวกลางขึ้นอยู่กับกระบวนการของอุปกรณ์ที่ใช้โดยทั่วไปอุณหภูมิจะไม่เกินช่วง -70 ~ 150°Cข้อกำหนดพื้นฐานที่สุดสำหรับวาล์วดังกล่าวคือเพื่อให้แน่ใจว่าการเชื่อมต่อมีความหนาแน่นสูงและความหนาแน่นของโครงสร้างและวัสดุปะเก็น

ตามวาล์วสุญญากาศแรงดันปานกลางสามารถแบ่งออกเป็นสี่กลุ่ม
1) วาล์วสุญญากาศต่ำ: ความดันปานกลาง p=760~1 mmHg
2) วาล์วสุญญากาศขนาดกลาง: p=1×10-3 mmHg
3) วาล์วสุญญากาศสูง: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg
4) วาล์วสุญญากาศสูงพิเศษ: p≤1×10-8 mmHg

เนื่องจากวาล์ววงจรปิดที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางทางเดินน้อยกว่า 250 มม. ก้านที่ใช้กันอย่างแพร่หลายคือวาล์วปิดเครื่องสูบลมสุญญากาศที่มีการเคลื่อนที่เชิงเส้นอย่างไรก็ตาม วาล์วประตูนั้นมีข้อจำกัดมากกว่า แต่ส่วนใหญ่มีไว้สำหรับเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่นอกจากนี้ยังมีปลั๊กวาล์วทรงกลม (บอลวาล์ว) วาล์วลูกสูบ และวาล์วปีกผีเสื้อปลั๊กวาล์วสำหรับวาล์วสุญญากาศไม่ได้รับการส่งเสริมเนื่องจากต้องใช้การหล่อลื่นด้วยน้ำมัน ทำให้ไอน้ำมันเข้าสู่ระบบสุญญากาศได้ ซึ่งไม่ได้รับอนุญาตวาล์วสุญญากาศสามารถควบคุมได้ด้วยตนเองและจากระยะไกลในภาคสนาม เช่นเดียวกับระบบไฟฟ้า แม่เหล็กไฟฟ้า (โซลินอยด์วาล์ว) ระบบนิวแมติกและไฮดรอลิก