Köpçülikleýin akym gözegçileri （MFC) gazlaryň köpçülikleýin akymyna takyk ölçeg we gözegçilik edýär.
I. MFC bilen MFM arasynda näme tapawut bar?
Köpçülikleýin akym ölçeýjisi (MFM), gaz akymyny takyk ölçän guralyň bir görnüşidir we temperaturanyň ýa-da basyşyň üýtgemegi sebäpli ölçeg gymmaty nädogry däl, temperatura we basyş öwezini dolmagy talap etmeýär. Köpçülikleýin akym gözegçisi (MFC) köpçülikleýin akym ölçeg funksiýasyna eýedir, ýöne has möhümi, gaz akymyny awtomatiki dolandyryp biler, ýagny ulanyjy akymy zerurlyklaryna görä kesgitläp biler we MFC akymy awtomatiki usulda kesgitlenen bahada saklaýar, hatda ulgam basyşy Daşky gurşawyň üýtgemegi ýa-da üýtgemegi, kesgitlenen bahadan sowulmagyna sebäp bolmaz.Köpçülikleýin akym gözegçisi, el bilen sazlap ýa-da kompýuter bilen baglanyşyk arkaly awtomatiki dolandyrylyp bilinýän gaz durnukly akym enjamydyr.Köpçülikleýin akym hasaplaýjylary diňe ölçýärler, ýöne gözegçilik etmeýärler.Köpçülikleýin akym gözegçisinde gaz akymyny ölçäp we dolandyryp bilýän dolandyryş klapany bar.
II.Gurluşy näme weiş prinsipi?
1 ucture Gurluşy
2 、 Amal ýörelgesi
Akym kabul ediş turbasyna girende, akymyň köp bölegi diwaryň kanalyndan geçýär, onuň az bölegi datçigiň içindäki kapilýar turbasyna girýär.Specialörite gurluşy sebäpli
bölüji kanal, gaz akymynyň iki bölegi göni proporsional bolup biler.Sensor gyzdyrylýar we gyzdyrylýar, içindäki temperatura giriş howasynyň temperaturasyndan has ýokary.Bu döwürde gazyň kiçi böleginiň köpçülikleýin akymy kapilýar turbasy bilen ýylylyk geçiriş prinsipi we temperatura tapawudynyň kalorimetriýa prinsipi bilen ölçelýär.Bu usul bilen ölçenen gaz akymy, temperaturanyň we basyşyň täsirini äsgermezlik edip biler.Sensor tarapyndan ýüze çykarylan akymy ölçemek signaly zynjyr tagtasyna giriş we güýçlendirilen we çykyş bolup, MFM-iň işi tamamlanýar.Zynjyr tagtasyna PID ýapyk aýlawly awtomatiki dolandyryş funksiýasyny goşmak, datçik bilen ölçenen akym ölçeg signalyny ulanyjy tarapyndan berlen signal bilen deňeşdiriň.Şundan ugur alyp, akymy kesgitlemek signaly kesgitlenen signala deň bolar ýaly dolandyryş klapan dolandyrylýar, şeýlelik bilen MFC-iň işine düşünýär.
III.Goýmalar we aýratynlyklar.
MFC the ýaly ugurlarda giňden ulanylýar: ýarymgeçiriji we IC ýasama, ýörite materiallar ylmy, himiýa senagaty, benzin senagaty, derman senagaty, daşky gurşawy goramak we wakuum ulgamy gözleg we ş.m. .. Adaty programmalar: diffuziýa ýaly mikroelektron enjamlary; , okislenme, epitaksiýa, CVD, plazma çişmegi, tüýkürmek, ion implantasiýasy;wakuum çöketlik enjamlary, optiki süýümi eritmek, mikro reaksiýa enjamlary, garyşyk we gabat gelýän gaz ulgamy, kapilýar akymyna gözegçilik ulgamy, gaz hromatografy we beýleki seljeriş gurallary.
MFC ýokary takyklygy, ajaýyp gaýtalanmagy, çalt jogap bermek, ýumşak başlangyç, has ygtybarlylyk, dürli görnüşli basyş (ýokary basyş we wakuum ýagdaýlarynda gowy işlemek), ýönekeý amatly iş, çeýe gurnama, awtomatiki ýerine ýetirmek üçin kompýuter bilen birikmek mümkinçiligini getirýär ulanyjylaryň ulgamyna gözegçilik.
IV.F bilen nädip kesgitlemeli we nähili işlemelikesel?
Kompaniýamyz, satuwdan soň hünärmen inerener, gurnamakda we ulanmakda kynçylyklary çözmäge kömek edip biler.
Iş wagty: Iýul-29-2022