Контролери масової витрати (MFC) забезпечують точне вимірювання та контроль масової витрати газів.
I. Яка різниця між MFC і MFM?
Масовий витратомір (MFM) — це свого роду прилад, який точно вимірює витрату газу, і його вимірюване значення не є неточним через коливання температури або тиску, і не вимагає компенсації температури та тиску. Контролер масової витрати (MFC) не тільки має функцію масового витратоміра, але, що більш важливо, він може автоматично контролювати потік газу, тобто користувач може налаштувати потік відповідно до своїх потреб, а MFC автоматично підтримує потік постійним на встановленому значенні, навіть якщо Коливання тиску в системі або зміни температури навколишнього середовища не спричинять її відхилення від встановленого значення.Контролер масової витрати — це пристрій із постійним потоком газу, який можна налаштувати вручну або автоматично контролювати за допомогою підключення до комп’ютера.Витратоміри лише вимірюють, але не контролюють.Контролер масової витрати має регулювальний клапан, який може як вимірювати, так і контролювати потік газу.
II.Яка будова іпринцип дії?
1、 Структура
2、Принцип дії
Коли потік надходить у впускну трубу, більша частина потоку проходить через відвідний канал, невелика частина якого потрапляє в капілярну трубку всередині датчика.Завдяки особливій структурі
у каналі відводу дві частини потоку газу можуть бути прямо пропорційними.Датчик попередньо нагрівається і нагрівається, а температура всередині вище температури повітря на вході.У цей час масова витрата невеликої частини газу вимірюється за принципом теплопередачі капілярною трубкою та за принципом калориметрії різниці температур.Потік газу, виміряний таким чином, може ігнорувати вплив температури та тиску.Сигнал вимірювання потоку, виявлений датчиком, надходить на друковану плату, посилюється та виводиться, і функція MFM завершена.Додавання функції автоматичного керування замкнутим контуром PID до друкованої плати. Порівняйте сигнал вимірювання потоку, виміряний датчиком, із заданим сигналом, наданим користувачем.На основі цього регулюючий клапан керується так, щоб сигнал виявлення потоку дорівнював встановленому сигналу, таким чином реалізуючи функцію MFC.
III.Програми та функції.
MFC, який широко застосовується в таких галузях, як виготовлення напівпровідників та мікросхем, спеціальне матеріалознавство, хімічна промисловість, нафтова промисловість, фармацевтична промисловість, захист навколишнього середовища та дослідження вакуумних систем тощо. Типові програми включають: мікроелектронне технологічне обладнання, таке як дифузія , оксидування, епітаксія, CVD, плазмове травлення, напилення, іонна імплантація;обладнання для вакуумного осадження, плавлення оптичного волокна, обладнання для мікрореакцій, система змішування та узгодження газу, система контролю капілярного потоку, газовий хроматограф та інші аналітичні прилади.
MFC забезпечує високу точність, чудову повторюваність, швидку реакцію, плавний пуск, кращу надійність, широкий діапазон робочого тиску (хороша робота в умовах високого тиску та вакууму), просте зручне керування, гнучкий монтаж, можливе підключення до ПК для виконання автоматичного керування системою користувачів.
IV.Як визначити та боротися з fхвороби?
Наша компанія має професійного інженера післяпродажного обслуговування, який може допомогти вам вирішити проблеми під час встановлення та використання.
Час публікації: 29 липня 2022 р