ئاممىۋى ئېقىن كونتروللىغۇچ ماس ئېقىمى ئۆلچەش ئەسۋابى CS200
Features
1. يۇقىرى ئېنىقلىق ۋە تېز ئىنكاس
CS200 MFC نىڭ توغرىلىق دەرىجىسى SP نىڭ% 1.0 گە ئۆستۈرۈلدى ، ئەڭ ئىلغار تىپلارنىڭ ئىنكاس قايتۇرۇش ۋاقتى 0.8 سېكۇنتقا يەتمىدى.
2. تۆۋەن نۆل ئايلىنىش ۋە تېمپېراتۇرا كوئېففىتسېنتى
يېڭى سېنزور تېخنىكىسىنىڭ كەشىپ قىلىنىشى CS200 MFC نى مۇقىملىقنى ساقلاپ ، تېمپېراتۇرىنىڭ داۋالغۇشىغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ.ئاپتوماتىك نۆل كۈچەيتكۈچ بولمىسا ، مۆلچەردىكى نۆل ئېقىش نىسبىتى% 0.6 FS / يىلغا يەتمەيدۇ ، تېمپېراتۇرا كوئېففىتسېنتى% 0.02 FS / ℃ (نۆل) ， 0.05% FS / ℃ (ئارىلىق).
3. مېتال پېچەتلەنگەن مودېللار ۋە يۇقىرى ساپلىق ئالاھىدىلىكى
لىنىيىدىكى CS200 MFC نىڭ ھۆل ئېقىش يولى يەر يۈزى پاسسىپ داتلاشماس پولاتتىن ياسالغان.بارلىق CS200 MFC لار SEMI ۋە ISO 9001 ئۆلچىمىگە ئاساسەن Sevenstar نىڭ دەرىجىدىن تاشقىرى دەرىجىدىن تاشقىرى 100-دەرىجىلىك تازىلىق ئۆيىگە قۇراشتۇرۇلغان.
4. ماس كېلىدىغان كۆرۈنمە يۈزى
CS200 MFC تۆۋەندىكى كۆرۈنمە يۈزىگە ماس كېلىدۇ ، بۇنى خېرىدارلار تاللىشى مۇمكىن: ± 8V- ± 16V قوش يۈزلۈك توك بىلەن تەمىنلەش ۋە + 14V- + 28V يەككە توك بىلەن تەمىنلەش ؛رەقەملىك ياكى ئوخشىتىش سىگنالى كىرگۈزۈش ۋە چىقىرىشSEMI ئۆلچەملىك مېخانىكىلىق ئۆلچەم;RS-485 ياكى DeviceNet خەۋەرلىشىش مودۇلى.
5. ھەرخىل ئىقتىدارلار
كۈچلۈك خېرىدارلار يۇمشاق دېتالى ھەر بىر مودېل بىلەن ئۆلچەملىك كېلىدۇ ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، كۆپ خىل گاز ， كۆپ دائىرىلىك ， ئاپتوماتىك نۆل ، ئاگاھلاندۇرۇش ، يۇمشاق باشلاش ۋە كېچىكىش قاتارلىق قوشۇمچە ئىقتىدارلار خېرىدارلارنىڭ تاللىشى سۈپىتىدە تەمىنلىنىدۇ.
Specification
| CS200 | |||||||
| تىپ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| تولۇق كۆلەم دائىرىسى (N2) | (0 ～ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0 ～ 2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||
| (0 ～ 1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | (0 ～ 1,2,3,5,10,20,30) SLM | ||||||
| ئېنىقلىق | ± 1.0% SP (≥35% FS) ± 0.35% FS? (＜ 35% FS) | ||||||
| Linearity | ± 0.5% FS | ||||||
| تەكرارلاش | ± 0.2% FS | ||||||
| جاۋاب ۋاقتى | ≤1sec | ≤0.8 سېكۇنت (SEMI E17-0600) | |||||
| Valve Rest Position | ئادەتتە تاقالغان ياكى | No Valve | ئادەتتە تاقالغان ياكى | No Valve | ئادەتتە تاقالغان ياكى | No Valve | |
| ئادەتتە ئوچۇق （100 sccm≤FS≤5 slm Open | ئادەتتە ئوچۇق （100 sccm≤FS≤5 slm Open | ئادەتتە ئوچۇق （100 sccm≤FS≤5 slm Open | |||||
| پەرقلىق بېسىم | 0.05 ～ 0.35MPa （Flow≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05 ～ 0.35) MPa （≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05 ～ 0.35) MPa （≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1 ～ 0.35MPa （10slm ＜ Flow≤30slm） | (0.1 ～ 0.35) MPa （＞ 10slm） | (0.1 ～ 0.35) MPa （＞ 10slm） | |||||
| 0.2 ～ 0.45MPa （Flow ＞ 30slm） | |||||||
| ئەڭ چوڭ مەشغۇلات بېسىمى | 0.45MPa | |||||
| تېمپېراتۇرا | نۆل: ≤ ± 0.05% FS / ℃; | نۆل: ≤ ± 0.02% FS / ℃;دائىرىسى: ≤ ± 0.05% FS / ℃ | ||||
| كوئېففىتسېنتى | دائىرىسى: ≤ ± 0.1% FS / ℃ （Flow≤30slm） | |||||
| دائىرىسى: ≤ ± 0.2% FS / ℃ （ئېقىمى> 30slm） | ||||||
| ئىسپات بېسىمى | 3MPa (435pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜ئاپتوماتىك 0.7% FS | |||||
| سەمىمىيەتنى ئاشكارىلاش | 1 × 10-9 atm · cc / sec He | 1 × 10-10atm · cc / sec He | ||||
| ھۆل ماتېرىياللار | Viton; | مېتال؟ (داتلاشماس پولات V / V ، 5Ra) | Metal | |||
| Surface Chemistry | —— | Cr / Fe نىسبىتى ＞ 2.0;CrO قېلىنلىقى ＞ 20 Angstroms | ||||
| Surface Finish | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| مەشغۇلات تېمپېراتۇرىسى | （5 ～ 45） ℃ | （0 ～ 50） ℃ | ||||
| كىرگۈزۈش سىگنالى | رەقەملىك: RS485 ياكى ProfiBus | N / A. | رەقەملىك: RS485 ياكى ProfiBus ياكى DeviceNetTM | N / A. | رەقەملىك: RS485 ياكى ProfiBus ياكى DeviceNetTM | N / A. |
| ياكى DeviceNetTM | ئوخشىتىش: (0 ～ 5) VDC ياكى (4 ～ 20) mA ياكى (0 ～ 20) mA | ئوخشىتىش: (0 ～ 5) VDC ياكى (4 ～ 20) mA? ياكى (0 ～ 20) mA | |||||
| ئوخشىتىش: (0 ～ 5) VDC ياكى (4 ～ 20) mA ياكى (0 ～ 20) mA | |||||||
| چىقىرىش سىگنالى | رەقەملىك: RS485 ياكى DeviceNetTM ياكى ProfiBus ئوخشىتىش: (0 ～ 5) VDC ياكى (4 ～ 20) mA ياكى (0 ～ 20) mA | ||||||
| توك بىلەن تەمىنلەش | ± 8 ~ ± 16 VDC ياكى +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| ئېلېكترونلۇق ئۇلىغۇچ | 9 pin ئەر تارماق D ， 15 pin ئەر تارماق D ， DeviceNetTM，ProfiBus ， Analog | ||||||
| Fittings | VCR1 / 4 ”M ； VCO1 / 4” M ； | VCR1 / 4 ”M; | |||||
| پىرىسلاش Φ10; پىرىسلاش Φ6 ； | Compression FittingΦ6, | ||||||
| پىرىسلاش 3/8 »;Compression Fitting1 / 4 ”； | Compression FittingΦ3, | ||||||
| Compression Fitting1 / 8 ”;Compression FittingΦ3 ； | Compression Fitting1 / 4 ”， | ||||||
| Ф6 (ئىچكى) × 1hose; ф5 (ئىچكى) × 1.5hose; ф4 (ئىچكى) × 1hose; | W-seal ， | ||||||
| A-sael; | C- تامغا | ||||||
| ئېغىرلىقى | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
