EV seriýaly birleşýän molekulýar nasoslar
EV seriýaly tehniki maglumatlar
Model | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Giriş flanes (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Flanes (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
Nasos tizligi (L / S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Gysyş gatnaşygy | N2 | > 109 | > 109 | > 109 | |||
H2 | > 8X103 | > 1X104 | > 1X104 | ||||
Ultimate vakuum (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
Aýlanma tizligi (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Wibrasiýa | ≤0.1 μm | ≤0.1 μm | ≤0.15 μm | ||||
Iş wagty (min) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
Yzky nasos | 4-8 L / S. | 8-15 L / S. | 15 L / S. | ||||
Sowuklama usuly | Suw (howa) sowatmak | Suw (howa) sowatmak | Suw (howa) sowatmak | ||||
Sowuk suw temperaturasy (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Daşky gurşawyň temperaturasy (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Sowadyjy suw akymynyň mukdary | 1-2 L / min | 1-2 L / min | 1-2 L / min | ||||
Bişen temperatura (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Ateryladyjy güýji (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Ateryladyjy giriş naprýa .eniýesi (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Gurnamak | Dik dik ± 5 ° | Dik dik ± 5 ° | Dik dik ± 5 ° | ||||
Agramy (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Birleşmäniň atmosfera nasos egri
Molekulýar nasos
Azotyň we wodorodyň gatnaşygy egrini gysmak
birleşýän molekulýar nasos bilen
EV seriýaly gurnama ölçeg Goşma molekulýar nasosyň tablisasy
Model | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Giriş flanes (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | 80180 | Φ253 | 40240 | Φ305 | 90290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.9 | ¨183.9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Nasos aýagy | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Flanes (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV seriýasy Howany sowadýan birleşme Molekulýar nasoslar
EV seriýaly howa bilen sowadylan birleşýän molekulýar nasos turbomolekulýar nasosdan we disk çekiş nasosyndan durýar.Turbomolekulýar nasosyň molekulýar akymy üçin ýokary nasos tizligi we gysyş gatnaşygy, ýokary nasos tizligi we çekiş nasosynyň ýokary basyşy üçin gysyş gatnaşygy aýratynlyklary bar we molekulýar nasosyň ulanylyş gerimini giňeldýär.
Goşma molekulýar nasosyň nasos gazyna saýlama we ýat täsiri ýok.Uly molekulýar agramly gaz bilen ýokary gysyş gatnaşygy sebäpli nasos sowuk duzak we ýag päsgelçiliksiz arassa ýokary we ultra ýokary wakuumy alyp biler.Elektronikanyň, metallurgiýanyň, himiýa senagatynyň, ylmy gözlegleriň we wakuum tehnologiýasynyň dürli ugurlarynda giňden ulanylýar.
Model | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Giriş flanes (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | 80180 | Φ253 | 40240 | Φ305 | 90290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.8 | ¨183.8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Nasos aýagy | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |