Kaalaman – Mga Vacuum Valve

I. Pagpapakilala ng balbula
Ang vacuum valve ay isang bahagi ng vacuum system na ginagamit upang baguhin ang direksyon ng airflow, ayusin ang laki ng daloy ng gas, putulin o ikonekta ang pipeline sa vacuum system.Ang mga pagsasara ng bahagi ng vacuum valve ay tinatakan ng rubber seal o metal seal.

II.Mga karaniwang aplikasyon ng vacuum valve.
Mga vacuum valve
Ginagamit sa mataas o napakataas na kagamitan ng vacuum system kapag ang vacuum ay dapat panatilihin sa isang closed vacuum handling system.Ang mga vacuum valve ay ginagamit upang kontrolin ang daloy ng hangin sa silid ng vacuum, ihiwalay, palabasin, magbigay ng pagbabawas ng presyon o kontrolin ang pagpapadaloy.Ang mga gate valve, Inline valve at angle valve ay ang pinakakaraniwang mga uri ng vacuum valve na ginagamit para sa mataas o napakataas na vacuum application.Kasama sa mga karagdagang uri ng balbula ang mga butterfly valve, transfer valve, ball valve, pendulum valve, all-metal valve, vacuum valve, aluminum angle valve, Teflon-coated na vacuum valve at straight-through valve.

Mga balbula ng butterfly
ay mga mabilis na pagbubukas ng mga balbula na binubuo ng mga metal na disc o vane na umiikot sa tamang mga anggulo sa direksyon ng daloy sa pipeline at kapag pinaikot sa kanilang axis, tinatakpan ng balbula ang upuan sa katawan ng balbula.

Mga transfer valve (mga rectangular na gate valve)
Mga separation valve na angkop para sa paggamit sa pagitan ng load-locked vacuum chamber at transfer chamber, at sa pagitan ng transfer chamber at processing chamber sa semiconductor manufacturing equipment.

Mga Vacuum Ball Valve
ay quarter turn straight flow valves na may circular closure assembly na may katugmang circular seats para sa pare-parehong sealing stress.

Mga balbula ng pendulum
ay isang malaking throttle valve na nilagyan sa pagitan ng process vacuum chamber at ng turbomolecular pump inlet.Ang mga vacuum pendulum valve na ito ay karaniwang idinisenyo bilang gate o pendulum valve para sa mga application kabilang ang OLED, FPD at PV na mga sistema ng pagmamanupaktura ng industriya.

All-metal valves
Idinisenyo para sa paggamit sa mga ultra-high na vacuum na kapaligiran kung saan ang mataas na temperatura ay hindi pinapayagan ang paggamit ng mga elastomer at cryogenic gasket metal.Ang mga bakeable all-metal valve ay nagbibigay ng maaasahang mataas na temperatura na sealing mula sa atmospheric pressure hanggang sa ibaba ng 10-11 mbar.

Mga vacuum valve
Gumagana nang mapagkakatiwalaan sa mga sistema ng produksyon ng semiconductor at sa mga aplikasyon na may kontaminasyong kemikal at particulate.Magagamit ang mga ito sa rough vacuum, high vacuum o ultra-high vacuum na kapaligiran.

Mga balbula ng anggulo ng aluminyo
Ang pumapasok at labasan ng mga balbula na ito ay nasa tamang mga anggulo sa isa't isa.Ang mga anggulong balbula na ito ay gawa sa aluminyo A6061-T6 at ginagamit sa paggawa ng semiconductor at instrumentation, R&D at mga pang-industriyang vacuum system para sa magaspang hanggang mataas na mga aplikasyon ng vacuum.

Ang Teflon coated vacuum valve ay isang ganap na engineered na stainless steel na vacuum component device na may matibay at mataas na chemical resistant coating.

III.Mga katangian ng mga vacuum valve.
Ang pressure ay mas mababa sa atmospheric pressure at ang pressure drop sa valve flap ay hindi maaaring lumampas sa 1 kg force/cm.Ang temperatura ng pagtatrabaho ng daluyan ay depende sa proseso ng ginamit na aparato.Ang temperatura sa pangkalahatan ay hindi lalampas sa hanay ng -70 ~ 150°C.Ang pinaka-pangunahing kinakailangan para sa naturang mga balbula ay upang matiyak ang isang mataas na antas ng higpit ng koneksyon at ang siksik ng istraktura at gasket na materyal.

Ayon sa medium pressure vacuum valves ay maaaring nahahati sa apat na grupo.
1) Mababang vacuum valve: katamtamang presyon p=760~1 mmHg.
2）Mga katamtamang vacuum valve: p=1×10-3 mmHg.
3）Matataas na vacuum valve: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ultra-high na vacuum valve: p≤1×10-8 mmHg.

Bilang isang closed-circuit valve na may passage diameter na mas mababa sa 250 mm, ang malawak na ginagamit na stem ay isang vacuum bellows shut-off valve na may linear na paggalaw.Gate valves, gayunpaman, ay mas pinaghihigpitan, ngunit ito ay higit sa lahat para sa malalaking diameters.Available din ang mga spherical plug valves (ball valves), plunger valves at butterfly valves.Ang mga plug valve para sa mga vacuum valve ay hindi na-promote dahil nangangailangan sila ng oil lubrication, na ginagawang posible para sa oil vapor na pumasok sa vacuum system, na hindi pinapayagan.Ang mga vacuum valve ay maaaring kontrolin nang manu-mano at malayuan sa field, pati na rin sa electrically, electromagnetically (solenoid valves), pneumatically at hydraulically.