การยืดอายุปั๊มโมเลกุลต้องมีความรู้เหล่านี้!

Beijing Super Q Technology Co., Ltd. มีปั๊มโมเลกุลแบบหล่อลื่นด้วยน้ำมันซีรีส์ EV 600L, 1200L, 1600L และปั๊มโมเลกุลประเภทกังหัน 3600L;ปั๊มโมเลกุลผสมจาระบี 300L, 650L, 1300L, 2000Lบทความนี้มุ่งเน้นไปที่การอธิบายคุณลักษณะ การติดตั้ง การใช้งาน และการบำรุงรักษาปั๊มโมเลกุลผสมจาระบีหล่อลื่นซีรีย์ EV-Z

ลักษณะโครงสร้าง

ปั๊มโมเลกุลจาระบีซีรีย์ EV ใช้ตลับลูกปืนเซรามิกที่มีความแม่นยำนำเข้า โรเตอร์ปั๊มผ่านสมดุลแบบไดนามิก การทำงานที่มั่นคงและเชื่อถือได้ มอเตอร์สามเฟสกรงกระรอกมอเตอร์ การหล่อลื่นแบริ่งด้วยการหล่อลื่นจาระบี สามารถติดตั้งในทิศทางใดก็ได้

การติดตั้งและการใช้งาน

I. เกี่ยวกับ ความดันสูงสุด

“แรงดันสูงสุด” ของปั๊มโมเลกุลนั้นอิงตามมาตรฐานสากล ISO “วิธีทดสอบประสิทธิภาพของปั๊มเทอร์โบโมเลกุล” หลังจากการอบตัวปั๊มและฝาครอบทดสอบจนเต็มที่ (การอบแห้งและไล่ก๊าซเป็นเวลา 48 ชั่วโมง) ความดันต่ำสุดที่วัดได้ที่ ตำแหน่งที่ระบุของฝาครอบทดสอบค่าความดันในการใช้งานจริง ค่าของ 'แรงดันจำกัด' จะสัมพันธ์กับแรงดันใช้งานและความเร็วการสูบที่มีประสิทธิภาพของปั๊มสำรองที่กำหนดค่าไว้การเลือกปั๊มสำรองที่มีสมรรถนะสูงกว่าจะเป็นประโยชน์อย่างยิ่งในการได้สุญญากาศที่สูงขึ้นและลดเวลาไอเสีย

นอกจากนี้ เนื่องจากลักษณะเฉพาะของหลักการไอเสียของปั๊มโมเลกุล ช่องอากาศเข้าของปั๊มจึงต้องกว้างที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ และเส้นทางก๊าซจากห้องสุญญากาศไปยังพอร์ตปั๊มโมเลกุลควรหลีกเลี่ยงการหมุนให้มากที่สุด เป็นไปได้เพื่อให้ปั๊มโมเลกุลมีประสิทธิภาพดีที่สุดและรับประกันสุญญากาศขั้นสูงสุดที่สูงขึ้น

II.การติดตั้ง

2.1 เปิดแพ็คเกจ

ก่อนการติดตั้ง ให้ตรวจสอบว่าปั๊มโมเลกุลได้รับความเสียหายระหว่างการขนส่งหรือไม่

วิธีการมีดังนี้: ดูคำแนะนำการจ่ายไฟของปั๊มโมเลกุล เชื่อมต่ออย่างถูกต้องกับปั๊มโมเลกุล ไม่ต้องผ่านน้ำหรือสูญญากาศ สตาร์ทปั๊มโมเลกุล และตรวจสอบว่ากำลังทำงานอยู่หรือไม่ และมีอยู่หรือไม่ เสียงผิดปกติหากมีความผิดปกติใดๆ ให้กดสวิตช์หยุดให้ทันเวลาเพื่อหยุดปั๊มหมายเหตุ: ความถี่ของกำลังไฟฟ้าไม่ควรสูงกว่า 25Hz ในระหว่างการทดลองใช้งาน

2.2 การเชื่อมต่อหน้าแปลนสุญญากาศสูง

การเชื่อมต่อของปั๊มโมเลกุลสามารถยกโดยหน้าแปลนสุญญากาศสูงหรือยึดไว้บนฐานปั๊มโมเลกุลต้องได้รับการแก้ไขเมื่อเชื่อมต่อหน้าแปลนสุญญากาศสูงของปั๊มโมเลกุลเข้ากับระบบผ่านเครื่องสูบลมโลหะ

(พื้นผิวซีลหน้าแปลนไม่มีรอยขีดข่วน และจะต้องไม่มีอะไรบนวงแหวนซีล)

2.3  การเชื่อมต่อสูญญากาศส่วนหน้า

ควรติดตั้งวาล์วแยกและวาล์วระบายอากาศระหว่างปั๊มสูบหน้าและปั๊มโมเลกุล เพื่อป้องกันไม่ให้ปั๊มเชิงกลส่งน้ำมันกลับหลังปิดเครื่อง

2.4 การเชื่อมต่ออุปกรณ์ชาร์จแก๊ส

เพื่อให้มีสภาพแวดล้อมสูญญากาศที่สะอาด หลังจากที่ปั๊มโมเลกุลหยุดทำงานแล้ว ระบบสูญญากาศสามารถเติมไนโตรเจนหรืออากาศแห้งได้โดยทั่วไป วาล์วระบายอากาศสามารถเชื่อมต่อกับท่อด้านหน้า หรือใช้วาล์วสุญญากาศสูงเพื่อระบายแก๊สที่ปลายสุญญากาศสูง

สาม.การเชื่อมต่อระบบทำความเย็น

เนื่องจากแรงเสียดทานในการหมุนด้วยความเร็วสูงของแบริ่ง ความร้อนของตัวปั๊ม และอุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นของมอเตอร์ แบริ่งและมอเตอร์จะต้องระบายความร้อนเมื่อปั๊มโมเลกุลทำงานโดยทั่วไปจะใช้การระบายความร้อนด้วยอากาศ และการระบายความร้อนด้วยน้ำจะใช้เมื่ออุณหภูมิแวดล้อมสูงกว่า 38°Cท่อน้ำอ่อนที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 10 มม. สามารถเชื่อมต่อโดยตรงกับช่องเติมน้ำและทางออกของปั๊มโมเลกุลใช้ระบบน้ำหมุนเวียนที่มีน้ำบริสุทธิ์ และสามารถใช้น้ำประปาที่มีปริมาณน้ำฝนต่ำได้ (อุณหภูมิของน้ำต้องเป็น ≤28°C)

การหยุดน้ำโดยไม่ได้ตั้งใจหรืออุณหภูมิของน้ำที่สูงจะทำให้เซ็นเซอร์อุณหภูมิของตัวปั๊มโมเลกุลทำงาน และแหล่งจ่ายไฟจะแจ้งเตือนทันทีและหยุดเอาท์พุต

มีช่วงเวลาประมาณ 15 นาที (ระยะเวลาที่กำหนดขึ้นอยู่กับอัตราการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิ) หลังจากที่น้ำหยุดโดยไม่คาดคิดหรืออุณหภูมิของน้ำสูงเกินไปจนกระทั่งปั๊มโมเลกุลส่งสัญญาณเตือนเนื่องจากความร้อนสูงเกินไป

IV.การอบ

แรงดันสูงสุดขึ้นอยู่กับความสะอาดภายในปั๊มและเส้นทางสุญญากาศรวมถึงห้องสุญญากาศด้วยเพื่อให้ได้แรงดันสูงสุดในเวลาอันสั้นที่สุด ต้องอบระบบสุญญากาศและปั๊มโมเลกุลการอบควรดำเนินการโดยที่ปั๊มโมเลกุลทำงานตามปกติ

อุณหภูมิการอบของปั๊มโมเลกุลควรต่ำกว่า 80°C หน้าแปลนสุญญากาศสูงที่เชื่อมต่อกับพอร์ตปั๊มไม่ควรสูงกว่า 120°C และอุณหภูมิการอบของระบบสุญญากาศโดยทั่วไปจะน้อยกว่า 300°Cของความเสียหาย

เวลาในการอบขึ้นอยู่กับระดับมลภาวะของระบบและปั๊มโมเลกุล และขีดจำกัดแรงดันใช้งานที่คาดหวัง แต่เวลาขั้นต่ำไม่ควรน้อยกว่า 4 ชั่วโมง

โดยหลักการแล้ว เพื่อให้ได้สุญญากาศ 10-4Pa ไม่จำเป็นต้องอบเพื่อให้ได้สุญญากาศ 10-5Pa การอบระบบสุญญากาศเท่านั้นก็เพียงพอแล้วเพื่อให้ได้สุญญากาศสูงเป็นพิเศษ ระบบสุญญากาศและปั๊มโมเลกุลมักจะต้องอบพร้อมกันระบบการวัดควรจะอบอย่างสมบูรณ์ มิฉะนั้นจะส่งผลต่อความถูกต้องของข้อมูลการวัดเนื่องจากมีการปล่อยก๊าซออกมา

V.การดำเนินการ

ยืนยันว่าพรีสุญญากาศดีกว่า 15Pa กดปุ่ม RON เพื่อเริ่มปั๊มโมเลกุล และกดปุ่ม STOP เพื่อหยุดหลังการใช้งานความสนใจ!ต้องใช้กุญแจซอฟต์สตาร์ทสำหรับการใช้งานครั้งแรกหรือนำมาใช้ใหม่หลังจากไม่ได้ใช้งานเป็นเวลานานการดำเนินการสตาร์ทแบบนุ่มนวลมีดังนี้: สุญญากาศระยะปัจจุบันดีกว่า 15Pa และกดปุ่มสตาร์ทแบบนุ่มนวลหลังจากผ่านไป 110 นาที ปั๊มโมเลกุลจะถึงความถี่ในการทำงานที่ 550Hz (550Hz สอดคล้องกับปั๊มโมเลกุล EV300Z, 400Hz สอดคล้องกับ EV650Z, 1300Z, 2000 ปั๊มโมเลกุล) จากนั้นกดปุ่มเริ่มต้นแบบนุ่มนวล (ปุ่มอยู่ด้านบน) เพื่อหยุดการทำงานแบบนุ่มนวล เริ่ม.

(ในระหว่างการทำงานปกติของปั๊มโมเลกุล ห้ามพกพา เคลื่อนย้าย หรือเติมอากาศ)

VI.การบำรุงรักษาและการซ่อมแซม

6.1 การทำความสะอาดปั๊ม

เมื่ออัตราการรั่วของอากาศและการกำจัดของระบบสุญญากาศไม่เปลี่ยนแปลง และประสิทธิภาพการทำงานของสุญญากาศไม่สามารถกลับคืนมาได้แม้จะผ่านการอบเป็นเวลานาน หรือเมื่อปั๊มสำรองส่งน้ำมันกลับอย่างรุนแรง ควรทำความสะอาดปั๊ม

（หากจำเป็นต้องซ่อมแซมและทำความสะอาดปั๊ม จะต้องถอดประกอบโดยช่างมืออาชีพหากถอดประกอบโดยไม่ได้รับการฝึกอบรม ผลที่ตามมาจะเป็นความเสี่ยงของคุณเอง)

6.2  เปลี่ยนลูกปืน

เนื่องจากปั๊มต้องมีความสมดุล ผู้ใช้จึงไม่สามารถเปลี่ยนตลับลูกปืนได้

6.3 ป้องกันการกระแทก

ปั๊มโมเลกุลเป็นเครื่องหมุนด้วยความเร็วสูงช่องว่างระหว่างแผ่นเคลื่อนที่และแผ่นคงที่มีขนาดเล็กมากและไม่สามารถทนต่อแรงกระแทกที่มากเกินไปได้ความเร็วและความเร่งของพาหะที่กำลังเคลื่อนที่เมื่อสัมผัสกับมันควรถูกจำกัดนอกจากนี้ ผลกระทบอย่างกะทันหันของปริมาตรบรรยากาศและการตกของวัตถุแข็งภายนอกระหว่างการทำงานปกติของปั๊มโมเลกุลก็จะทำให้เกิดความเสียหายร้ายแรงต่อปั๊มโมเลกุลด้วย

6.4 การแยกการสั่นสะเทือน

โดยปกติแล้ว ปั๊มโมเลกุลได้รับการทดสอบอย่างเข้มงวด และการสั่นสะเทือนมีขนาดเล็กมาก และสามารถเชื่อมต่อโดยตรงกับระบบปั๊มได้สำหรับการใช้งานเครื่องมือที่มีความแม่นยำสูง (เช่น กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน ฯลฯ) ขอแนะนำให้ใช้ตัวแยกการสั่นสะเทือนเพื่อลดผลกระทบของการสั่นสะเทือนต่อเครื่องมือ

6.5 การป้องกันสนามแม่เหล็กที่แข็งแกร่ง

โรเตอร์ที่หมุนอยู่จะสร้างกระแสเอ็ดดี้ในสนามแม่เหล็ก ซึ่งจะทำให้โรเตอร์ร้อนขึ้นเนื่องจากความร้อนจะทำให้ความแข็งแรงของวัสดุอะลูมิเนียมอ่อนลง การใช้งานปั๊มโมเลกุลในสนามแม่เหล็กจึงถูกจำกัดในระดับหนึ่ง

6.6 การรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้า

เครื่องมือความถี่สูงบางชนิด เช่น ปั๊มโมเลกุลและเครื่องแปลงความถี่ อาจทำให้เกิดการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้าต่อสิ่งแวดล้อมโดยรอบแต่ในกรณีที่ได้มาตรฐานสากล การใช้งานปั๊มโมเลกุลจะไม่จำกัดหากเป็นไปตามข้อกำหนด ควรออกใบรับรองที่เกี่ยวข้องพร้อมกัน

6.7 ข้อ จำกัด ของกัมมันตภาพรังสีที่รุนแรง

วัสดุส่วนใหญ่จะเปลี่ยนคุณสมบัติในสภาพแวดล้อมที่มีกัมมันตภาพรังสีสูง โดยเฉพาะวัสดุอินทรีย์ (เช่น น้ำมันปั๊มโมเลกุล วงแหวนซีล) และส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ปั๊มโมเลกุลสามารถต้านทานความเข้มของรังสี 105radด้วยการเลือกวัสดุป้องกันกัมมันตภาพรังสีและการใช้แหล่งจ่ายไฟที่ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์ จึงสามารถปรับปรุงความแข็งแรงในการป้องกันรังสีได้เมื่อทำการปั๊มไอโซโทป เพื่อป้องกันไม่ให้ไอโซโทปธาตุกัมมันตภาพรังสีหลุดออกสู่ชั้นบรรยากาศ วงแหวนปิดผนึกทั้งหมดในปั๊มโมเลกุลจะต้องทำจากวัสดุโลหะ

6.8 ปั๊มหน้า

ที่ปลายแรงดันสูงของกราฟประสิทธิภาพของปั๊มโมเลกุล ความดันทางเข้ามีช่วงตั้งแต่ประมาณ 200 Pa ถึง 10-1 Pa ซึ่งครอบคลุมขนาดสามลำดับเส้นทางอิสระของโมเลกุลก๊าซเฉลี่ยจะเล็กลง และผลการปั๊มเริ่มลดลงดังนั้นในโซนการเปลี่ยนผ่าน ยิ่งใช้ปั๊มสำรองมากเท่าไร ความเร็วในการปั๊มของปั๊มโมเลกุลก็จะยิ่งมากขึ้นเท่านั้นปั๊มสูบหน้าควรมีอย่างน้อยไม่ต่ำกว่า 3 ลิตร/วินาที

ข้อผิดพลาดทั่วไปและการแก้ไขปัญหา

ปั๊มโมเลกุลแบบผสมจาระบี EV-Z ซีรีส์เป็นปั๊มสุญญากาศเชิงกลที่ให้การสกัดอากาศผ่านการหมุนด้วยความเร็วสูงของใบพัดกังหันแบบไดนามิกและแบบคงที่หลายขั้นตอนปั๊มเทอร์โบโมเลกุลมีคุณลักษณะของความเร็วในการปั๊มสูงและอัตราส่วนการอัดสูงในบริเวณการไหลของโมเลกุล และประหยัดพลังงานมากกว่าปั๊มแบบแพร่ และไม่มีมลพิษจากน้ำมันและไอน้ำปั๊มโมเลกุลแบบผสมจาระบี EV ซีรีส์เป็นปั๊มโมเลกุลที่มีความเร็วปั๊มสูงสุด 100 คาลิเบอร์ในประเทศจีน

ปั๊มโมเลกุลนี้ไม่มีการเลือกสรรและไม่มีผลกระทบต่อหน่วยความจำต่อก๊าซที่จะสูบเนื่องจากอัตราส่วนการอัดสูงของก๊าซที่มีน้ำหนักโมเลกุลขนาดใหญ่ ปั๊มจึงได้สุญญากาศสูงและสุญญากาศที่สะอาดและสูงเป็นพิเศษ โดยไม่ต้องใช้กับดักความเย็นและแผ่นกั้นน้ำมัน.มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านอิเล็กทรอนิกส์ โลหะวิทยา อุตสาหกรรมเคมี การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ และเทคโนโลยีสูญญากาศ