Контролер масової витрати Вимірювач масової витрати CS200
особливості
1. Висока точність і швидка реакція
Точність CS200 MFC була підвищена до ±1,0% від SP, а найдосконаліші моделі мають зменшений час відгуку менше 0,8 с.
2. Низький дрейф нуля та температурний коефіцієнт
Винахід нової сенсорної технології дозволяє CS200 MFC підтримувати стабільність і витримувати температурні коливання.Без підсилювача автоматичного встановлення нуля очікуваний дрейф нуля становить менше 0,6% повної шкали/рік, а температурний коефіцієнт менше 0,02% повної шкали/℃ (нуль), 0,05% повної шкали/℃ (інтервал).
3. Моделі з металевим ущільненням і функція високої чистоти
Зволожений шлях потоку серії CS200 MFC виготовлено з пасивованої поверхні нержавіючої сталі.Усі МФЦ CS200 збираються в ультрачистих чистих приміщеннях класу 100 Sevenstar відповідно до стандартів SEMI та ISO 9001.
4. Сумісні інтерфейси
CS200 MFC сумісний з наступними інтерфейсами, які можуть бути обрані замовником: ±8V-±16V двостороннє джерело живлення та +14V-+28V одностороннє джерело живлення;вхід і вихід цифрового або аналогового сигналу;Стандартні механічні розміри SEMI;і комунікаційний модуль RS-485 або DeviceNet.
5. Різні функції
Потужне програмне забезпечення для користувача постачається в стандартній комплектації з кожною моделлю, тоді як додаткові функції, такі як багатогазові, багатодіапазонні, автоматичне обнулення, сигналізація, плавний пуск і затримка доступні на вибір клієнта.
Специфікація
| CS200 | |||||||
| Тип | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Повний діапазон (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Точність | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (<35% FS) | ||||||
| Лінійність | ±0,5% FS | ||||||
| Повторюваність | ±0,2% FS | ||||||
| Час реакції | ≤1 сек | ≤0,8 с (SEMI E17-0600) | |||||
| Позиція спокою клапана | Нормально закритий або | Немає клапана | Нормально закритий або | Немає клапана | Нормально закритий або | Немає клапана | |
| Нормально відкритий（100 sccm≤FS≤5 slm） | Нормально відкритий（100 sccm≤FS≤5 slm） | Нормально відкритий（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Перепад тиску | 0,05 ~ 0,35 МПа （Потік≤10 slm） | ＜0,02 МПа | (0,05～0,35) МПа（≤10slm） | ＜0,02 МПа | (0,05～0,35) МПа（≤10slm） | ＜0,02 МПа | |
| 0,1～0,35 МПа（10slm＜Потік≤30slm） | (0,1～0,35) МПа（＞10slm） | (0,1～0,35) МПа（＞10slm） | |||||
| 0,2 ~ 0,45 МПа （Потік > 30 slm） | |||||||
| Максимальний робочий тиск | 0,45 МПа | |||||
| температура | Нуль: ≤±0,05% FS/℃; | Нуль: ≤±0,02% FS/℃;Діапазон: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Коефіцієнт | Діапазон: ≤±0,1% FS/℃（Потік≤30slm） | |||||
| Діапазон: ≤±0,2% FS/℃（Потік>30slm） | ||||||
| Доказовий тиск | 3 МПа (435 psig) | |||||
| Нульовий дрейф | ＜0,6%FS на рік без автообнулення | |||||
| Витік цілісності | 1×10-9 атм·куб.см / сек Ге | 1×10-10 атм·куб.см / сек Не | ||||
| Змочувані матеріали | Вітон; | Метал? (Нержавіюча сталь V/V, 5Ra) | метал | |||
| Хімія поверхні | —— | Співвідношення Cr/Fe >2,0;Товщина CrO >20 ангстрем | ||||
| Оздоблення поверхні | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Робоча температура | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Вхідний сигнал | Цифровий: RS485 або ProfiBus | N/A | Цифровий: RS485 або ProfiBus або DeviceNetTM | N/A | Цифровий: RS485 або ProfiBus або DeviceNetTM | N/A |
| або DeviceNetTM | Аналоговий: (0～5)VDC або (4～20)mA або (0～20)mA | Аналоговий: (0～5)VDC або (4～20)mA?або (0～20)mA | |||||
| Аналоговий: (0～5)VDC або (4～20)mA або (0～20)mA | |||||||
| Вихідний сигнал | Цифровий: RS485 або DeviceNetTM або ProfiBus Аналоговий: (0～5)VDC або (4～20)mA або (0～20)mA | ||||||
| Джерело живлення | ±8 ~ ±16 В постійного струму або +14 ~ +28 В постійного струму (400 мА) | ||||||
| Електронний роз'єм | 9-контактний штекер Sub-D ， 15-контактний штекер Sub-D ，DeviceNetTM，ProfiBus, аналоговий | ||||||
| Фурнітура | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | відеомагнітофон 1/4” M; | |||||
| Компресійний фітинг Φ10; компресійний фітинг Φ6; | Компресійний фітинг Φ6, | ||||||
| Компресійний фітинг 3/8”;Компресійний фітинг 1/4”； | Компресійний фітингΦ3, | ||||||
| Компресійний фітинг 1/8”;Компресійний фітинг Φ3; | Компресійний фітинг 1/4”, | ||||||
| Ф6(внутр.)×1шланг;ф5(внутр.)×1,5шланг;ф4(внутр.)×1шланг; | W-ущільнення, | ||||||
| A-sael ; | С-ущільнення | ||||||
| вага | 1 кг | 0,8 кг | 1,2 кг | 1 кг | 1,2 кг | 1 кг | |
