Ang Mass Flow Controllers (MFC) ay nagbibigay ng tumpak na pagsukat at kontrol ng mass flow ng mga gas.
I. Ano ang pagkakaiba ng MFC at MFM?
Ang mass flow meter(MFM) ay isang uri ng instrumento na tumpak na sumusukat sa daloy ng gas, at ang halaga ng pagsukat nito ay hindi hindi tumpak dahil sa mga pagbabago sa temperatura o presyon, at hindi nangangailangan ng kabayaran sa temperatura at presyon. Ang mass flow controller(MFC) hindi lamang ay may function ng mass flow meter, ngunit higit sa lahat, awtomatiko nitong makokontrol ang daloy ng gas, iyon ay, maaaring itakda ng user ang daloy ayon sa kanilang mga pangangailangan, at awtomatikong pinapanatili ng MFC ang daloy sa itinakdang halaga, kahit na ang presyon ng system Ang pagbabagu-bago o pagbabago sa temperatura ng kapaligiran ay hindi magiging sanhi ng paglihis nito mula sa itinakdang halaga.Ang mass flow controller ay isang steady flow device, na isang gas steady flow device na maaaring manual na itakda o awtomatikong kontrolin sa pamamagitan ng koneksyon sa isang computer.Ang mga mass flow meter ay sumusukat lamang ngunit hindi kinokontrol.Ang controller ng mass flow ay may control valve, na maaaring parehong sukatin at kontrolin ang daloy ng gas.
II.Ano ang istraktura atprinsipyo ng pagpapatakbo?
1, Istruktura
2, Prinsipyo ng Operasyon
Kapag ang daloy ay pumasok sa intake pipe, karamihan sa daloy ay dumadaan sa diverter channel, ang isang maliit na bahagi nito ay pumapasok sa capillary tube sa loob ng sensor.Dahil sa espesyal na istraktura ng
ang diverter channel, ang dalawang bahagi ng daloy ng gas ay maaaring direktang proporsyonal.Ang sensor ay preheated at pinainit, at ang temperatura sa loob ay mas mataas kaysa sa temperatura ng pumapasok na hangin.Sa oras na ito, ang daloy ng masa ng maliit na bahagi ng gas ay sinusukat sa pamamagitan ng prinsipyo ng paglipat ng init ng capillary tube at ang prinsipyo ng pagkakaiba sa temperatura ng calorimetry.Ang daloy ng gas na sinusukat sa ganitong paraan ay maaaring balewalain ang mga epekto ng temperatura at presyon.Ang signal ng pagsukat ng daloy na nakita ng sensor ay input sa circuit board at pinalakas at output, at ang function ng MFM ay nakumpleto.Pagdaragdag ng PID closed loop automatic control function sa circuit board, Ikumpara ang flow measurement signal na sinusukat ng sensor sa set signal na ibinigay ng user.Batay dito, ang control valve ay kinokontrol upang ang flow detection signal ay katumbas ng set signal, kaya napagtatanto ang function ng MFC.
III.Mga application at tampok.
MFC，na malawakang ginagamit sa mga larangan bilang: semiconductor at IC fabrication, espesyal na materyales sa agham, industriya ng kemikal, industriya ng petrolyo, industriya ng parmasyutiko, pagprotekta sa kapaligiran at pagsasaliksik ng sistema ng vacuum, atbp. Ang mga tipikal na aplikasyon ay kinabibilangan ng: microelectronic process equipment tulad ng diffusion , oksihenasyon, epitaxy, CVD, plasma etching, sputtering, ion implantation;vacuum deposition equipment, optical fiber melting, micro-reaction equipment, mixing & matching gas system, capillary flow control system, gas chromatograph at iba pang analytical na instrumento.
Ang MFC ay nagdadala ng mataas na katumpakan, mahusay na pag-uulit, mabilis na pagtugon, soft-start, mas mahusay na pagiging maaasahan, malawak na iba't ibang hanay ng presyon ng operasyon (mahusay na operasyon sa mataas na presyon at mga sitwasyon ng vacuum), simpleng maginhawang operasyon, nababaluktot na pag-install, posibleng pagkonekta sa PC upang maisagawa ang awtomatiko kontrol sa sistema ng mga gumagamit.
IV.Paano matukoy at makitungo sa failures?
Ang aming kumpanya ay may propesyonal na after-sale engineer, makakatulong sa iyo na malutas ang mga problema sa pag-install at paggamit.
Oras ng post: Hul-29-2022