I. Механик насослар
Механик насосның төп функциясе - турбомолекуляр насосны эшләтеп җибәрү өчен кирәкле вакуум белән тәэмин итү.Гадәттә кулланыла торган механик насосларга, нигездә, вортекс коры насослар, диафрагма насослары һәм нефть белән мөһерләнгән механик насослар керә.
Диафрагма насосларының насос тизлеге түбән һәм гадәттә кечкенә молекуляр насос комплектлары өчен кулланыла.
Нефть белән мөһерләнгән механик насос - элек иң күп кулланылган механик насос, зур насос тизлеге һәм яхшы вакуум белән характерланган, җитешсезлеге - нефтьнең гомуми булуы, ультра югары вакуум системаларында гадәттә соленоид клапан белән җиһазландырылырга тиеш. (нефтьнең кайтуы аркасында килеп чыккан очраклы электр җитешсезлеген булдырмау өчен) һәм молекуляр чана (adsorption эффекты).
Соңгы елларда әйләндергеч коры насос күбрәк кулланыла. Өстенлекне куллану гади һәм нефтькә кире кайтмый, насос тизлеге һәм төп вакуум нефть белән мөһерләнгән механик насослардан бераз начаррак.
Механик насослар лабораториядә төп тавыш һәм тибрәнү чыганагы булып тора, һәм аз тавышлы насосны сайлап, аны мөмкин кадәр җиһазлар арасында урнаштыру яхшырак, ләкин соңгысы эш дистанциясе чикләүләре аркасында ирешү җиңел түгел.
II.Турбомолекуляр насослар
Турбо молекуляр насослар газның юнәлешле агымына ирешү өчен югары тизлектә әйләнүче ваннарга (гадәттә минутына 1000 революция) таяналар.Насосның эскиз басымының керү басымына мөнәсәбәте кысу коэффициенты дип атала.Кысу коэффициенты насосның этаплары саны, тизлеге һәм газ төре белән бәйле, газ кысуның гомуми молекуляр авырлыгы чагыштырмача зур.Турбомолекуляр насосның соңгы вакуумы гадәттә 10-9-10-10 мбар дип санала, һәм соңгы елларда молекуляр насос технологиясенең өзлексез алга китүе белән соңгы вакуум тагын да яхшырды.
Турбомолекуляр насосның өстенлекләре молекуляр агым халәтендә генә тормышка ашырыла (газ молекулаларының уртача ирекле диапазоны кисемтәләрнең максималь зурлыгыннан күпкә зуррак булган агым торышы), этапка кадәр вакуум насосы. 1 - 10-2 Па басым белән.Ваннарның әйләнү тизлеге югары булганга, молекуляр насос чит әйберләр, диттер, тәэсир, резонанс яки газ шокы белән бозылырга яки юкка чыгарга мөмкин.Башлап җибәрүчеләр өчен зарарның иң еш очрый торган сәбәбе - эш хаталары аркасында килеп чыккан газ шокы.Молекуляр насосның зарарлыгы механик насос белән эшләнгән резонанс аркасында да булырга мөмкин.Бу хәл чагыштырмача сирәк, ләкин аеруча игътибар таләп итә, чөнки ул мәкерле һәм җиңел табылмый.
III.Ион насосы
Ион насосының эш принцибы - Пеннинг агымы белән барлыкка килгән ионнарны катодның титан тәлинкәсен бомбалау өчен, яңа титан пленкасы формалаштыру, шулай итеп актив газларны сеңдерү һәм инерт газларына билгеле күмү эффекты. .Ион насосларын таркатуның өстенлекләре - яхшы вакуум, тибрәнү, шау-шу, пычрану, җитлеккән һәм тотрыклы процесс, хезмәт күрсәтү һәм шул ук насос тизлегендә (инерт газларыннан кала), аларның бәясе молекуляр насослардан күпкә арзан, ул ультра югары вакуум системаларында бик киң кулланыла.Гадәттә, ион насосларының гадәти эш циклы 10 елдан артык.
Ион насослары дөрес эшләү өчен, гадәттә, 10-7 мбардан югары булырга тиеш (начар вакуумнарда эшләү аларның гомерен сизелерлек киметә), шуңа күрә этап алдыннан яхшы вакуум тәэмин итү өчен молекуляр насос җыелмасы таләп ителә.Ион насосын + ТСПны төп палатада һәм керү камерасында кечкенә молекуляр насос куллану гадәти күренеш.Пешергәндә тоташтырылган клапанны ачыгыз һәм кечкенә молекуляр насос җыелмасы алгы вакуумны тәэмин итсен.
Әйтергә кирәк, ион насослары инерт газларын сеңдерергә сәләтле түгел, һәм аларның максималь насос тизлеге молекуляр насослардан бераз аерылып тора, шуңа күрә зур күләмле инерт газлары өчен молекуляр насос комплекты кирәк.Моннан тыш, ион насосы эш вакытында электромагнит кырын чыгара, бу аеруча сизгер системаларга комачаулый ала.
IV.Титан сублимация насослары
Титан сублимация насослары металл титанның парга әйләнүенә таянып эшлиләр, химизорпция өчен камера стеналарында титан пленкасы ясыйлар.Титан сублимация насосларының өстенлекләре - гади төзелеш, аз чыгымлы, җиңел хезмәт күрсәтү, нурланыш һәм тибрәнү тавышы юк.
Титан сублимация насослары гадәттә 3 титан филаментларыннан тора (янып китмәсен өчен) һәм водородны искиткеч тәэмин итү өчен молекуляр яки ион насослары белән берлектә кулланыла.Алар 10-9-10-11 мбар диапазонындагы иң мөһим вакуум насослары һәм югары вакуум дәрәҗәләре кирәк булган күпчелек ультра югары вакуум камераларына урнаштырылган.
Титан сублимация насосларының җитешсезлеге - титанның регуляр рәвештә чәчелүе, вакуум чәчелү вакытында (берничә минут эчендә) якынча 1-2 заказ зурлыгы белән начарлана, шуңа күрә аерым ихтыяҗлары булган кайбер палаталар NEG куллануны таләп итә.шулай ук, титанга сизгер үрнәкләр / җайланмалар өчен, титан сублимация насосының урнашуыннан сакланырга кирәк.
V. Криогеник насослар
Криогеник насослар вакуум алу өчен түбән температуралы физик adsorptionга таяналар, югары насос тизлеге өстенлекләре белән, пычрану юк һәм югары вакуум.Криоген насосларның насос тизлегенә тәэсир итүче төп факторлар - температура һәм насосның өслеге.Зур молекуляр нур эпитакси системаларында криогеник насослар вакуум таләпләренең югары булуы аркасында киң кулланыла.
Криоген насосларның җитешсезлекләре - сыек азотны күп куллану һәм югары эш чыгымнары.Рекиркуляция чиллеры булган системалар сыек азот кулланмыйча кулланылырга мөмкин, ләкин бу үзе белән энергия куллану, тибрәнү һәм шау-шу проблемаларын китерә.Шуңа күрә, криогеник насослар гадәти лаборатория җиһазларында аз кулланыла.
VI.Аспиратор насослары (NEG)
Саклаучы агент насосы - соңгы елларда иң күп кулланылган вакуум насосларының берсе, аның өстенлеге - химик adsorptionны тулысынча куллану, пар белән каплау һәм электромагнит пычрануы юк, еш кына молекуляр насослар белән берлектә титан сублимация насослары һәм бөтерелгән ион урынына кулланыла. насослар, җитешсезлек - югары бәяле һәм чикләнгән яңарыш, гадәттә вакуум тотрыклылыгы өчен югары таләпләр булган яки электромагнит кырларына бик сизгер системаларда кулланыла.
Моннан тыш, аспиратор насосы башлангыч активлаштырудан тыш өстәмә электр белән тәэмин итүне таләп итмәгәнгә, ул шулай ук зур системаларда насос тизлеген арттыру һәм вакуум дәрәҗәсен яхшырту өчен ярдәмче насос буларак кулланыла, бу системаны эффектив гадиләштерә ала.
Рәсем different Төрле насослар өчен эш басымы.Көчле уклар рөхсәт ителгән эш басымының максималь диапазонын күрсәтәләр, калын яшел өлешләр уртак эш басым диапазонын күрсәтәләр.
Пост вакыты: 18-2022 ноябрь