ئادەتتىن تاشقىرى يۇقىرى ۋاكۇئۇم سىستېمىسىدا ئىشلىتىلىدىغان پومپى

I. مېخانىكىلىق پومپا
مېخانىكىلىق پومپىنىڭ ئاساسلىق ئىقتىدارى تۇربىنىلىق پومپىنىڭ قوزغىلىشى ئۈچۈن زۆرۈر بولغان ئالدىنقى باسقۇچلۇق ۋاكۇئۇم بىلەن تەمىنلەش.كۆپ ئىشلىتىلىدىغان مېخانىكىلىق پومپى ئاساسلىقى قاينام-تاشقىنلىق قۇرۇق پومپا ، دىئافراگما پومپىسى ۋە ماي ​​پېچەتلەنگەن مېخانىك پومپىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
دىئافراگما پومپىنىڭ پومپىنىڭ سۈرئىتى تۆۋەن بولۇپ ، ھەجىمى كىچىك بولغاچقا ئادەتتە كىچىك مولېكۇلا پومپىسى ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.
ماي پېچەتلەنگەن مېخانىكىلىق پومپى ئىلگىرى ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلگەن مېخانىك پومپا بولۇپ ، چوڭ پومپىنىڭ سۈرئىتى ۋە ئاخىرقى ۋاكۇئۇمنىڭ ياخشىلىقى بىلەن ئىپادىلىنىدۇ ، كەمچىلىكى نېفىت قايتۇرۇشنىڭ ئومۇمىي مەۋجۇتلۇقى ، دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ۋاكۇئۇم سىستېمىسىدا ئادەتتە يالغۇز كلاپان ئورنىتىش كېرەك. (نېفىت قايتۇرۇشتىن كېلىپ چىققان تاسادىپىي توك كاشىلانىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن) ۋە مولېكۇلا ئەلگەك (سۈمۈرۈلۈش ئۈنۈمى).
يېقىنقى يىللاردىن بۇيان ، كۆپ ئىشلىتىلگىنى سىيرىلما قۇرۇق پومپا. ئەۋزەللىكى ئىشلىتىش ئاددىي ھەم مايغا قايتمايدۇ ، پەقەت پومپىنىڭ سۈرئىتى ۋە ئاخىرقى ۋاكۇئۇم ماي پېچەتلەنگەن مېخانىك پومپىدىن سەل ناچار.
مېخانىكىلىق پومپا تەجرىبىخانىدىكى ئاساسلىق شاۋقۇن ۋە تەۋرىنىشنىڭ مەنبەسى بولۇپ ، تۆۋەن شاۋقۇن پومپىسىنى تاللاپ ، ئىمكانقەدەر ئۈسكۈنىلەر ئارىسىغا قويغىنى ياخشى ، ئەمما خىزمەت ئارىلىقىنىڭ چەكلىمىسى سەۋەبىدىن كېيىنكىلەرگە ئېرىشىش ئاسان ئەمەس.
II.Turbomolecular پومپىسى
تۇربى مولېكۇلا پومپىسى يۇقىرى سۈرئەتلىك ئايلىنىش ماشىنىسىغا تايىنىدۇ (ئادەتتە مىنۇتىغا 1000 ئىنقىلاب ئەتراپىدا).پومپىنىڭ گاز چىقىرىش بېسىمىنىڭ كىرىش بېسىمىغا بولغان نىسبىتى پىرىسلاش نىسبىتى دەپ ئاتىلىدۇ.پىرىسلاش نىسبىتى پومپىنىڭ باسقۇچ سانى ، سۈرئىتى ۋە گازنىڭ تۈرى بىلەن مۇناسىۋەتلىك ، گازنى پىرىسلاشنىڭ ئومۇمىي مولېكۇلا ئېغىرلىقى بىر قەدەر يۇقىرى.تۇربىنىلىق پومپىنىڭ ئاخىرقى ۋاكۇئۇم ئادەتتە 10-9-10-10 mbar دەپ قارىلىدۇ ، يېقىنقى يىللاردىن بۇيان ، مولېكۇلا پومپىسى تېخنىكىسىنىڭ ئۈزلۈكسىز تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، ئاخىرقى ۋاكۇئۇم تېخىمۇ ياخشىلاندى.
تۇربىنىلىق پومپىنىڭ ئەۋزەللىكى پەقەت مولېكۇلا ئېقىش ھالىتىدىلا ئەمەلگە ئاشىدۇ (تەبىئىي مولېكۇلانىڭ ئوتتۇرىچە ئەركىن دائىرىسى نەيچە كېسىشمە بۆلەكنىڭ ئەڭ چوڭ چوڭلۇقىدىن كۆپ بولىدۇ) ، ئالدىنقى باسقۇچلۇق ۋاكۇئۇم پومپىسى مەشغۇلات بېسىمى 1 دىن 10-2 گىچە بولىدۇ.يۈك ماشىنىسىنىڭ ئايلىنىش سۈرئىتى يۇقىرى بولغاچقا ، مولېكۇلا پومپىسى چەتئەل جىسىملىرى ، تەۋرىنىش ، تەسىر ، رېزونانس ياكى گاز سوقۇلۇش سەۋەبىدىن بۇزۇلۇپ كېتىدۇ.يېڭى ئۆگەنگۈچىلەرگە نىسبەتەن ، ئەڭ كۆپ زىيان كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان سەۋەب مەشغۇلات خاتالىقى كەلتۈرۈپ چىقارغان گاز سوقۇلۇشى.مولېكۇلا پومپىسىنىڭ بۇزۇلۇشىنى مېخانىك پومپا كەلتۈرۈپ چىقارغان رېزونانس كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.بۇ ئەھۋال بىر قەدەر ئاز ئۇچرايدۇ ، ئەمما ئالاھىدە دىققەت قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ ، چۈنكى ئۇ تېخىمۇ ھىيلىگەر ، ئاسان بايقالمايدۇ.

III.پۈركۈش ئىئون پومپىسى
پۈركۈش ئىئونى پومپىسىنىڭ خىزمەت پرىنسىپى پېننىڭ قويۇپ بېرىشىدىن ھاسىل بولغان ئىئوندىن پايدىلىنىپ كاتودنىڭ تىتان تاختىسىنى بومباردىمان قىلىپ ، يېڭى تىتان پىلاستىنكىسى ھاسىل قىلىدۇ ، بۇنىڭ بىلەن ئاكتىپ گازلار سۈمۈرۈلۈپ ، ئىنېرت گازىغىمۇ بەلگىلىك كۆمۈش رولى بار. .ئىئون پومپىسىنىڭ پۈركۈش ئەۋزەللىكى ياخشى ئاخىرقى ۋاكۇئۇم ، تەۋرىنىش ، شاۋقۇن ، بۇلغىنىش ، پىشىپ يېتىلگەن ۋە مۇقىم جەريان ، ئاسراش ۋە ئوخشاش پومپىنىڭ سۈرئىتىدە (ئىنېرت گازىدىن باشقا) ، ئۇلارنىڭ تەننەرخى مولېكۇلا پومپىسىدىن كۆپ تۆۋەن ، ئۇلارنى دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ۋاكۇئۇم سىستېمىسىدا ئىنتايىن كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىدۇ.ئادەتتە پۈركۈش ئىئون پومپىسىنىڭ نورمال مەشغۇلات دەۋرى 10 يىلدىن ئېشىپ كېتىدۇ.
ئىئون پومپىسى نورمال ئىشلەش ئۈچۈن ئادەتتە 10-7 mbar دىن يۇقىرى بولۇشى كېرەك (ناچار ۋاكۇئۇمدا ئىشلەش ئۇلارنىڭ ئۆمرىنى كۆرۈنەرلىك تۆۋەنلىتىدۇ) ، شۇڭا مولېكۇلا پومپىسى ئورنىتىپ ، ياخشى بولغان دەسلەپكى ۋاكۇئۇم بىلەن تەمىنلەيدۇ.ئاساسلىق كامېردا ئىئون پومپىسى + TSP ۋە كىرىش ئۆيىگە ئورنىتىلغان كىچىك مولېكۇلا پومپىسى ئىشلىتىش كۆپ ئۇچرايدىغان ئادەت.پىشۇرغاندا ، ئۇلانغان قىستۇرما كلاپانىنى ئېچىڭ ھەمدە كىچىك مولېكۇلا پومپىسى ئالدى بوشلۇقنى تەمىنلەڭ.
كۆرسىتىپ ئۆتۈشكە تېگىشلىكى شۇكى ، ئىئون پومپىسىنىڭ ئىنېرت گازىنى سۈمۈرۈۋېلىش ئىقتىدارى تۆۋەن بولۇپ ، ئۇلارنىڭ ئەڭ چوڭ پومپىسى سۈرئىتى مولېكۇلا پومپىسىغا ئوخشىمايدۇ ، شۇڭا چوڭ ھەجىمدىكى ھەجىم ياكى زور مىقداردىكى ئىنېرت گازى ئۈچۈن مولېكۇلا پومپىسى ئورنىتىش تەلەپ قىلىنىدۇ.ئۇنىڭدىن باشقا ، ئىئون پومپىسى مەشغۇلات جەريانىدا ئېلېكتر ماگنىت مەيدانى ھاسىل قىلىدۇ ، بۇ ئالاھىدە سەزگۈر سىستېمىلارغا دەخلى قىلىشى مۇمكىن.
IV.تىتاننىڭ ئەۋرىشىم پومپىسى
تىتاننىڭ ئەۋرىشىم پومپىسى مېتال تىتاننىڭ پارغا ئايلىنىشىغا تايىنىپ خىزمەت قىلىدۇ ، كامېر دىۋارىدا خىمىيىلىك ماددىلارنىڭ سۈمۈرۈلۈشى ئۈچۈن تىتان پىلاستىنكىسى ھاسىل قىلىدۇ.تىتاننىڭ يۇقىرى دەرىجىدىكى پومپىسىنىڭ ئەۋزەللىكى ئاددىي قۇرۇلۇش ، تەننەرخى تۆۋەن ، ئاسراش ئاسان ، رادىئاتسىيە ۋە تەۋرىنىش ئاۋازى يوق.
تىتاننىڭ ئەۋرىشىم پومپىسى ئادەتتە 3 تىتان فىلمىسىدىن تەركىب تاپىدۇ (كۆيۈپ كېتىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ) ھەمدە مولېكۇلا ياكى ئىئون پومپىسى بىلەن بىرلەشتۈرۈپ ، ھىدروگېننى چىقىرىپ تاشلايدۇ.ئۇلار 10-9-10-11 mbar ئارىلىقىدىكى ئەڭ مۇھىم ۋاكۇئۇم پومپىسى بولۇپ ، يۇقىرى ۋاكۇئۇملۇق سەۋىيىگە ئېھتىياجلىق بولغان دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ۋاكۇئۇملۇق كامېرلارغا ئورنىتىلغان.
تىتاننىڭ ئەۋرىشىم پومپىسىنىڭ كەمچىلىكى تىتاننى قەرەللىك چېچىشنىڭ ئېھتىياجى ، ۋاكۇئۇم پۈركۈش جەريانىدا (بىر نەچچە مىنۇت ئىچىدە) تەخمىنەن 1-2 زاكاز چوڭلۇقىدا ناچارلىشىدۇ ، شۇڭا ئالاھىدە ئېھتىياجى بار بەزى ئۆيلەر NEG ئىشلىتىشنى تەلەپ قىلىدۇ.ئۇندىن باشقا ، تىتانغا سەزگۈر ئەۋرىشكە / ئۈسكۈنىلەرگە قارىتا ، تىتاننىڭ ئەۋرىشىم پومپىسىنىڭ ئورنىدىن ساقلىنىش كېرەك.
V. Cryogenic پومپىسى
خىرۇگېن پومپىسى ئاساسلىقى تۆۋەن تېمپېراتۇرىلىق فىزىكىلىق سۈمۈرۈلۈشكە تايىنىپ ۋاكۇئۇمغا ئېرىشىدۇ ، پومپىنىڭ سۈرئىتى يۇقىرى ، بۇلغىنىش ۋە يۇقىرى دەرىجىدىكى ۋاكۇئۇم ئەۋزەللىكى بار.كرىگېنلىق پومپىنىڭ پومپىنىڭ سۈرئىتىگە تەسىر كۆرسىتىدىغان ئاساسلىق ئامىللار تېمپېراتۇرا ۋە پومپىنىڭ يەر يۈزى.چوڭ مولېكۇلا نۇر دەستىسى سىستېمىسىدا ، ئاخىرقى ۋاكۇئۇم تەلىپى يۇقىرى بولغاچقا ، كرىگېنلىق پومپا كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىدۇ.
كرىستال پومپىنىڭ كەمچىلىكى سۇيۇق ئازوتنى كۆپ ئىستېمال قىلىش ۋە مەشغۇلات تەننەرخى يۇقىرى.ئايلانما توڭلاتقۇ بار سىستېمىلارنى سۇيۇق ئازوت ئىستېمال قىلماي ئىشلىتىشكە بولىدۇ ، ئەمما بۇ ئېنېرگىيە سەرپىياتى ، تەۋرىنىش ۋە شاۋقۇنغا ماس كېلىدىغان مەسىلىلەرنى ئېلىپ كېلىدۇ.بۇ سەۋەبتىن ، خىروگېنلىق پومپا ئادەتتىكى تەجرىبىخانا ئۈسكۈنىلىرىدە كۆپ ئىشلىتىلمەيدۇ.
VI.ئاسپىراتور پومپىسى (NEG)
سۈمۈرگۈچ ۋاكالەتچى پومپىسى يېقىنقى يىللاردا كۆپ ئىشلىتىلىدىغان ۋاكۇئۇم پومپىنىڭ بىرى ، ئۇنىڭ ئەۋزەللىكى خىمىيىلىك سۈمۈرۈلۈشنى تولۇق ئىشلىتىش ، ھور تاختىلىرى ۋە ئېلېكتر ماگنىت بۇلغىنىشى يوق ، دائىم مولېكۇلا پومپىسى بىلەن بىرلىشىپ تىتاننىڭ يۇقىرى دەرىجىدىكى پومپىسى ۋە پۈركۈش ئىئونىنىڭ ئورنىنى ئالىدۇ. پومپىنىڭ كەمچىلىكى يۇقىرى تەننەرخ ۋە قايتا ھاسىل بولىدىغان چەكلىك سان بولۇپ ، ئادەتتە ۋاكۇئۇمنىڭ مۇقىملىقىغا يۇقىرى تەلەپ قويۇلغان ياكى ئېلېكتر ماگنىت مەيدانىغا ئىنتايىن سەزگۈر سىستېمىلاردا ئىشلىتىلىدۇ.
ئۇنىڭدىن باشقا ، ئاسما ئوكۇل پومپىسى دەسلەپكى قوزغىتىشتىن باشقا قوشۇمچە توك بىلەن تەمىنلەشنى تەلەپ قىلمىغاچقا ، ئۇ يەنە چوڭ سىستېمىلاردا ياردەمچى پومپا سۈپىتىدە پومپىنىڭ سۈرئىتىنى ئاشۇرۇپ ، ۋاكۇئۇم دەرىجىسىنى ئۆستۈرىدۇ ، بۇ سىستېمىنى ئۈنۈملۈك ئاددىيلاشتۇرالايدۇ.

رەسىم different ئوخشىمىغان تىپتىكى پومپىنىڭ خىزمەت بېسىمى.قوڭۇر يا ئوق ئەڭ يۇقىرى رۇخسەت قىلىنغان مەشغۇلات بېسىمى دائىرىسىنى ، توم يېشىل يېشىل زاپچاسلار ئورتاق خىزمەت بېسىمىنى كۆرسىتىپ بېرىدۇ.