Турбомолекулярний насос серії EV
Профільні розміри та монтажні з'єднання турбомолекулярних насосів
Крива швидкості турбомолекулярного насоса
перекачування азоту і водню
Крива швидкості турбомолекулярної
насос в атмосферу
Технічні дані EV-3600
Вхідний фланець (мм) | 400 ISO - K | |
Вихідний фланець (мм) | 100 ISO - К | |
Швидкість накачування(L/S) | 3600 | |
Ступінь стиснення | N2 | >108 |
H2 | >5X102 | |
Граничний тиск(Па) | <2X10-6 | |
Номінальна швидкість (об/хв) | 13500 | |
Вібрація | ≤0,15 мкм | |
Час початку(хв) | <11 | |
Час зупинки(хв) | <20 | |
Рекомендований роторний насос | 30-70 л/с | |
Спосіб охолодження | Водяне охолодження | |
Температура водяного охолодження (℃) | ≤25 | |
Потік водяного охолодження(л/хв) | 2 | |
Температура запікання корпусу насоса | <120 ℃ | |
Режим встановлення | По вертикалі ±5° | |
Вага(кг) | ≈100 |
Напишіть своє повідомлення тут і надішліть його нам