Масса агымын контроллеры （MFC) газларның масса агымын төгәл үлчәү һәм контрольдә тотуны тәэмин итә.
I. MFC белән MFM арасында нинди аерма бар?
Масса агымы (MFM) - газ агымын төгәл үлчәүче коралның бер төре, һәм аның үлчәү бәясе температура яки басым үзгәрүләре аркасында төгәл түгел, һәм температура һәм басым компенсациясен таләп итми. Масса агым контроллеры (MFC) гына түгел масса агымының счетчик функциясе бар, ләкин иң мөһиме, ул газ агымын автоматик рәвештә контрольдә тота ала, ягъни кулланучы агымны аларның ихтыяҗлары буенча куя ала, һәм MFC агымны автоматик рәвештә билгеләнгән кыйммәттә саклый, хәтта. система басымы uctзгәрешләр яки әйләнә-тирә температураның үзгәрүе аны билгеләнгән кыйммәттән читкә алып китмәячәк.Масса агым контроллеры - тотрыклы агым җайланмасы, ул газ белән тотрыклы агым җайланмасы, ул кул белән көйләнә яки автоматик рәвештә компьютер белән идарә ителә ала.Масса агым счетчиклары гына үлчәләр, ләкин контрольдә тотмыйлар.Масса агымы контроллерында контроль агым бар, ул газ агымын үлчәп тә, контрольдә дә тота ала.
II.Нәрсә ул структура һәмоперация принцибы?
1 ucture Структурасы
2 、 Операция принцибы
Агым кабул итү торбасына кергәч, күпчелек агым дивертер канал аша уза, аның кечкенә өлеше сенсор эчендә капилляр трубасына керә.Махсус структурасы аркасында
дивертер каналы, газ агымының ике өлеше туры пропорциональ булырга мөмкин.Сенсор җылытыла һәм җылытыла, эчтәге температура керү һавасы температурасыннан югарырак.Бу вакытта газның кечкенә өлешенең масса агымы капилляр трубасы белән җылылык үткәрү принцибы һәм калориметрия температурасы аермасы принцибы белән үлчәнә.Бу рәвешчә үлчәнгән газ агымы температура һәм басым тәэсирен санга сукмаска мөмкин.Сенсор тарафыннан ачыкланган агымны үлчәү сигналы - схема тактасына кертү һәм көчәйтелгән һәм чыгару, һәм MFM функциясе тәмамланган.Схема тактасына PID ябык әйләнешле автоматик контроль функциясен өстәп, сенсор белән үлчәнгән агымны үлчәү сигналын кулланучы биргән сигнал белән чагыштырыгыз.Шуңа нигезләнеп, контроль клапан контрольдә тотыла, агымны ачыклау сигналы куелган сигналга тигез, шулай итеп MFC функциясен тормышка ашыра.
III.Кушымталар һәм үзенчәлекләр.
MFC ， бу өлкәләрдә киң кулланыла: ярымүткәргеч һәм IC җитештерү, махсус материаллар фәннәре, химия сәнәгате, бензин сәнәгате, фармацевтика, әйләнә-тирә мохитне саклау һәм вакуум системасын тикшерү һ.б. .. Типик кушымталар үз эченә ала: диффузия кебек микроэлектрон процесс җиһазлары; , оксидлашу, эпитакси, CVD, плазма эфиры, бөтерелү, ион имплантациясе;вакуум чүпләү җиһазлары, оптик җепсел эретү, микро реакция җиһазлары, катнашу һәм туры килгән газ системасы, капиллярлы агым белән идарә итү системасы, газ хроматографы һәм башка аналитик кораллар.
MFC югары төгәллек, искиткеч кабатлау, тиз җавап, йомшак башлау, яхшырак ышанычлылык, төрле басым диапазоны (югары басым һәм вакуум ситуацияләрендә яхшы эш), гади уңайлы операция, сыгылмалы урнаштыру, автомат рәвештә башкару өчен компьютер белән тоташу мөмкин. кулланучылар системасына контроль.
IV.F белән ничек билгеләргә һәм эшләргәавырулар?
Безнең компаниядә сатудан соң профессиональ инженер бар, монтажлау һәм куллану проблемаларын чишәргә булыша ала.
Пост вакыты: 29-2022 июль