Bilgi – Vakum Valfleri

I. Valfin tanıtılması
Vakum valfi, hava akışının yönünü değiştirmek, gaz akışının boyutunu ayarlamak, boru hattını kesmek veya vakum sistemine bağlamak için kullanılan bir vakum sistemi bileşenidir.Vakum valfinin kapanış kısımları lastik conta veya metal conta ile kapatılmıştır.

II.Yaygın vakum valfi uygulamaları.
Vakum valfleri
Vakumun kapalı bir vakum işleme sisteminde muhafaza edilmesi gerektiğinde, yüksek veya ultra yüksek vakum sistemi ekipmanlarında kullanılır.Vakum valfleri, vakum odasına hava akışını kontrol etmek, izole etmek, havalandırmak, basınç düşürme sağlamak veya iletimi kontrol etmek için kullanılır.Sürgülü valfler, Inline valfler ve açılı valfler, yüksek veya ultra yüksek vakum uygulamaları için kullanılan en yaygın vakum valfi türleridir.Ek vana türleri arasında kelebek vanalar, transfer vanaları, küresel vanalar, sarkaç vanalar, tamamen metal vanalar, vakum vanaları, alüminyum açılı vanalar, Teflon kaplı vakum vanaları ve düz geçişli vanalar bulunur.

Kelebek vana
Boru hattındaki akış yönüne dik açılarda dönen ve kendi ekseni etrafında döndürüldüğünde vana gövdesindeki yuvasını sızdırmaz hale getiren metal diskler veya kanatlardan oluşan hızlı açılan vanalardır.

Transfer vanaları (dikdörtgen sürgülü vanalar)
Yarı iletken imalat ekipmanlarında yük kilitli vakum odaları ile transfer odaları arasında ve transfer odaları ile işleme odaları arasında kullanıma uygun ayırma valfleri.

Vakum Küresel Vanaları
Eşit sızdırmazlık gerilimi için eşleşen dairesel yuvalara sahip, dairesel kapatma tertibatına sahip çeyrek dönüşlü düz akış valfleridir.

Sarkaç valfleri
proses vakum odası ile turbomoleküler pompa girişi arasına takılan büyük bir gaz kelebeği valfidir.Bu vakum sarkaçlı valfler tipik olarak OLED, FPD ve PV endüstriyel üretim sistemleri dahil olmak üzere uygulamalar için sürgülü veya sarkaç valfler olarak tasarlanmıştır.

Tamamı metal vanalar
Yüksek sıcaklıkların elastomerlerin ve kriyojenik conta metallerinin kullanımına izin vermediği ultra yüksek vakum ortamlarında kullanılmak üzere tasarlanmıştır.Fırınlanabilir tamamen metal valfler, atmosferik basınçtan 10-11 mbar'ın altına kadar güvenilir yüksek sıcaklık yalıtımı sağlar.

Vakum valfleri
Yarı iletken üretim sistemlerinde ve kimyasal ve partikül kirliliği olan uygulamalarda güvenilir şekilde çalışın.Kaba vakum, yüksek vakum veya ultra yüksek vakum ortamlarında kullanılabilirler.

Alüminyum açılı vanalar
Bu vanaların giriş ve çıkışı birbirine dik açıdadır.Bu açılı valfler A6061-T6 alüminyumdan yapılmıştır ve yarı iletken ve enstrümantasyon üretiminde, Ar-Ge ve endüstriyel vakum sistemlerinde kaba ve yüksek vakum uygulamaları için kullanılır.

Teflon kaplı vakum valfi, dayanıklı ve kimyasal maddelere karşı son derece dirençli bir kaplamaya sahip, tamamen tasarlanmış paslanmaz çelik bir vakum bileşen cihazıdır.

III.Vakum valflerinin özellikleri.
Basınç atmosfer basıncının altındadır ve valf kapağındaki basınç düşüşü 1 kg kuvvet/cm'yi aşamaz.Ortamın çalışma sıcaklığı kullanılan cihazın prosesine bağlıdır.Sıcaklık genellikle -70 ~ 150°C aralığını aşmaz.Bu tür vanalar için en temel gereksinim, bağlantının yüksek derecede sızdırmazlığını ve yapının ve conta malzemesinin yoğunluğunu sağlamaktır.

Orta basınç vakum valflerine göre dört gruba ayrılabilir.
1) Düşük vakum valfleri: orta basınç p=760~1 mmHg.
2）Orta vakum valfleri: p=1×10-3 mmHg.
3）Yüksek vakum valfleri: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ultra yüksek vakum valfi: p≤1×10-8 mmHg.

Geçiş çapı 250 mm'den küçük olan bir kapalı devre vanası olarak yaygın olarak kullanılan gövde, doğrusal hareketli vakum körüklü kapatma vanasıdır.Sürgülü vanalar ise daha kısıtlıdır ancak bu esas olarak büyük çaplar içindir.Ayrıca küresel plug vanalar (küresel vanalar), piston vanaları ve kelebek vanalar da mevcuttur.Vakum valfleri için tapalı valfler, yağla yağlama gerektirdiğinden ve yağ buharının vakum sistemine girmesine izin verilmediğinden dolayı tanıtılmamıştır.Vakum valfleri sahada manuel ve uzaktan kontrol edilebildiği gibi elektriksel, elektromanyetik (solenoid valfler), pnömatik ve hidrolik olarak da kontrol edilebilmektedir.