Висока швидкість накачування, довговічність, низький рівень шуму, вакуумний насос повітряного насоса DRV
Вакуумний насос серії DRV — це двоступеневий ротаційний лопатевий вакуумний насос із масляним ущільненням, який підходить для застосувань із низьким і середнім вакуумом, головним чином для видалення повітря та інших сухих газів.Це одне з основних обладнання для низького та середнього вакууму, його можна використовувати окремо або як передню
насос інших вакуумних насосів.
Вакуумний насос має характеристики надійної роботи, менше деталей, що зношуються, низьку вібрацію, низький рівень шуму та високу ефективність.
Вакуумний насос серії SV імпортується з іноземних передових технологій, а ключові компоненти є імпортними компонентами або імпортованими
матеріалів.Вакуумний насос серії DRV може повністю замінити аналогічну іноземну продукцію.
Брошура для молекулярних насосів серії EVFB
Модель:
EVFB-100/301 Комплексний інтегрований молекулярний насос
EVFB-160/401 Комплексний інтегрований молекулярний насос
EVFB-160/450D Антивібраційний молекулярний насос
EVFB-160/701Компаундний інтегрований молекулярний насос
EVFB-200/1401 Комплексний інтегрований молекулярний насос
EVFB-250/2201 Комплексний інтегрований молекулярний насос
EVFB-160/701Компаундний молекулярний насос
EVFB-200/1401 Складний молекулярний насос
EVFB-250/2201 Складний молекулярний насос
EVFB-400/3600 Турбомолекулярний насос
EVFB-400/4500 Турбомолекулярний насос
огляд товару
Молекулярний насос є різновидом високошвидкісного обертового вакуумного насоса для передачі імпульсу, його робочий діапазон тиску зазвичай становить 10-1Па ~ 10-7Pa є одним із важливих вакуумних пристроїв для досягнення високого та надвисокого вакууму.Молекулярний насос має такі переваги, як швидкий запуск, широкий робочий діапазон, низьке енергоспоживання, висока чистота та просте обслуговування.
Продукти молекулярного насоса, описані в цьому прикладі, є продуктами другого покоління
нещодавно запущені компанією, які в основному розроблені та оптимізовані для промислового вакууму та наукових досліджень, включаючи першу серію продуктів промислового вакуумного молекулярного насоса з інтегрованими контролерами та гнучкими сценаріями застосування.Відповідно до калібру, в основному є DN100, DN160, DN200, DN250 і DN400 та інші продукти.
Інтегральний молекулярний насос з мастилом
Основні особливості цієї серії продуктів:
（1） Інтегрований контролер: інтегрований дизайн контролера，Спрощення інтеграції системи，Ключовий пуск-зупинка；
(2) Прецизійний підшипник: прецизійний керамічний кульковий підшипник із мастилом, встановлений під будь-яким кутом;
（3） Висока надійність: загальні ротори, технологія приводу BLDC;
（4） Функціональна різноманітність: повний спектр аксесуарів, доступні індивідуальні рішення;
（5） Забезпечити регульовану функцію швидкості， Щоб відповідати вимогам різноманітної швидкості накачування；
Ця серія продуктів в основному підходить для PVD, CVD, рідкокристалічних пластин та інших промислових покриттів;Мас-спектрометрія, фізика високих енергій, вакуумне виявлення витоків, медицина та біологічна інженерія та інші галузі наукових досліджень.
Технічні характеристики молекулярного насоса
| Модель | ЕВФБ-100/301 | ЕВФБ-160/401 | EVFB-160/450D（на замовлення） | ||||
| ☑The вакуум параметри | |||||||
| Накачування швидкість (л/с) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Ultimate тиск | < 5×10-6 Па (LF);< 5×10 -7 Па (CF) | < 8×10 -6 Па (LF) < 8×10 -7 Па (CF) | |||||
| Компресія співвідношення | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Максимальна безперервна впускss уре | 10 Па | 2Па | 10 Па | 2 Па | 20 | 5 Па | |
| Максимальний безперервний передній тиск | 300 | 200 | 300 | 200 Па | 20 | 10 Па | |
| Толерантність до максимального тиску | 1000 | 500 | 1000 | 500 Па | 50 | 20 Па | |
| ☑фізичний параметр | |||||||
| Вхідний отвір фланець | DN100 ISO-K (LF) або CF | DN160 ISO-K (LF) або CF | |||||
| Передня лінія фланець | DN25 ISO-KF або DN40KF（Додатково） | ||||||
| Чистка фланець | DN16 ISO-KF | ||||||
| вага | 9,6 кг（ISO-K | 10 кг（ISO-K） | |||||
| 10 кг（CF） | 11 кг（CF） | ||||||
| Вібрація | ≤0,05 мкм | ||||||
| Шум | ≤55 дБ（стандартне повітряне охолодження） | ||||||
| Підшипник | Керамічний кульковий підшипник, змащений консистентною мастилом | ||||||
| Операційна положення | Будь-який | ||||||
| Oper.ambient Магнітний поле | ≤3 mT（Найбільша 10mT，Потрібно налаштувати） | ||||||
| Опер.амбі nt | Повітряне охолодження | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Водяне охолодження | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Вимоги до охолоджувальної води | Температура води: 15-30 ℃；тиск: 0,15 МПа；PH6~8，чітко，без нафти；потік:≥1л/хв | ||||||
| Рекомендовано передній насос | 2~6 л/с | 3~8 л/с | |||||
| ☑Контролер параметри | |||||||
| Контролер | EVFB-II | ||||||
| ротаційний швидкість | 48000 rp | 36000 об/хв | |||||
| Низький швидкість | 33600рп | 25200 обертів за хвилину | |||||
| Стартап час | ≤5 хв | ||||||
| Напруга | 48 В змінного струму ± 2% | ||||||
| спілкування режим | RS-485 | ||||||
| Модель | ЕВФБ-160/701 | ЕВФБ-200/1401 | ЕВФБ-250/2201 | ||||
| ☑The вакуум параметри | |||||||
| Ultimate тиск (Па) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Накачування швидкість (л/с) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 рік | 1800 рік | ||
| Компресія співвідношення | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Максимальна безперервна впускss ure(Па) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Максимальний безперервний передній тиск (Па) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress уретолерантність (Па) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑фізичний параметр | |||||||
| Вхідний отвір фланець | DN160 ISO-K（LF）або CF | DN200 ISO-K （LF）或 CF | DN250 ISO-K （LF）або | ||||
| Передня лінія фланець | DN25 ISO-KF або KF40 (додатково) | DN40 ISO-KF або KF50 (додатково) | |||||
| Чистка фланець | DN16 ISO-KF | ||||||
| Рекомендовано передній насос (л/с) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| вага（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Вібрація | ≤ | ||||||
| Шум (дБ) | ≤ | ||||||
| Підшипник | Керамічний кульковий підшипник, змащений консистентною мастилом | ||||||
| Операційна положення | Будь-який | ||||||
| Магнітний поле інтенсивність (mT) | ≤3（Найбільший 10mT，Потрібно налаштувати） | ||||||
| Oper.ambient температура | повітря охолодження | 5~35 ℃ | |||||
| вода охолодження | 5~40 ℃ | ||||||
| Охолодження води вимоги | Температура води: 15-25 ℃；тиск: 0,15 МПа；PH6~8，чітко，без масла ；потік: ≥1,5 л/хв | ||||||
| ☑Контролер параметри | |||||||
| Контролер | EVFB-III-A | ||||||
| спілкування режим | RS-485 | ||||||
| Напруга（V） | 220 В змінного струму ± 10% | ||||||
| Частота（Hz） | 50/60±5% | ||||||
| Максимум введення потужність（W） | 100 | ||||||
| Пуск/зупинка КОНТРОЛЬ режим | Кнопки контролера керують запуском і зупинкою /запуск і зупинка контролера RS485 /запуск і зупинка керування DB15 | ||||||
| Огородження | Перевищення струму контролера, перенапруга, низька напруга, захист від перегріву, перевищення струму молекулярного насоса, перевантаження, захист від перегріву тощо | ||||||
| ротаційний швидкість (об/хв) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | ||||
| Низький швидкість (об/хв) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | ||||
| поточний（A） | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| захист запобіжник（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Час запуску（хв） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Час простою（хв） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Загальні розміри
| Модель | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| ЕВФБ-100/301 | 100 LF | 130 | 253.5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| ЕВФБ-160/401 | 160 LF | 180 | 239.5 | 169,5 | 159.5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238.5 | 168,5 | 158.5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169,5 | 159.5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158.5 | 181 | 20 |
| Модель | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| ЕВФБ-160/700 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336,8 | 201.8 | 124.8 |
| ЕВФБ-160/701 | 160CF | 202 | 218.5 | 268,8 | 359,8 | 224.8 | 124.8 |
| ЕВФБ-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| ЕВФБ-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248.5 | 155.1 |
| ЕВФБ-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| ЕВФБ-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165.3 |
Замовлення Інформація
| Номер | Продукт модель | Продукт код | Аксесуари | порядокномер | Поясніть |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | стандартний молекулярний насос | A3123 | Стандартний насос（Повітряне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана（малий потік） | A3123-A | Стандартний насос + аксесуари продувального клапана (малий потік) | |||
| Компоненти водяного охолодження | A3123-B | Стандартний насос + компоненти водяного охолодження（Замініть компоненти з повітряним охолодженням） | |||
| Аксесуари продувного клапана （малий потік）、компоненти водяного охолодження | A3123-C | Стандартний насос + аксесуари продувного клапана（малий потік）+ компоненти водяного охолодження（замініть компоненти повітряного охолодження） | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | стандартний молекулярний насос | A3124 | Стандартний насос（Повітряне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана（малий потік） | A3124-A | Стандартний насос + аксесуари продувального клапана (малий потік) | |||
| Компоненти водяного охолодження | A3124-B | Стандартний насос + компоненти водяного охолодження（Замініть компоненти з повітряним охолодженням） | |||
| Аксесуари продувного клапана （малий потік）、компоненти водяного охолодження | A3124-C | Стандартний насос + аксесуари продувного клапана（малий потік）+ компоненти водяного охолодження（замініть компоненти повітряного охолодження） | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | стандартний молекулярний насос | A3127 | Стандартний насос（Повітряне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана（малий потік） | A3127-A | Стандартний насос + аксесуари продувального клапана (малий потік) | |||
| Компоненти водяного охолодження | A3127-B | Стандартний насос + компоненти водяного охолодження（Замініть компоненти з повітряним охолодженням） | |||
| Аксесуари продувного клапана （малий потік）、компоненти водяного охолодження | A3127-C | Стандартний насос + аксесуари продувного клапана（малий потік）+ компоненти водяного охолодження（замініть компоненти повітряного охолодження） | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | стандартний молекулярний насос | A3128 | Стандартний насос（Повітряне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана（малий потік） | A3128-A | Стандартний насос + аксесуари продувального клапана (малий потік) | |||
| Компоненти водяного охолодження | A3128-B | Стандартний насос + компоненти водяного охолодження（Замініть компоненти з повітряним охолодженням） | |||
| Аксесуари продувного клапана | A3128-C | Стандартний насос + Продувальний клапан |
| （малий потік）、компоненти водяного охолодження | аксесуари（малий потік）+ компоненти водяного охолодження (замінитикомпоненти з повітряним охолодженням) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | стандартний молекулярний насос | A3129 | Стандартний насос（Повітряне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана（малий потік） | A3129-A | Стандартний насос + аксесуари продувального клапана (малий потік) | |||
| Компоненти водяного охолодження | A3129-B | Стандартний насос + компоненти водяного охолодження（Замініть компоненти з повітряним охолодженням） | |||
| Аксесуари продувного клапана （малий потік）、компоненти водяного охолодження | A3129-C | Стандартний насос + аксесуари продувного клапана（малий потік）+ компоненти водяного охолодження（замініть компоненти повітряного охолодження） | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | стандартний молекулярний насос | A3130 | Стандартний насос（Повітряне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана（малий потік） | A3130-A | Стандартний насос + аксесуари продувального клапана (малий потік) | |||
| Компоненти водяного охолодження | A3130-B | Стандартний насос + компоненти водяного охолодження（Замініть компоненти з повітряним охолодженням） | |||
| Аксесуари продувного клапана （малий потік）、компоненти водяного охолодження | A3130-C | Стандартний насос + аксесуари продувного клапана（малий потік）+ компоненти водяного охолодження（замініть компоненти повітряного охолодження） | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | стандартний молекулярний насос | A3139 | Стандартний насос (водяне охолодженнястандартний за замовчуванням) |
| Аксесуари продувного клапана | A3139-A | Стандартний насос + Продувальний клапанаксесуари | |||
| Компоненти вентилятора | A3139-B | Стандартний насос + вентилятор | |||
| Аксесуари продувного клапана,Компоненти вентилятора | A3139-C | Стандартний насос + Продувальний клапанаксесуари + компоненти вентилятора | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | стандартний молекулярний насос | A3140 | Стандартний насос (водяне охолодженнястандартний за замовчуванням) |
| Аксесуари продувного клапана | A3140-A | Стандартний насос + Продувальний клапанаксесуари | |||
| Компоненти вентилятора | A3140-B | Стандартний насос + компоненти вентилятора | |||
| Аксесуари продувного клапана,Компоненти вентилятора | A3140-C | Стандартний насос + Продувальний клапанаксесуари + компоненти вентилятора | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | стандартний молекулярний насос | A3135 | Стандартний насос（Водяне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана | A3135-A | Стандартний насос + Продувальний клапанаксесуари | |||
| Компоненти вентилятора | A3135-B | Стандартний насос + компоненти вентилятора | |||
| Аксесуари продувного клапана, | A3135-C | Стандартний насос + Продувальний клапан |
| Компоненти вентилятора | аксесуари + компоненти вентилятора | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | стандартний молекулярний насос | A3136 | Стандартний насос（Водяне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана | A3136-A | Стандартний насос + Продувальний клапанаксесуари | |||
| Компоненти вентилятора | A3136-B | Стандартний насос + компоненти вентилятора | |||
| Аксесуари продувного клапана、 | A3136-C | Стандартний насос + Продувальний клапанаксесуари + компоненти вентилятора | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | стандартний молекулярний насос | A3141 | Стандартний насос（Водяне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана | A3141-A | Стандартний насос + Продувальний клапанаксесуари | |||
| Компоненти вентилятора | A3141-B | Стандартний насос + вентилятор | |||
| Аксесуари продувного клапана、Компоненти вентилятора | A3141-C | Стандартний насос + Продувальний клапанаксесуари + компоненти вентилятора | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | стандартний молекулярний насос | A3142 | Стандартний насос（Водяне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана | A3142-A | Стандартний насос + Продувальний клапанаксесуари | |||
| Компоненти вентилятора | A3142-B | Стандартний насос + вентилятор | |||
| Аксесуари продувного клапана、 | A3142-C | Стандартний насос + Продувальний клапанаксесуари + компоненти вентилятора | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Контролер молекулярного насоса（Підходить для молекулярних насосів, таких як EVFB-100/301、EVFB-160/401、EVFB-100/450D） |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Контролер молекулярного насоса (підходить для молекулярних насосів, таких як EVFB- 160/701、EVFB- 200/1401、EVFB-250/2201) |
Молекулярні насоси розділених сполук
Основні особливості цієї серії продуктів:
（1） Окремий контролер: джерело живлення AC220V，Клавіша старт-стоп；
（2） Висока надійність: загальні ротори, технологія приводу BLDC;
（3） Прецизійний підшипник: прецизійний керамічний кульковий підшипник，Встановлюється під будь-яким кутом（Лише моделі з мастилом））
（4） Функціональна різноманітність: повний спектр аксесуарів, доступні індивідуальні рішення;
（5） Забезпечує регульовану функцію швидкості，Для задоволення вимог різноманітної швидкості накачування； Ця серія продуктів в основному застосовується до PVD, CVD, рідкокристалічних пластин та інших
промислове покриття, наукові дослідження та інші сфери.
Технічні параметри молекулярного насоса
| Модель | ЕВФБ-160/701 | ЕВФБ-200/1401 | ЕВФБ-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑The вакуум параметри | ||||||||||
| Граничний тиск (Па) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Накачування швидкість (л/с) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 рік | 1800 рік | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Ступінь стиснення | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Максимум безперервний вхідний отвіртиск (Па) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
| Максимумбезперервний Передня лінія | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Максимальний вихідний тиск (Па) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑фізичний параметр | ||||||||||
| Вхідний отвір фланець | DN160 ISO-K (LF) або CF | DN200 ISO-K (LF) або CF | DN250 ISO-K (LF) або CF | DN400 ISO-K (LF) або CF | DN400 ISO-K (LF) або CF | |||||
| Передня лінія фланець | DN25 ISO-KF，KF40（Додатково） | DN40 ISO-KF，KF50（Додатково） | DN100 ISO-K（LF） | DN100 ISO-K（LF）або KF50（Додатково） | ||||||
| Чистка фланець | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Рекомендовано | 4~10 л/с | 8~16 л/с | 16~24 л/с | 30~70 л/с | ||||||
| вага（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Вібрація | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Шум (дБ) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Підшипник | Керамічний кульковий підшипник, змащений консистентною мастилом | Керамічний кульковий підшипник | ||||
| Операційна положення | Будь-який | По вертикалі±5° | ||||
| Опер.Ембіент Магнітне поле | ≤ 3mT（найбільший 10mT，Потрібно налаштувати） | ≤ 3mT | ||||
| опер.навколишній температура | повітря охолодження | 5~35oC | / | / | ||
| Водяне охолодження | 5~40oC | |||||
| Охолодження води вимоги | Температура води: 15-25 ℃；попередня впевненість: 0,15 МПа；потік:≥1,5 л/хв. | потік: ≥ 3 л/хв | ||||
| ☑Контролер параметри | ||||||
| Відокремлені контролер | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI（4U） | ||||
| Дистанційний КОНТРОЛЬ | Ультрадистанційний контроль (зверніться до наших інженерів) | |||||
| спілкування режим | RS-485 | |||||
| Напруга（V） | Від 100 до 240 В змінного струму (±). | 220VAC（±10%） | ||||
| Частота（Hz） | 50/60 Гц±5% | |||||
| Максимальна споживана потужність（W） | 1000 | 1500 | ||||
| Пуск/зупинка КОНТРОЛЬ режим | Кнопки контролера керують запуском і зупинкою /запуск і зупинка контролера RS485 /запуск і зупинка керування DB15 | |||||
| Огородження | Контролер перевантаження по струму, перевищення напруги, зниження напруги, захист від перегріву, перевищення струму молекулярного насоса,захист від перевантаження, перегріву тощо | |||||
| ротаційний швидкість (об/хв) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | 13500±0,1% | 16200±0,1% | |
| Низький швидкість (об/хв) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | / | ||
| поточний（A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| захист запобіжник（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Стартап час（хв） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Час простою（хв） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| опер. навколишній хвороба | Відсутність корозійних газів і явних частинок пилу；температура навколишнього середовища: -10℃~50℃；навколишнє середовищевологість: ≤ 90%, інтенсивність вібрації: ≤ 0,5 г | |||||
0загальний вимір
| Модель | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| ЕВФБ-160/700 ЕВФБ-160/701 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336,8 | 201.8 | 124.8 |
| 160CF | 202 | 218.5 | 268,8 | 359,8 | 224.8 | 124.8 | |
| ЕВФБ-200/1400 ЕВФБ-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248.5 | 155.1 | |
| ЕВФБ-250/2200 ЕВФБ-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165.3 |
Розміри турбомолекулярного насоса EVFB-400/3600
Розміри турбомолекулярного насоса EVFB-400/4500
Зовнішній вигляд окремого контролера
Розділений контролер EVFB-III-B（2U）
Окремий контролер EVFB-VI（4U）
порядок Інформація
| номер | Продукт модель | продукт код | Аксесуари | порядок номер | Поясніть |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Стандартний молекулярний насос | A3139-F | Стандартний насос（Водяне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана | A3139-FA | Стандартний насос + аксесуари для продувального клапана | |||
| Компоненти вентилятора | A3139-FB | Стандартний насос + компоненти вентилятора | |||
| Аксесуари продувного клапана, компоненти вентилятора | A3139-FC | Стандартний насос + аксесуари продувного клапана + компоненти вентилятора | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | стандартний молекулярний насос | A3140-F | Стандартний насос（Водяне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана | A3140-FA | Стандартний насос + аксесуари для продувального клапана | |||
| Компоненти вентилятора | A3140-FB | Стандартний насос + компоненти вентилятора | |||
| Аксесуари продувного клапана, компоненти вентилятора | A3140-FC | Стандартний насос + аксесуари продувного клапана + компоненти вентилятора | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | стандартний молекулярний насос | A3135-F | Стандартний насос（Водяне охолодження стандартний за замовчуванням) |
| Аксесуари продувного клапана | A3135-FA | Стандартний насос + аксесуари для продувального клапана | |||
| Компоненти вентилятора | A3135-FB | Стандартний насос + компоненти вентилятора | |||
| Аксесуари продувного клапана, компоненти вентилятора | A3135-FC | Стандартний насос + аксесуари продувного клапана + компоненти вентилятора | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | стандартний молекулярний насос | A3136-F | Стандартний насос（Водяне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана | A3136-FA | Стандартний насос + аксесуари для продувального клапана | |||
| Компоненти вентилятора | A3136-FB | Стандартний насос + компоненти вентилятора | |||
| Аксесуари продувного клапана, компоненти вентилятора | A3136-FC | Стандартний насос + аксесуари продувного клапана + компоненти вентилятора | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | стандартний молекулярний насос | A3141-F | Стандартний насос（Водяне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана | A3141-FA | Стандартний насос + аксесуари для продувального клапана | |||
| Компоненти вентилятора | A3141-FB | Стандартний насос + компоненти вентилятора | |||
| Аксесуари продувного клапана, компоненти вентилятора | A3141-FC | Стандартний насос + аксесуари продувного клапана + компоненти вентилятора | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | стандартний молекулярний насос | A3142-F | Стандартний насос（Водяне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана | A3142-FA | Стандартний насос + аксесуари для продувального клапана | |||
| Компоненти вентилятора | A3142-FB | Стандартний насос + компоненти вентилятора | |||
| Аксесуари продувного клапана | A3142-FC | Стандартний насос + Продувальний клапан |
| Компоненти вентилятора | аксесуари + компоненти вентилятора | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | стандартний молекулярний насос | A3187 | Стандартний насос (водяне охолодження стандартний за замовчуванням) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | стандартний молекулярний насос | A3188 | Стандартний насос (водяне охолодження стандартний за замовчуванням) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | стандартний молекулярний насос | A3185 | Стандартний насос（Водяне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана | A3185-A | Стандартний насос + аксесуари для продувального клапана | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | стандартний молекулярний насос | A3186 | Стандартний насос（Водяне охолодження є стандартним за замовчуванням） |
| Аксесуари продувного клапана | A3186-A | Стандартний насос + аксесуари для продувального клапана | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Панель з ручним керуванням |
A3261-1 | За бажанням клієнта, підходить для молекулярних насосів, таких як EVFB-160/701 、 EVFB-200/1401 、EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Окремий контролер （4U） | A3270 | Підходить для турбомолекулярних насосів, таких як EVFB-400/3600、EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Окремий контролер （2U） | A3264 | Підходить для молекулярних насосів, таких як EVFB-160/701 、 EVFB- 200/1401 、 EVFB-250/2201 (відокремлений тип) |
