Beijing Super Q Technology Co., Ltd. ay may EV series oil-lubricated 600L, 1200L, 1600L compound molecular pump at 3600L turbine type molecular pump;300L, 650L, 1300L, 2000L compound molecular pump na may grease-lubricated.Nakatuon ang artikulong ito sa pagpapaliwanag ng mga katangian, pag-install, paggamit at pagpapanatili ng EV-Z series grease lubrication compound molecular pump.
Mga katangian ng istraktura
EV series grease molecular pump adopts import precision ceramic bearings, ang pump rotor sa pamamagitan ng dynamic na balanse, matatag at maaasahang operasyon, ang motor squirrel cage three-phase motor, tindig pagpapadulas sa pamamagitan ng grasa pagpapadulas, maaaring mai-mount sa anumang oryentasyon.
pag-install at paggamit
I. Tungkol sa Ultimate Pressure
Ang "Ultimate Pressure" ng molecular pump ay batay sa ISO international standard na "Pamamaraan ng pagsubok para sa pagganap ng mga turbomolecular pump", Matapos ganap na i-bake ang katawan ng bomba at ang test cover (48 oras ng pagpapatuyo at pag-degas), ang pinakamababang presyon na sinusukat sa ang tinukoy na posisyon ng test cover.halaga ng presyon.Sa aktwal na paggamit, ang halaga ng 'limit pressure' ay nauugnay sa working pressure at epektibong pumping speed ng naka-configure na backing pump.Ang pagpili ng mas mataas na performance na backing pump ay lubhang kapaki-pakinabang upang makakuha ng mas mataas na vacuum at mabawasan ang oras ng tambutso.
Bilang karagdagan, dahil sa partikularidad ng prinsipyo ng tambutso ng molecular pump, ang air inlet ng pump ay kinakailangang maging malawak hangga't maaari, at ang landas ng gas mula sa vacuum chamber patungo sa molecular pump port ay dapat na maiwasan ang pagliko hangga't maaari. posible, upang maisagawa ang pinakamahusay na kahusayan ng molecular pump, at Garantiyang mas mataas na ultimate vacuum.
II.Pag-install
2.1 Buksan ang Package
Bago i-install, suriin kung ang molecular pump ay nasira habang dinadala.
Ang pamamaraan ay ang mga sumusunod: sumangguni sa mga tagubilin sa power supply ng molecular pump, ikonekta ito ng tama sa molecular pump, hindi kailangang magpasa ng tubig o vacuum, simulan ang molecular pump, at suriin kung ito ay tumatakbo at kung mayroon abnormal na tunog.Kung mayroong anumang abnormalidad, pindutin ang stop switch sa oras upang ihinto ang pump.Tandaan: Ang dalas ng kuryente ay hindi dapat mas mataas sa 25Hz sa panahon ng pagsubok na operasyon
2.2 Pagkonekta sa High Vacuum Flange
Ang koneksyon ng molecular pump ay maaaring itaas ng mataas na vacuum flange o maayos sa base.Ang molecular pump ay dapat na maayos kapag ang mataas na vacuum flange ng molecular pump ay konektado sa system sa pamamagitan ng isang metal bellows.
(Walang mga gasgas ang flange sealing surface, at walang anumang bagay sa sealing ring)
2.3 Foreline vacuum na koneksyon
Dapat na maglagay ng isolation at vent valve sa pagitan ng foreline pump at ng molecular pump upang maiwasan ang mekanikal na pump na bumalik sa langis pagkatapos ng shutdown.
2.4 Pagkonekta sa gas charging device
Upang magkaroon ng malinis na kapaligiran ng vacuum, pagkatapos ihinto ang molecular pump, ang vacuum system ay maaaring punuin ng nitrogen o dry air.Sa pangkalahatan, ang isang vent valve ay maaaring konektado sa front-stage pipeline, o ang isang mataas na vacuum valve ay maaaring gamitin upang maibulalas ang gas sa high vacuum end.
III.Pagkonekta sa paglamig
Dahil sa high-speed rotating friction ng bearing, ang pag-init ng pump body, at ang pagtaas ng temperatura ng motor, ang bearing at ang motor ay dapat palamigin kapag gumagana ang molecular pump.Karaniwang ginagamit ang air cooling, at ginagamit ang water cooling kapag ang temperatura sa paligid ay mas mataas sa 38°C.Ang malambot na tubo ng tubig na may panlabas na diameter na 10mm ay maaaring direktang konektado sa pumapasok at labasan ng tubig ng molecular pump.Gumagamit ng circulating water system na may purong tubig, at maaari ding gumamit ng gripo na may mababang precipitation (ang temperatura ng tubig ay dapat na ≤28°C).
Ang hindi sinasadyang paghinto ng tubig o mataas na temperatura ng tubig ay magpapakilos sa sensor ng temperatura ng molecular pump body, at ang power supply ay agad na mag-aalarma at huminto sa output.
Mayroong pagitan ng humigit-kumulang 15 minuto (ang tiyak na oras ay depende sa rate ng pagtaas ng temperatura) pagkatapos ng hindi inaasahang paghinto ng tubig o ang temperatura ng tubig ay masyadong mataas hanggang sa mag-alarm ang molecular pump dahil sa sobrang pag-init.
IV.Pagluluto
Ang pangwakas na presyon ay nakasalalay sa kalinisan ng loob ng pump at ang vacuum path kasama ang vacuum chamber.Upang makuha ang sukdulang presyon sa pinakamaikling panahon, ang sistema ng vacuum at ang molecular pump ay dapat na lutuin.Ang pagbe-bake ay dapat isagawa nang normal na tumatakbo ang molecular pump.
Ang baking temperature ng molecular pump ay dapat na mas mababa sa 80°C, ang mataas na vacuum flange na konektado sa pump port ay hindi dapat mas mataas sa 120°C, at ang baking temperature ng vacuum system ay karaniwang mas mababa sa 300°C.ng pinsala.
Ang oras ng pagluluto ay nakasalalay sa antas ng polusyon ng system at molecular pump at ang inaasahang limitasyon sa presyon ng pagtatrabaho, ngunit ang pinakamababang oras ay hindi dapat mas mababa sa 4 na oras.
Para sa pagkuha ng vacuum ng 10-4Pa, sa prinsipyo, walang baking ang kinakailangan;para sa pagkuha ng isang vacuum ng 10-5Pa, tanging ang pagluluto ng vacuum system mismo ay sapat;para sa pagkuha ng ultra-high vacuum, ang vacuum system at ang molecular pump ay karaniwang kailangang i-bake sa parehong oras.Ang sistema ng pagsukat ay dapat na ganap na lutong, kung hindi, ito ay makakaapekto sa katumpakan ng data ng pagsukat dahil sa pag-outgas nito.
V.Operasyon
Kumpirmahin na ang pre-vacuum ay mas mahusay kaysa sa 15Pa, pindutin ang RON key upang simulan ang molecular pump, at pindutin ang STOP key upang huminto pagkatapos gamitin.Pansin!Ang soft start key ay dapat gamitin para sa unang paggamit o muling paggamit pagkatapos ng pangmatagalang idle na paggamit.Ang soft start operation ay ang mga sumusunod: ang kasalukuyang stage vacuum ay mas mahusay kaysa sa 15Pa at ang soft start key ay pinindot.Pagkatapos ng 110 minuto, ang molecular pump ay umabot sa working frequency na 550Hz (550Hz ay tumutugma sa EV300Z molecular pump, 400Hz Naaayon sa EV650Z, 1300Z, 2000 molecular pump,), pagkatapos ay pindutin ang soft start key (ang key ay nakataas) upang ihinto ang malambot simulan.
（Sa panahon ng normal na operasyon ng molecular pump, ipinagbabawal na dalhin, ilipat o punuin ng hangin.）
VI.Pagpapanatili at Pag-aayos
6.1 Paglilinis ng bomba
Kapag ang air leakage at desorption rate ng vacuum system ay hindi nagbabago, at ang vacuum performance ay hindi na maibabalik kahit na matapos ang mahabang panahon ng baking, o kapag ang backing pump ay seryosong nagbabalik ng langis, ang pump ay dapat linisin.
（Kung kailangang ayusin at linisin ang bomba, dapat itong lansagin ng mga propesyonal na technician.Kung ito ay i-disassemble nang walang pagsasanay, ang mga kahihinatnan ay nasa iyong sariling peligro.）
6.2 Pagpapalit ng mga bearings
Dahil ang bomba ay kailangang balanse, ang tindig ay hindi maaaring palitan ng gumagamit.
6.3 Proteksyon sa Epekto
Ang molecular pump ay isang high-speed rotating machine.Napakaliit ng agwat sa pagitan ng gumagalaw na plato at ng static na plato, at hindi ito makatiis ng labis na epekto.Dapat na limitado ang bilis at acceleration ng gumagalaw na carrier na nakikipag-ugnayan dito.Bilang karagdagan, ang biglaang epekto ng dami ng atmospera at ang pagbaba ng mga panlabas na matitigas na bagay sa panahon ng normal na operasyon ng molecular pump ay magdudulot din ng malubhang pinsala sa molecular pump.
6.4 Paghihiwalay ng vibration
Karaniwan, ang molecular pump ay mahigpit na nasubok, at ang vibration ay napakaliit, at maaari itong direktang konektado sa pumped system.Para sa mga application ng instrument na may mataas na katumpakan (tulad ng mga electron microscope, atbp.), inirerekomendang gumamit ng mga vibration isolator upang mabawasan ang epekto ng vibration sa instrumento.
6.5 Malakas na magnetic field shielding
Ang umiikot na rotor ay bumubuo ng eddy current sa magnetic field, na magiging sanhi ng pag-init ng rotor.Dahil ang init ay magpahina sa lakas ng materyal na aluminyo, ang aplikasyon ng molecular pump sa magnetic field ay limitado sa isang tiyak na lawak.
6.6 electromagnetic interference
Ang ilang partikular na high-frequency na instrumento, tulad ng mga molecular pump at frequency converter, ay maaaring magdulot ng electromagnetic interference sa nakapalibot na kapaligiran.Ngunit sa kaso ng pagtugon sa mga internasyonal na pamantayan, ang paggamit ng mga molekular na bomba ay hindi limitado.Kung ang mga kinakailangan ay natutugunan, ang mga kaukulang sertipiko ay dapat na ibigay sa parehong oras.
6.7 Malakas na paghihigpit sa radyaktibidad
Karamihan sa mga materyales ay magbabago sa kanilang mga katangian sa isang malakas na radioactive na kapaligiran, lalo na ang mga organikong materyales (tulad ng molecular pump oil, sealing rings) at mga bahagi ng semiconductor.Molecular pump ay maaaring labanan ang radiation intensity ng 105rad.Sa pamamagitan ng pagpili ng mga anti-radioactive na materyales at paggamit ng motor-driven na power supply, ang anti-radiation strength ay maaaring mapabuti.Kapag nagbobomba ng tritium, upang maiwasan ang radioactive element na tritium na makatakas sa atmospera, ang lahat ng sealing ring sa molecular pump ay dapat gawa sa mga metal na materyales
6.8 Foreline pump
Sa high-pressure na dulo ng molecular pump performance curve, ang inlet pressure ay mula sa humigit-kumulang 200 Pa hanggang 10-1 Pa, na sumasaklaw sa tatlong order ng magnitude.Ang ibig sabihin ng libreng landas ng mga molekula ng gas ay nagiging mas maliit, at ang epekto ng pumping ay nagsisimulang lumala.Samakatuwid, sa transition zone, mas malaki ang paggamit ng backing pump, mas malaki ang pumping speed ng molecular pump.Ang foreline pump ay dapat na hindi bababa sa 3 L/S minimum.
Mga karaniwang fault at trouble shooting
Ang EV-Z series grease-lubricated compound molecular pump ay isang mekanikal na vacuum pump na napagtatanto ang air extraction sa pamamagitan ng medyo mataas na bilis ng pag-ikot ng multi-stage dynamic at static turbine blades.Ang turbomolecular pump ay may mga katangian ng mataas na pumping speed at mataas na compression ratio sa molecular flow region, at mas nakakatipid ng enerhiya kaysa sa diffusion pump at walang polusyon sa langis at singaw.Ang EV series grease-lubricated compound molecular pump ay ang molecular pump na may pinakamalaking pumping speed na 100 calibers sa China.
Ang molecular pump na ito ay walang selectivity at walang memory effect sa gas na ibobomba.Dahil sa mataas na compression ratio ng gas na may malaking molekular na timbang, ang pump ay maaaring makakuha ng malinis na mataas na vacuum at ultra-high na vacuum na walang malamig na traps at oil baffle..Ito ay malawakang ginagamit sa iba't ibang larangan ng electronics, metalurhiya, industriya ng kemikal, siyentipikong pananaliksik at teknolohiyang vacuum.
Oras ng post: Hul-01-2022