Kütle Akış Kontrolörleri (MFC), gazların kütle akışının hassas ölçümünü ve kontrolünü sağlar.
I. MFC ile MFM arasındaki fark nedir?
Kütle akış ölçer (MFM), gaz akışını doğru bir şekilde ölçen bir tür cihazdır ve sıcaklık veya basınçtaki dalgalanmalar nedeniyle ölçüm değeri yanlış değildir ve sıcaklık ve basınç telafisi gerektirmez. Kütle akış kontrolörü (MFC) sadece kütlesel akış ölçer işlevine sahiptir ancak daha da önemlisi gaz akışını otomatik olarak kontrol edebilir yani kullanıcı akışı ihtiyacına göre ayarlayabilir ve MFC otomatik olarak akışı ayarlanan değerde sabit tutsa bile sistem basıncının ortam sıcaklığındaki dalgalanmalar veya değişiklikler ayarlanan değerden sapmasına neden olmaz.Kütle akış kontrolörü, manuel olarak ayarlanabilen veya bir bilgisayar bağlantısıyla otomatik olarak kontrol edilebilen bir gaz sabit akış cihazı olan sabit bir akış cihazıdır.Kütle akış ölçerler yalnızca ölçer ancak kontrol etmez.Kütle akış kontrol cihazı, gaz akışını hem ölçebilen hem de kontrol edebilen bir kontrol vanasına sahiptir.
II.Yapı nedir veçalışma prensibi?
1、 Yapı
2, Çalışma Prensibi
Akış emme borusuna girdiğinde akışın büyük bir kısmı saptırıcı kanaldan geçer ve bunun küçük bir kısmı sensörün içindeki kılcal boruya girer.Özel yapısı nedeniyle
Yönlendirici kanalda, gaz akışının iki kısmı doğrudan orantılı olabilir.Sensör önceden ısıtılır ve ısıtılır ve içindeki sıcaklık, giriş havasının sıcaklığından daha yüksektir.Bu sırada gazın küçük bir kısmının kütle akışı, kılcal boru yoluyla ısı transferi prensibi ve sıcaklık farkı kalorimetresi prensibi ile ölçülür.Bu şekilde ölçülen gaz akışı sıcaklık ve basıncın etkilerini göz ardı edebilir.Sensör tarafından algılanan akış ölçüm sinyali devre kartına girilir, güçlendirilir ve çıkarılır ve MFM'nin işlevi tamamlanır.Devre kartına PID kapalı çevrim otomatik kontrol fonksiyonu eklenmesi, Sensör tarafından ölçülen akış ölçüm sinyalini kullanıcı tarafından verilen ayarlanan sinyal ile karşılaştırın.Buna dayanarak kontrol vanası, akış algılama sinyalinin ayarlanan sinyale eşit olmasını sağlayacak şekilde kontrol edilir ve böylece MFC'nin işlevi gerçekleştirilir.
III.Uygulamalar ve özellikler.
MFC， şu alanlarda yaygın olarak uygulanır: yarı iletken ve IC üretimi, özel malzeme bilimi, kimya endüstrisi, petrol endüstrisi, ilaç endüstrisi, çevre koruma ve vakum sistemi araştırmaları vb. Tipik uygulamalar şunları içerir: difüzyon gibi mikroelektronik proses ekipmanları , oksidasyon, epitaksi, CVD, plazma aşındırma, püskürtme, iyon implantasyonu;vakum biriktirme ekipmanı, fiber optik eritme, mikro reaksiyon ekipmanı, karıştırma ve eşleştirme gaz sistemi, kılcal akış kontrol sistemi, gaz kromatografı ve diğer analitik cihazlar.
MFC, yüksek doğruluk, mükemmel tekrarlanabilirlik, hızlı tepki, yumuşak başlangıç, daha iyi güvenilirlik, çok çeşitli çalışma basıncı aralıkları (yüksek basınç ve vakum durumlarında iyi çalışma), basit rahat çalışma, esnek kurulum, otomatik gerçekleştirmek için PC ile olası bağlantı sağlar. Kullanıcıların sistemini kontrol etmek.
IV.F nasıl belirlenir ve ele alınır?hastalık mı?
Firmamız profesyonel satış sonrası mühendisine sahiptir, kurulum ve kullanımdaki sorunları çözmenize yardımcı olabilir.
Gönderim zamanı: Temmuz-29-2022