Bilim - Wakuum klapanlary

I. Klapan
Wakuum klapan howa akymynyň ugruny üýtgetmek, gaz akymynyň ululygyny sazlamak, turbany vakuum ulgamynda kesmek ýa-da birikdirmek üçin ulanylýan vakuum ulgamynyň düzüm bölegi.Wakuum klapanyň ýapylýan bölekleri rezin möhür ýa-da metal möhür bilen möhürlenendir.

II.Umumy vakuum klapan programmalary.
Wakuum klapanlary
Wakuum ýapyk vakuum işleýiş ulgamynda saklanmaly bolanda ýokary ýa-da aşa ýokary vakuum ulgamy enjamlarynda ulanylýar.Wakuum klapanlary wakuum kamerasyna howa akymyny gözegçilikde saklamak, izolirlemek, vent etmek, basyşy azaltmak ýa-da gözegçilik geçirijisini üpjün etmek üçin ulanylýar.Derwezeli klapanlar, Içki klapanlar we burç klapanlary ýokary ýa-da aşa ýokary wakuum programmalary üçin ulanylýan vakuum klapanlarynyň iň köp ýaýran görnüşleridir.Goşmaça klapan görnüşlerine kebelek klapanlary, geçiriji klapanlar, top klapanlary, maýatnik klapanlary, ähli metal klapanlar, wakuum klapanlary, alýumin burç klapanlary, Teflon bilen örtülen vakuum klapanlary we göni klapanlar girýär.

Kebelek klapanlary
turbadan akymyň ugruna dogry burçlarda ýerleşýän demir disklerden ýa-da mikroawtobuslardan ybarat çalt açylýan klapanlar we okunda aýlananda, klapan korpusynyň oturgyjyny möhürleýär.

Geçiriji klapanlar (gönüburçly derwezeli klapanlar)
Loadük gulplanan vakuum kameralary bilen geçiriş kameralarynyň arasynda, ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynda geçiriş kameralary bilen gaýtadan işleýän kameralaryň arasynda ulanmak üçin amatly klapanlar.

Wakuum top klapanlary
birmeňzeş möhürleme stresleri üçin tegelek oturgyçlar bilen tegelek ýapyk gurnama bilen çärýek öwrüm göni akym klapanlarydyr.

Maýatnik klapanlary
proses vakuum kamerasy bilen turbomolekulýar nasos girelgesiniň arasynda ýerleşdirilen uly gazykly klapan.Bu vakuum maýatnik klapanlary, adatça OLED, FPD we PV senagat önümçilik ulgamlary ýaly goşundylar üçin derweze ýa-da maýatnik klapanlary hökmünde döredilýär.

Metalhli metal klapanlar
Temperatureokary temperatura elastomerleri we kriogen gazly metallary ulanmaga mümkinçilik bermeýän ultra-ýokary wakuum şertlerinde ulanmak üçin niýetlenendir.Bişirilip bilinýän ähli metal klapanlar, atmosfera basyşyndan 10-11 mbar çenli ygtybarly ýokary temperatura möhürlemesini üpjün edýär.

Wakuum klapanlary
Ondarymgeçiriji önümçilik ulgamlarynda we himiki we bölejikleriň hapalanmagy bilen amaly programmalarda ygtybarly işläň.Olary gödek vakuumda, ýokary wakuumda ýa-da aşa ýokary wakuum şertlerinde ulanyp bolýar.

Alýumin burç klapanlary
Bu klapanlaryň giriş we çykyşy biri-birine dogry burçlarda.Bu burç klapanlary alýumin A6061-T6-dan ýasalyp, ýarymgeçiriji we gurallar öndürmekde, gözleg we önümçilik wakuum ulgamlarynda gödek we ýokary wakuum programmalary üçin ulanylýar.

Teflon bilen örtülen vakuum klapan, çydamly we ýokary himiki çydamly örtükli doly in engineenerli poslamaýan polat wakuum komponentidir.

III.Wakuum klapanlarynyň aýratynlyklary.
Basyş atmosfera basyşynyň aşagyndadyr we klapan flapynyň üstündäki basyş 1 kg güýç / sm-den geçip bilmez.Gurluşyň işleýiş temperaturasy ulanylýan enjamyň işine baglydyr.Temperatura, adatça -70 ~ 150 ° C aralygyndan geçmeýär.Şeýle klapanlar üçin iň esasy talap, baglanyşygyň ýokary derejesini we gurluşyň we gaz materialynyň dykyzlygyny üpjün etmekdir.

Orta basyş vakuum klapanlaryny dört topara bölmek mümkin.
1) Pes vakuum klapanlary: orta basyş p = 760 ~ 1 mmHg.
2） Orta vakuum klapanlary: p = 1 × 10-3 mmHg.
3） vokary vakuum klapanlary: p = 1 × 10-4 ~ 1 × 10-7 mmHg.
4） Ultra ýokary vakuum klapan: p≤1 × 10-8 mmHg.

Geçiş diametri 250 mm-den az bolan ýapyk zynjyrly klapan hökmünde, giňden ulanylýan baldak çyzykly hereketli wakuum jaňlary ýapylýan klapandyr.Derwezäniň klapanlary has çäklendirilen, ýöne bu esasan uly diametrler üçin.Şeýle hem sferik wilka klapanlary (top klapanlary), plunjer klapanlary we kebelek klapanlary bar.Wakuum klapanlary üçin wilka klapanlary öňe sürülmedi, sebäbi olar ýag çalmagy talap edýär, bu bolsa bug bugynyň vakuum ulgamyna girmegine mümkinçilik döredýär.Wakuum klapanlary el bilen we uzakdan meýdanda, şeýle hem elektrik, elektromagnit (solenoid klapanlar), pnewmatik we gidrawliki taýdan dolandyrylyp bilner.