Beijing Super Q Technology Co., Ltd., EV serisi yağla yağlanan 600L, 1200L, 1600L bileşik moleküler pompalara ve 3600L türbin tipi moleküler pompalara sahiptir;gresle yağlanan 300L, 650L, 1300L, 2000L bileşik moleküler pompalar.Bu makale EV-Z serisi gres yağlama bileşiği moleküler pompalarının özelliklerini, kurulumunu, kullanımını ve bakımını açıklamaya odaklanmaktadır.
Yapı özellikleri
EV serisi gres moleküler pompa, ithal hassas seramik rulmanlar, dinamik denge sayesinde pompa rotoru, istikrarlı ve güvenilir çalışma, motor sincap kafesli üç fazlı motor, gres yağlama ile yatak yağlaması, herhangi bir yönde monte edilebilir.
kurulum ve kullanım
I. Nihai Basınç Hakkında
Moleküler pompanın "Nihai Basıncı", ISO uluslararası standardı "Turbomoleküler pompaların performansı için test yöntemi"ne dayanmaktadır. Pompa gövdesi ve test kapağı tamamen pişirildikten sonra (48 saatlik kurutma ve gazdan arındırma), en düşük basınç test kapağının belirtilen konumu.basınç değeri.Gerçek kullanımda 'sınır basıncı' değeri, yapılandırılmış destek pompasının çalışma basıncı ve etkin pompalama hızıyla ilgilidir.Daha yüksek performanslı bir destek pompası seçmek, daha yüksek vakum elde etmek ve egzoz süresini kısaltmak açısından çok faydalıdır.
Ek olarak, moleküler pompanın egzoz prensibinin özelliği nedeniyle, pompanın hava girişinin mümkün olduğu kadar geniş olması gerekir ve vakum odasından moleküler pompa portuna giden gaz yolu mümkün olduğu kadar dönmekten kaçınmalıdır. Moleküler pompanın en iyi verimliliğini sağlamak ve daha yüksek nihai vakumu garanti etmek için mümkün.
II.Kurulum
2.1 Paketi Aç
Kurulumdan önce moleküler pompanın nakliye sırasında hasar görüp görmediğini kontrol edin.
Yöntem şu şekildedir: moleküler pompanın güç kaynağı talimatlarına bakın, moleküler pompaya doğru şekilde bağlayın, su veya vakumdan geçmesine gerek yok, moleküler pompayı çalıştırın ve çalışıp çalışmadığını ve herhangi bir sorun olup olmadığını kontrol edin. anormal ses.Herhangi bir anormallik varsa, pompayı durdurmak için durdurma düğmesine zamanında basın.Not: Deneme çalışması sırasında güç frekansı 25Hz'den yüksek olmamalıdır.
2.2 Yüksek Vakum Flanşının Bağlanması
Moleküler pompanın bağlantısı yüksek vakum flanşı ile kaldırılabilir veya tabana sabitlenebilir.Moleküler pompanın yüksek vakum flanşı sisteme metal bir körük aracılığıyla bağlandığında moleküler pompanın sabitlenmesi gerekir.
(Flanş sızdırmazlık yüzeyinde çizik olmamalıdır ve sızdırmazlık halkasında hiçbir şey olmamalıdır.)
2.3 Foreline vakum bağlantısı
Mekanik pompanın kapatıldıktan sonra yağın geri dönmesini önlemek için ön hat pompası ile moleküler pompa arasına bir izolasyon ve havalandırma valfi takılmalıdır.
2.4 Gaz şarj cihazının bağlanması
Temiz bir vakum ortamına sahip olmak için moleküler pompa durdurulduktan sonra vakum sistemi nitrojen veya kuru hava ile doldurulabilir.Genel olarak, ön aşama boru hattına bir havalandırma valfi bağlanabilir veya yüksek vakum ucundaki gazı havalandırmak için bir yüksek vakum valfi kullanılabilir.
III．Soğutmanın bağlanması
Yatağın yüksek hızlı dönen sürtünmesi, pompa gövdesinin ısınması ve motorun sıcaklık artışı nedeniyle, moleküler pompa çalışırken yatağın ve motorun soğutulması gerekir.Genellikle hava soğutma kullanılır, ortam sıcaklığı 38°C'nin üzerinde olduğunda su soğutma kullanılır.Dış çapı 10 mm olan yumuşak su borusu doğrudan moleküler pompanın su giriş ve çıkışına bağlanabilir.Saf su ile sirkülasyonlu bir su sistemi kullanılır ve ayrıca düşük yağışlı musluk suyu da kullanılabilir (su sıcaklığı ≤28°C olmalıdır).
Kazara su durması veya yüksek su sıcaklığı, moleküler pompa gövdesinin sıcaklık sensörünün harekete geçmesine neden olacak ve güç kaynağı derhal alarm verecek ve çıkışı durduracaktır.
Beklenmedik su durmasından veya su sıcaklığı çok yüksek olduktan sonra moleküler pompanın aşırı ısınma nedeniyle alarm vermesine kadar yaklaşık 15 dakikalık bir aralık vardır (belirli süre sıcaklık artış hızına bağlıdır).
IV．Pişirme
Nihai basınç, pompanın iç kısmının temizliğine ve vakum odası dahil vakum yolunun temizliğine bağlıdır.En kısa sürede nihai basıncı elde etmek için vakum sisteminin ve moleküler pompanın pişirilmesi gerekir.Pişirme moleküler pompa normal şekilde çalışırken gerçekleştirilmelidir.
Moleküler pompanın pişirme sıcaklığı 80°C'den düşük olmalı, pompa portuna bağlı yüksek vakum flanşı 120°C'den yüksek olmamalıdır ve vakum sisteminin pişirme sıcaklığı genellikle 300°C'den az olmalıdır.hasar.
Pişirme süresi sistemin ve moleküler pompanın kirlilik derecesine ve beklenen limit çalışma basıncına bağlıdır, ancak minimum süre 4 saatten az olmamalıdır.
10-4Pa'lık bir vakum elde etmek için prensip olarak pişirmeye gerek yoktur;10-5Pa'lık bir vakum elde etmek için yalnızca vakum sisteminin kendisinin pişirilmesi yeterlidir;Ultra yüksek vakum elde etmek için vakum sistemi ve moleküler pompanın genellikle aynı anda pişirilmesi gerekir.Ölçüm sistemi tamamen pişmiş olmalıdır, aksi takdirde gaz çıkışı nedeniyle ölçüm verilerinin doğruluğu etkilenecektir.
V．Operasyon
Ön vakumun 15Pa'dan daha iyi olduğunu doğrulayın, moleküler pompayı başlatmak için RON tuşuna basın ve kullanımdan sonra durdurmak için STOP tuşuna basın.Dikkat!Yumuşak başlatma anahtarı ilk kullanımda veya uzun süreli boşta kullanımdan sonra yeniden kullanılmalıdır.Yumuşak başlatma işlemi şu şekildedir: mevcut aşama vakumu 15Pa'dan daha iyidir ve yumuşak başlatma tuşuna basılmıştır.110 dakika sonra, moleküler pompa 550Hz çalışma frekansına ulaşır (550Hz, EV300Z moleküler pompaya karşılık gelir, 400Hz, EV650Z, 1300Z, 2000 moleküler pompaya karşılık gelir), ardından yumuşak başlatmayı durdurmak için yumuşak başlatma tuşuna basın (anahtar yukarıdadır). başlangıç.
(Moleküler pompanın normal çalışması sırasında hava taşımak, taşımak veya doldurmak yasaktır.)
VI．Bakım ve onarım
6.1 Pompanın temizlenmesi
Vakum sisteminin hava sızıntısı ve desorpsiyon hızı değişmediğinde ve uzun süre pişirme sonrasında bile vakum performansı eski haline getirilemediğinde veya destek pompası ciddi şekilde yağ geri dönüşü yaptığında, pompa temizlenmelidir.
(Pompanın tamir edilmesi ve temizlenmesi gerekiyorsa, profesyonel teknisyenler tarafından sökülmelidir.Eğitim alınmadan sökülürse sonuçların riski size ait olacaktır.)
6.2 Rulmanların değiştirilmesi
Pompanın balansının alınması gerektiğinden rulmanın kullanıcı tarafından değiştirilmesi mümkün değildir.
6.3 Darbe koruması
Moleküler pompa yüksek hızlı dönen bir makinedir.Hareketli plaka ile statik plaka arasındaki boşluk çok küçüktür ve aşırı darbeye dayanamaz.Kendisiyle temas halinde olan hareketli taşıyıcının hızı ve ivmesi sınırlandırılmalıdır.Ayrıca moleküler pompanın normal çalışması sırasında atmosferik hacmin ani etkisi ve harici sert nesnelerin düşmesi de moleküler pompanın ciddi hasar görmesine neden olacaktır.
6.4 Titreşim izolasyonu
Genellikle moleküler pompa sıkı bir şekilde test edilmiştir ve titreşim çok küçüktür ve pompalanan sisteme doğrudan bağlanabilir.Yüksek hassasiyetli alet uygulamaları için (elektron mikroskopları vb. gibi), titreşimin alet üzerindeki etkisini en aza indirmek için titreşim yalıtıcılarının kullanılması tavsiye edilir.
6.5 Güçlü manyetik alan koruması
Dönen rotor, manyetik alanda rotorun ısınmasına neden olacak girdap akımı üretir.Isı, alüminyum malzemenin mukavemetini zayıflatacağından moleküler pompanın manyetik alandaki uygulaması bir dereceye kadar sınırlıdır.
6.6 elektromanyetik girişim
Moleküler pompalar ve frekans dönüştürücüler gibi belirli yüksek frekanslı cihazlar çevredeki ortamda elektromanyetik girişime neden olabilir.Ancak uluslararası standartların karşılanması durumunda moleküler pompaların uygulaması sınırlı olmayacaktır.Gereksinimlerin karşılanması halinde, ilgili sertifikaların aynı anda verilmesi gerekmektedir.
6.7 Güçlü radyoaktivite kısıtlaması
Çoğu malzeme, özellikle organik malzemeler (moleküler pompa yağı, sızdırmazlık halkaları gibi) ve yarı iletken bileşenler, güçlü bir radyoaktif ortamda özelliklerini değiştirir.Moleküler pompa 105rad radyasyon yoğunluğuna dayanabilir.Anti-radyoaktif malzemeler seçilerek ve motorlu bir güç kaynağı kullanılarak anti-radyasyon gücü geliştirilebilir.Trityum pompalanırken radyoaktif element trityumun atmosfere kaçmasını önlemek için moleküler pompadaki tüm sızdırmazlık halkalarının metal malzemelerden yapılmış olması gerekir.
6.8 Ön hat pompası
Moleküler pompa performans eğrisinin yüksek basınç ucunda, giriş basıncı yaklaşık 200 Pa ile 10-1 Pa arasında değişir ve üç büyüklük mertebesini kapsar.Gaz moleküllerinin ortalama serbest yolu küçülür ve pompalama etkisi bozulmaya başlar.Bu nedenle geçiş bölgesinde destek pompasının kullanımı arttıkça moleküler pompanın pompalama hızı da artar.Foreline pompası minimum 3 L/S'den az olmamalıdır.
Yaygın hatalar ve sorun giderme
EV-Z serisi gresle yağlanan bileşik moleküler pompa, çok kademeli dinamik ve statik türbin kanatlarının nispeten yüksek hızda dönmesi yoluyla hava tahliyesini gerçekleştiren mekanik bir vakum pompasıdır.Turbomoleküler pompa, moleküler akış bölgesinde yüksek pompalama hızı ve yüksek sıkıştırma oranına sahiptir ve difüzyon pompasından daha fazla enerji tasarrufu sağlar ve yağ ve buhar kirliliği yoktur.EV serisi gresle yağlanan bileşik moleküler pompa, Çin'deki 100 kalibrelik en büyük pompalama hızına sahip moleküler pompadır.
Bu moleküler pompanın pompalanacak gaz üzerinde seçiciliği ve hafıza etkisi yoktur.Büyük moleküler ağırlığa sahip gazın yüksek sıkıştırma oranı nedeniyle pompa, soğuk tuzaklar ve yağ saptırma plakaları olmadan temiz, yüksek vakum ve ultra yüksek vakum elde edebilir..Elektronik, metalurji, kimya endüstrisi, bilimsel araştırma ve vakum teknolojisinin çeşitli alanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır.
Gönderim zamanı: Temmuz-01-2022