Складні молекулярні насоси серії EV
Технічні дані серії EV
| Модель | ЕВ-600 EV-600F | ЕВ-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
| Вхідний фланець (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| Вихідний фланець (мм) | 40 кФ | 40 кФ | 50 кФ | ||||
| Швидкість накачування (л/с) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
| Ступінь стиснення | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
| H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
| Максимальний вакуум (Па) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
| Швидкість обертання (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
| Вібрація | ≤0,1 мкм | ≤0,1 мкм | ≤0,15 мкм | ||||
| Час запуску (хв.) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
| Підтримуючий насос | 4-8 л/с | 8-15 L/S | 15 л/с | ||||
| Спосіб охолодження | Водяне (повітряне) охолодження | Водяне (повітряне) охолодження | Водяне (повітряне) охолодження | ||||
| Температура охолоджуючої води (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
| Температура навколишнього середовища（℃） | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
| Кількість потоку охолоджуючої води | 1-2 л/хв | 1-2 л/хв | 1-2 л/хв | ||||
| Температура випікання (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
| Потужність нагрівача (Вт) | <250 | <300 | <300 | ||||
| Вхідна напруга нагрівача（v） | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
| Монтаж | По вертикалі ±5° | По вертикалі ±5° | По вертикалі ±5° | ||||
| Вага (кг) | ≈25 | ≈29 | ≈31 | ||||
Атмосферна крива накачування сполуки
Молекулярний насос
Крива ступеня стиснення азоту і водню
складним молекулярним насосом
Таблиця монтажних розмірів серії EV складного молекулярного насоса
| Модель | ЕВ-600 | ЕВ-1200 | EV-1600 | ||||
| Вхідний фланець (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
| D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
| D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
| D4 | ¨ 145,7 | ¨ 145,7 | ¨ 167,6 | ¨ 167,6 | ¨ 183,9 | ¨ 183,9 | |
| H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
| H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
| H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
| Отвір під гвинт ніжки насоса | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | |
| Вихідний фланець (мм) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 | |
Молекулярні насоси повітряного охолодження серії EV
Комбінований молекулярний насос із повітряним охолодженням серії EV складається з турбомолекулярного насоса та дискового тягового насоса.Він має характеристики високої швидкості накачування та ступеня стиснення для молекулярного потоку турбомолекулярного насоса, високої швидкості накачування та ступеня стиснення для високого тиску тягового насоса та розширює сферу застосування молекулярного насоса.
Складний молекулярний насос не має селективності та ефекту пам’яті щодо газу, що перекачується.Завдяки високому ступеню стиснення газу з великою молекулярною масою насос може отримувати чистий високий і надвисокий вакуум без холодної пастки та масляної перегородки.Він широко використовується в різних галузях електроніки, металургії, хімічної промисловості, наукових досліджень і вакуумної техніки.
| Модель | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
| Вхідний фланець (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
| D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
| D3 | ¨ 145,7 | ¨ 145,7 | ¨ 167,6 | ¨ 167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
| H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
| H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
| H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
| Отвір під гвинт ніжки насоса | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 |
