เครื่องควบคุมการไหลของมวลก๊าซความร้อน (MFC)
ที่rmสาหร่ายmตูดfต่ำmeter(Mเอฟเอ็ม)คือkดัชนีofaccuratemeอาซูอีกครั้งเอนทอฟgasflow,the meอาซูredvalไม่เป็นไรnโอตคอนโทรlleดีบี้fลุคtuatioซินอุณหภูมิเปราtใช่แล้วessครับ ไม่จำเป็นtเฮ้ompensationoftอีเอ็มพีratใช่แล้วandpressure.
| แบบอย่าง | SQC-100 |
| ช่วงการไหล (N2) | 0~5,10,20,30 ,50 ,100 ,200,500SCCM |
| 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| ความแม่นยำ | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| ประเภทไดรฟ์วาล์ว | ปกติปิด |
| ความเป็นเชิงเส้น | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| การทำซ้ำ | ±0.2%เอฟเอส |
| เวลาตอบสนอง | ≤1วินาที |
| สัญญาณอินพุต/เอาต์พุต | 0~5V |
| ข้อต่อไฟฟ้า | พิน DB15 (เข็ม) |
| อุณหภูมิการดำเนินงาน | 5~45℃ |
| พื้นฐานดิฟเฟอเรนเชียล | 0.05~0.5MPa (MFC); 0.03~3.0MPa (MFM) |
| อัตราการรั่วไหล | 1×10-8SCCS (เขา) |
| สูงสุดความดัน | 3เมกะปาสคาล |
| วัสดุขนาดกลาง | 316L SS และวัสดุปิดผนึก |
| วัสดุปิดผนึก | ไวตัน, ยางซิลิโคน, NBR, เทฟลอน, ซีลโลหะ |
| ขนาดข้อต่อ | วีซีอาร์ 1/4”;สวาเกลอค 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6มม. |
| พาวเวอร์ซัพพลาย | +15V,50mA;-15V,200mA |
| แบบอย่าง | SQC-200 |
| ช่วงการไหล (N2) | MFC：0~20，30 ，50 ，100 ，150， 200SLM |
| MFM：0~20 ，30 ，50，100 ，150， 200 ，250，300SLM | |
| ความแม่นยำ | ±2％เอฟเอส |
| ประเภทไดรฟ์วาล์ว | ปกติปิด |
| ความเป็นเชิงเส้น | ±2％เอฟเอส |
| การทำซ้ำ | ±0.2%เอฟเอส |
| เวลาตอบสนอง | ≤5วินาที |
| สัญญาณอินพุต/เอาต์พุต | 1~5V;4~20mA |
| ข้อต่อไฟฟ้า | พิน DB15 (เข็ม) |
| อุณหภูมิการดำเนินงาน | 5~45℃ |
| พื้นฐานดิฟเฟอเรนเชียล | 0.1~0.3MPa(MFC); 0.05~3.0MPa (MFM) |
| อัตราการรั่วไหล | 1×10-8SCCS (เขา) |
| สูงสุดความดัน | 3เมกะปาสคาล |
| วัสดุขนาดกลาง | 316L SS และวัสดุปิดผนึก |
| วัสดุปิดผนึก | ไวตัน, ยางซิลิโคน, NBR, ERP, เทฟลอน |
| ขนาดข้อต่อ | Swagelok 3/8” 、1/2”; φ8、φ10、φ12มม |
| พาวเวอร์ซัพพลาย | 24V,0.5A |
เขียนข้อความของคุณที่นี่แล้วส่งมาให้เรา
