EV serisi bileşik moleküler pompalar
EV serisi Teknik Veriler
Modeli | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Giriş Flanşı (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Çıkış Flanşı (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
Pompalama Hızı (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Sıkıştırma oranı | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
Nihai Vakum(Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
Dönme Hızı (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Titreşim | ≤0,1 mikron | ≤0,1 mikron | ≤0,15 mikron | ||||
Çalıştırma Süresi (dak) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
Destek Pompası | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
Soğutma yöntemi | Su (hava) soğutma | Su (hava) soğutma | Su (hava) soğutma | ||||
Soğutma Suyu Sıcaklığı (°C) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Ortam Sıcaklığı(°C) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Soğutma Suyu Akış miktarı | 1-2 L/dak | 1-2 L/dak | 1-2 L/dak | ||||
Fırınlama Sıcaklığı(°C) | <120 | <120 | <120 | ||||
Isıtıcı Gücü (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Isıtıcı Giriş Gerilimi (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Montaj | Dikey ±5° | Dikey ±5° | Dikey ±5° | ||||
Ağırlık (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Bileşiğin Atmosferik Pompalama Eğrisi
Moleküler Pompa
Azot ve hidrojenin sıkıştırma oranı eğrisi
bileşik moleküler pompa ile
EV Serisi Kurulum Boyutu Bileşik Moleküler Pompa Tablosu
Modeli | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Giriş Flanşı (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Pompa ayağı vida deliği | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Çıkış Flanşı (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV Serisi Hava soğutma bileşiği Moleküler Pompalar
EV serisi hava soğutmalı bileşik moleküler pompa, turbomoleküler pompa ve disk çekiş pompasından oluşur.Turbomoleküler pompanın moleküler akışı için yüksek pompalama hızı ve sıkıştırma oranı, çekiş pompasının yüksek basıncı için yüksek pompalama hızı ve sıkıştırma oranı özelliklerine sahiptir ve moleküler pompanın uygulama kapsamını genişletir.
Bileşik moleküler pompanın pompalanan gaz üzerinde seçiciliği ve hafıza etkisi yoktur.Büyük moleküler ağırlığa sahip gaza yüksek sıkıştırma oranı nedeniyle pompa, soğuk tuzak ve yağ bölmesi olmadan temiz, yüksek ve ultra yüksek vakum elde edebilir.Elektronik, metalurji, kimya endüstrisi, bilimsel araştırma ve vakum teknolojisinin çeşitli alanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır.
Modeli | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Giriş Flanşı (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Pompa ayağı vida deliği | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |