ЕВ серияле катнаш молекуляр насослар
EV серияле техник мәгълүматлар
Модель | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Керү Фланг (мм) | 150 CF. | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF. | 250 ISO-K | |
Фланг (мм) | 40 КФ | 40 КФ | 50 КФ | ||||
Насос тизлеге (L / S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Кысылу коэффициенты | N2 | > 109 | > 109 | > 109 | |||
H2 | > 8X103 | > 1X104 | > 1X104 | ||||
Ultimate Vacuum (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
Әйләнү тизлеге (әйләнеш) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Тибрәнү | ≤0.1 μm | ≤0.1 μm | ≤0.15 мм | ||||
Эш вакыты (мин) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
Насос | 4-8 L / S. | 8-15 L / S. | 15 L / S. | ||||
Суыту ысулы | Су (һава) суыту | Су (һава) суыту | Су (һава) суыту | ||||
Суыту су температурасы (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Әйләнә-тирә температура (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Суыту су агымы | 1-2 Л / мин | 1-2 Л / мин | 1-2 Л / мин | ||||
Температура (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Aterылыткыч көче (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Aterылыткыч кертү көчәнеше (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Монтаж | Вертикаль ± 5 ° | Вертикаль ± 5 ° | Вертикаль ± 5 ° | ||||
Авырлык (кг) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Атмосфера насосының кушылмасы
Молекуляр насос
Азот һәм водородның кысылу коэффициенты
катнаш молекуляр насос белән
ЕВ сериясен урнаштыру үлчәме Молекуляр насосның таблицасы
Модель | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Керү Фланг (мм) | 150 CF. | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF. | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | 80180 | Φ253 | 40240 | Φ305 | 90290 | |
D2 | 12212 | 12212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.9 | ¨183.9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Насос аяк винт тишеге | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | |
Фланг (мм) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV сериясе Airава-суыту кушылмасы Молекуляр насослар
EV серияле һава суытылган кушылма молекуляр насос турбомолекуляр насос һәм диск тарту насосыннан тора.Бу турбомолекуляр насосның молекуляр агымы өчен югары насос тизлеге һәм кысу коэффициенты, югары насос тизлеге һәм тарту насосының югары басымы өчен кысу коэффициенты, молекуляр насосның куллану күләмен киңәйтә.
Кушма молекуляр насосның насос газына сайлап алу һәм хәтер эффекты юк.Зур молекуляр авырлыктагы газга кысылу коэффициенты булганга, насос салкын тозаксыз һәм майлы тозсыз чиста югары һәм ультра югары вакуум ала ала.Ул электроника, металлургия, химия сәнәгате, фәнни тикшеренүләр һәм вакуум технологияләренең төрле өлкәләрендә киң кулланыла.
Модель | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Керү Фланг (мм) | 150 CF. | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF. | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | 80180 | Φ253 | 40240 | Φ305 | 90290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.8 | ¨183.8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Насос аяк винт тишеге | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 |